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수직 공진형 표면 발광 레이저 패키지의 제조방법

  • 기술번호 : KST2020011749
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 수직 공진형 표면 발광 레이저 패키지의 제조방법을 개시한다. 본 실시예의 일 측면에 의하면, n형 전극판 및 p형 전극판을 구비하고, 상기 n형 전극판의 상면에 수직 공진형 표면 발광 레이저 칩이 본딩됨에 따라 상기 수직 공진형 표면 발광 레이저 칩을 구분하는 제1 다이싱 라인이 구비된 서브 마운트를 준비하는 준비과정; 상기 서브 마운트의 상면에 제1 접착부재를 도포하는 제1 도포과정; 상기 서브 마운트의 상면에 상기 제1 다이싱 라인과 동일한 위치에 형성된 제2 다이싱 라인을 구비하는 렌즈 가이드를 본딩시키는 렌즈 가이드 본딩과정; 상기 n형 전극판의 상면에 제2 접착부재를 토출시키는 토출과정; 상기 n형 전극판의 상면에 수직 공진형 표면 발광 레이저 칩을 본딩하는 칩 본딩과정; 상기 수직 공진형 표면 발광 레이저 칩과 상기 p형 전극판에 와이어를 본딩하는 와이어 본딩과정; 상기 렌즈 가이드의 상면에 제3 접착부재를 도포하는 도포과정; 상기 렌즈 가이드의 상면에 디퓨저 렌즈를 본딩하는 디퓨저 렌즈 본딩과정; 및 상기 제1 및 제2 다이싱 라인을 따라 상기 서브 마운트, 렌즈 가이드 및 디퓨저 렌즈를 다이싱하는 다이싱과정을 포함하는 것을 특징으로 하는 수직 공진형 표면 발광 레이저 패키지의 제조방법을 제공한다.
Int. CL H01S 5/022 (2006.01.01) H01S 5/183 (2015.01.01)
CPC H01S 5/0226(2013.01) H01S 5/0226(2013.01) H01S 5/0226(2013.01) H01S 5/0226(2013.01)
출원번호/일자 1020190063555 (2019.05.30)
출원인 한국광기술원
등록번호/일자 10-2146974-0000 (2020.08.14)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20200821) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2019.05.30)
심사청구항수 11

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국광기술원 대한민국 광주광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 임정운 광주광역시 북구
2 송영호 광주광역시 광산구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김태영 대한민국 서울특별시 송파구 법원로 *** A동, ***호(태정특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국광기술원 광주광역시 북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2019.05.30 수리 (Accepted) 1-1-2019-0555072-08
2 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2019.05.30 수리 (Accepted) 1-1-2019-0555007-40
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2020.01.03 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2020.03.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2020-0063482-91
5 등록결정서
Decision to grant
2020.05.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0357385-54
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.07.03 수리 (Accepted) 4-1-2020-5148105-81
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.07.09 수리 (Accepted) 4-1-2020-5153634-39
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
n형 전극판 및 p형 전극판을 구비하고, 상기 n형 전극판의 상면에 수직 공진형 표면 발광 레이저 칩이 본딩됨에 따라 상기 수직 공진형 표면 발광 레이저 칩을 구분하는 제1 다이싱 라인이 구비된 서브 마운트를 준비하는 준비과정;상기 서브 마운트의 상면에 제1 접착부재를 도포하는 제1 도포과정;상기 서브 마운트의 상면에 상기 제1 다이싱 라인과 동일한 위치에 형성된 제2 다이싱 라인을 구비하는 렌즈 가이드를 본딩시키는 렌즈 가이드 본딩과정;상기 n형 전극판의 상면에 제2 접착부재를 토출시키는 토출과정;상기 n형 전극판의 상면에 수직 공진형 표면 발광 레이저 칩을 본딩하는 칩 본딩과정;상기 수직 공진형 표면 발광 레이저 칩과 상기 p형 전극판에 와이어를 본딩하는 와이어 본딩과정;상기 렌즈 가이드의 상면에 제3 접착부재를 도포하는 도포과정;상기 렌즈 가이드의 상면에 디퓨저 렌즈를 본딩하는 디퓨저 렌즈 본딩과정; 및상기 제1 및 제2 다이싱 라인을 따라 상기 서브 마운트, 렌즈 가이드 및 디퓨저 렌즈를 다이싱하는 다이싱과정을 포함하는 것을 특징으로 하는 수직 공진형 표면 발광 레이저 패키지의 제조방법
2 2
제1항에 있어서,상기 제1 다이싱 라인은,상기 서브 마운트의 행 및 열 방향에 동일한 간격으로 형성되는 것을 특징으로 하는 수직 공진형 표면 발광 레이저 패키지의 제조방법
3 3
제1항에 있어서,상기 제1 접착부재는,열경화성 재질로 구성되는 것을 특징으로 하는 수직 공진형 표면 발광 레이저 패키지의 제조방법
4 4
제1항에 있어서,상기 제1 도포과정은,상기 제1 접착부재가 상기 제1 다이싱 라인이 형성된 상기 서브 마운트의 상면에 도포되는 것을 특징으로 하는 수직 공진형 표면 발광 레이저 패키지의 제조방법
5 5
제1항에 있어서,상기 제2 다이싱 라인은,상기 렌즈 가이드의 행 및 열 방향에 동일한 간격으로 형성되는 것을 특징으로 하는 수직 공진형 표면 발광 레이저 패키지의 제조방법
6 6
제1항에 있어서,상기 렌즈 가이드 본딩과정은,상기 서브 마운트의 외벽과 상기 렌즈 가이드의 외벽이 동일선상에 위치하도록 본딩되는 것을 특징으로 하는 수직 공진형 표면 발광 레이저 패키지의 제조방법
7 7
제1항에 있어서,상기 제2 접착부재는,기 설정된 양으로 상기 n형 전극판의 상면에 토출되는 것을 특징으로 하는 수직 공진형 표면 발광 레이저 패키지의 제조방법
8 8
제1항에 있어서,상기 제3 접착부재는,열 경화성의 물질로 구성되는 것을 특징으로 하는 수직 공진형 표면 발광 레이저 패키지의 제조방법
9 9
제1항에 있어서,상기 디퓨저 렌즈는,회절 광학 소자(DOE) 패턴을 구비하는 것을 특징으로 하는 수직 공진형 표면 발광 레이저 패키지의 제조방법
10 10
제1항에 있어서,상기 디퓨저 렌즈 본딩과정은,상기 서브 마운트 및 상기 렌즈 가이드의 외벽이 상기 디퓨저 렌즈의 외벽과 동일선상에 위치하도록 본딩되는 것을 특징으로 하는 수직 공진형 표면 발광 레이저 패키지의 제조방법
11 11
제1항에 있어서,상기 다이싱 과정은,초음파, 레이저, 에칭, 샌딩(Sanding) 및 절삭 도구 중 어느 하나의 도구에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는 수직 공진형 표면 발광 레이저 패키지의 제조방법
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