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임프린팅 연속 공정을 위한 가압 롤 장치

  • 기술번호 : KST2020011769
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 임프린팅 연속 공정을 위한 가압 롤 장치에 관한 것으로, 기판을 이동시키는 와인딩부와, 상기 기판에 임프린팅 패턴을 형성할 임프린팅용 수지를 분사하는 수지 분사부와, 상기 기판의 표면에 분사된 상기 임프린팅용 수지에 상기 임프린팅 패턴을 연속 형성하며, 상기 임프린팅 패턴을 형성하는데 가해지는 현재 장력을 측정하여 제공하는 임프린팅부와, 상기 임프린팅 패턴을 형성하도록 상기 임프린팅용 수지를 경화시키는 경화부와, 상기 와인딩부를 통해 이동하는 상기 기판에 상기 임프린팅용 패턴을 연속적으로 형성하도록 상기 와인딩부, 수지 분사부, 임프린팅부 및 경화부를 각각 제어하며, 상기 임프린팅부로부터 제공되는 상기 현재 장력에 대응하는 현재 가압력이 기준 가압력의 범위를 유지하도록 상기 임프린팅부를 제어하는 제어부를 포함함으로써, 임프린팅 연속 공정을 수행하는 중에 몰드롤과 가압롤의 사이에서 기준 가압력 범위를 유지하도록 가압롤의 위치를 정밀 제어하여 균일한 가압력을 제공할 수 있다.
Int. CL B29C 59/04 (2006.01.01) G03F 7/00 (2006.01.01) G03F 7/16 (2006.01.01) H01L 21/027 (2006.01.01) B29C 59/00 (2006.01.01) B29C 59/02 (2006.01.01)
CPC B29C 59/04(2013.01) B29C 59/04(2013.01) B29C 59/04(2013.01) B29C 59/04(2013.01) B29C 59/04(2013.01) B29C 59/04(2013.01) B29C 59/04(2013.01)
출원번호/일자 1020190020209 (2019.02.21)
출원인 한국기술교육대학교 산학협력단, 지제이엠 주식회사
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2020-0102069 (2020.08.31) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2019.02.21)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기술교육대학교 산학협력단 대한민국 충청남도 천안시 동남구
2 지제이엠 주식회사 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박성제 충청남도 천안시 서북구
2 신대용 대구광역시 달서구
3 장재일 충청남도 천안시 서북구
4 이세웅 충청남도 천안시 서북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인오암 대한민국 대전광역시 서구 문예로 **, *층 ***호(둔산동, 오성빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2019.02.21 수리 (Accepted) 1-1-2019-0183116-48
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2019.08.12 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2019.10.11 수리 (Accepted) 9-1-2019-0045616-15
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2020.04.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0259983-71
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2020.06.10 수리 (Accepted) 1-1-2020-0596250-47
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2020.06.10 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0596236-18
7 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2020.10.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0699285-18
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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기판을 이동시키는 와인딩부와,상기 기판에 임프린팅 패턴을 형성할 임프린팅용 수지를 분사하는 수지 분사부와,상기 기판의 표면에 분사된 상기 임프린팅용 수지에 상기 임프린팅 패턴을 연속 형성하며, 상기 임프린팅 패턴을 형성하는데 가해지는 현재 장력을 측정하여 제공하는 임프린팅부와,상기 임프린팅 패턴을 형성하도록 상기 임프린팅용 수지를 경화시키는 경화부와,상기 와인딩부를 통해 이동하는 상기 기판에 상기 임프린팅용 패턴을 연속적으로 형성하도록 상기 와인딩부, 수지 분사부, 임프린팅부 및 경화부를 각각 제어하며, 상기 임프린팅부로부터 제공되는 상기 현재 장력에 대응하는 현재 가압력이 기준 가압력의 범위를 유지하도록 상기 임프린팅부를 제어하는 제어부를 포함하는 임프린팅 연속 공정을 위한 가압 롤 장치
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제 1 항에 있어서,상기 임프린팅부는, 상기 임프린팅 패턴을 형성하기 위한 임프린팅 몰드가 구비되는 몰드롤과, 상기 몰드롤에 인접 구비되어 상기 임프린팅용 수지에 가압력을 제공하는 가압롤을 포함하되,상기 가압롤은, 상기 가압롤의 양단부에 각각 구비되어 상기 현재 장력을 측정하는 로드셀과, 상기 제어부의 제어에 따라 상기 가압롤의 위치를 조절하는 모노 캐리지를 구비하는 임프린팅 연속 공정을 위한 가압 롤 장치
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제 2 항에 있어서,상기 제어부는, 상기 현재 가압력이 상기 기준 가압력보다 상대적으로 낮을 경우 상기 모노 캐리지를 이용하여 상기 가압롤이 상기 임프린팅 몰드에 근접하도록 제어하고, 상기 현재 가압력이 상기 기준 가압력보다 상대적으로 클 경우 상기 모노 캐리지를 이용하여 상기 가압롤이 상기 임프린팅 몰드에서 이격되도록 제어하는 임프린팅 연속 공정을 위한 가압 롤 장치
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제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 가압 롤 장치는,상기 기판의 이동 경로에 구비되어 상기 기판의 양측면을 촬영하여 촬영된 기판 영상을 제공하는 촬영부를 더 포함하는 임프린팅 연속 공정을 위한 가압 롤 장치
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제 4 항에 있어서,상기 제어부는, 임프린팅 연속 공정을 수행하는 중에 상기 촬영부로부터 제공되는 상기 기판 영상을 통해 상기 기판의 사행 여부를 판단하고, 상기 기판이 사행되는 상태로 판단된 경우 상기 기판의 사행을 보정하도록 상기 와인딩부에 구비되는 리와인딩롤을 제어하는 임프린팅 연속 공정을 위한 가압 롤 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육부 한국기술교육대학교 산학협력단 사회맞춤형 산학협력 선도대학(LINC+) 육성사업 임프린팅 연속 공정을 위한 균일 가압 롤 시스템 개발