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결정 성장을 위한 원료 용융액이 수용되는 도가니; 상기 원료 용융액에 침잠되며, 결정핵이 부착되는 지지봉; 및 상기 지지봉과 도가니를 상부가 개방되고 측부가 폐쇄되도록 마련되는 절연용기; 상기 절연용기의 외주부에 상기 절연용기를 감싸도록 마련되는 가열부;를 포함하여 구성되는 결정 성장 장치에 있어서,상기 절연용기는 그 내주면에 슬릿이 형성되고, 상기 슬릿이 복수개인 경우, 상기 슬릿은 절연용기의 내주면에 상하로 배치되어 상기 슬릿 중 어느 하나에 리플렉터가 가변적으로 장착되는 것을 특징으로 하는 결정 성장 장치용 가변 리플렉터
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제1항에 있어서,상기 절연용기는 복수개의 부분 절연용기가 적층되어 구성되며,상기 부분 절연용기는 상하 관통된 구조로서, 상부 용기와, 상기 상부 용기의 구경보다 작은 하부 용기가 일체로 구성되며, 상방에 위치한 절연용기의 하부 용기가 하방에 위치한 절연용기의 상부 용기에 수용되되,슬릿은 상방에 위치한 절연용기의 하부용기와 하방에 위치한 절연용기의 상부용기 사이의 공간에 의하여 형성되는 것을 특징으로 하는 결정 성장 장치용 가변 리플렉터
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 슬릿 중 최상부 슬릿은 도가니의 상단보다 높은 위치에 존재하며, 최하부 슬릿은 도가니의 하단보다 낮은 위치에 존재하는 것을 특징으로 하는 결정 성장 장치용 가변 리플렉터
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제1항 또는 제2항에 있어서,상기 슬릿을 연결하여 형성되는 가상의 폐곡선은 하나의 수평면 내에 위치되는 것을 특징으로 하는 결정 성장 장치용 가변 리플렉터
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제2항에 있어서,상기 부분 절연용기는 상부용기와 하부용기가 서로 상하 일부 중첩된 형태를 이루며, 상부용기의 하단이 하부용기의 상단보다 아래부분에 위치하고, 하부용기의 상단이 상부용기의 하단보다 위부분에 위치하는 것을 특징으로 하는 결정 성장 장치용 가변 리플렉터
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제1항에 있어서,상기 리플렉터는 중앙에 천공부가 마련된 평면인 것을 특징으로 하는 결정 성장 장치용 가변 리플렉터
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제6항에 있어서,상기 천공부의 직경은 도가니의 구경보다 큰 것을 특징으로 하는 결정 성장 장치용 가변 리플렉터
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제1항에 있어서,상기 슬릿은 가열부와 인접한 영역에 형성되는 것을 특징으로 하는 결정 성장 장치용 가변 리플렉터
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제1항에 있어서,상기 리플렉터는 상기 도가니의 하단부를 가열하도록 도가니의 하단부와 인접하는 슬릿에 장착되는 것을 특징으로 하는 결정 성장 장치용 가변 리플렉터
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제1항에 있어서,상기 리플렉터는,전체적인 두께가 슬릿의 폭보다 얇은 것을 특징으로 하는 결정 성장 장치용 가변 리플렉터
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제1항에 있어서,상기 리플렉터는,슬릿에 장착되는 부분이 슬릿의 폭보다 얇고, 슬릿의 외부로 노출되는 부분이 슬릿의 폭보다 두꺼운 것을 특징으로 하는 결정 성장 장치용 가변 리플렉터
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제1항에 있어서,상기 리플렉터는,슬릿에 장착되는 제1부분이 슬릿의 폭보다 얇고, 슬릿의 외부로 노출되는 제2부분이 슬릿의 폭보다 두꺼운 것을 특징으로 하는 결정 성장 장치용 가변 리플렉터
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제12항에 있어서,상기 제2부분의 두께는 제1부분의 두께의 5배 ~ 10배인 것을 특징으로 하는 결정 성장 장치용 가변 리플렉터
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제1항에 있어서,상기 리플렉터는,원료 용융액의 열흐름을 제어하기 위하여 도가니와 인접한 영역에 복수개 설치되는 것을 특징으로 하는 결정 성장 장치용 가변 리플렉터
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제1항에 있어서,상기 원료 용융액은 Si 용융액이며, 성장 대상 결정은 SiC인 것을 특징으로 하는 결정 성장 장치용 가변 리플렉터
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