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물질 분석 방법으로서,공정 환경에서 채취된 시료에 포함된 적어도 하나의 화학 물질에 대응하는 질량 스펙트럼(mass spectrum)을 획득하는 단계;상기 질량 스펙트럼을 적어도 하나의 표준 질량 스펙트럼과 비교함으로써, 상기 화학 물질 중 적어도 하나를 식별하는 단계; 및상기 식별된 화학 물질 중 적어도 하나를 관리 대상 물질로 선정하는 단계를 포함하는, 방법
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제 1 항에 있어서,상기 질량 스펙트럼을 획득하는 단계는,기체 크로마토그래피로부터 상기 화학 물질의 분리 순서에 따른 전체 이온 크로마토그램(total ion chromatogram)을 획득하는 단계; 및상기 전체 이온 크로마토그램의 피크(peak)을 기준으로 상기 화학 물질 중 적어도 하나에 대응하는 상기 질량 스펙트럼을 추출하는 단계를 포함하는, 방법
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제 2 항에 있어서,상기 질량 스펙트럼을 획득하는 단계는,상기 전체 이온 크로마토그램에서 바탕 시료에 포함된 화학 물질에 대응하는 피크를 제거하는 단계를 더 포함하고,상기 질량 스펙트럼을 추출하는 단계는, 상기 바탕 시료에 포함된 화학 물질에 대응하는 피크를 제거하는 단계 이후에 수행되는, 방법
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제 3 항에 있어서,상기 바탕 시료에 대한 상기 전체 이온 크로마토그램을 획득하는 단계를 더 포함하고, 상기 바탕 시료에 포함된 화학 물질에 대응하는 피크를 제거하는 단계는,상기 시료의 상기 전체 이온 크로마토그램과 상기 바탕 시료의 상기 전체 이온 크로마토그램을 비교하여 중복되는 피크를 제거함으로써 수행되는, 방법
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제 2 항에 있어서,상기 표준 질량 스펙트럼은 인하우스 라이브러리에 포함된 적어도 하나의 표적 물질의 질량 스펙트럼과 외부 라이브러리에 포함된 적어도 하나의 비표적 물질의 질량 스펙트럼을 포함하고,상기 화학 물질 중 적어도 하나를 식별하는 단계는,상기 화학 물질 중 적어도 하나에 대응하는 질량 스펙트럼을 상기 표적 물질의 질량 스펙트럼과 비교함으로써, 상기 표적 물질의 존재 여부를 식별하는 단계; 및상기 화학 물질 중 적어도 하나에 대응하는 질량 스펙트럼을 상기 비표적 물질의 질량 스펙트럼과 비교함으로써, 상기 비표적 물질의 존재 여부를 식별하는 단계를 포함하는, 방법
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제 5 항에 있어서,상기 비표적 물질의 존재 여부를 식별하는 단계는, 상기 화학 물질 중 상기 표적 물질로 식별된 화학 물질을 제외한 나머지 화학 물질의 질량 스펙트럼에 대하여 수행되는, 방법
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제 5 항에 있어서,상기 화학 물질 중 적어도 하나를 식별하는 단계는,상기 비표적 물질로 식별된 화학 물질 중 적어도 하나를 상기 인하우스 라이브러리에 상기 표적 물질로 추가하는 단계를 더 포함하는, 방법
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제 7 항에 있어서,상기 인하우스 라이브러리에 상기 표적 물질로 추가하는 단계는, 상기 비표적 물질로 식별된 화학 물질 중 상기 질량 스펙트럼이 상기 비표적 물질의 질량 스펙트럼과 소정 이상의 유사도를 가지는 화학 물질을 상기 인하우스 라이브러리에 상기 표적 물질로 추가하는, 방법
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제 7 항에 있어서,상기 인하우스 라이브러리에 상기 표적 물질로 추가하는 단계는, 상기 비표적 물질로 식별된 화학 물질 중 소정 이상의 농도를 가지는 화학 물질을 상기 인하우스 라이브러리에 상기 표적 물질로 추가하는, 방법
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제 1 항에 있어서, 상기 화학 물질 중 적어도 하나를 식별하는 단계는, 상기 질량 스펙트럼과 상기 표준 질량 스펙트럼의 패턴간 유사도에 기초하여 상기 화학 물질 중 적어도 하나를 식별하는, 방법
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제 1 항에 있어서,상기 식별된 화학 물질 중 적어도 하나를 관리 대상 물질로 선정하는 단계는,공정과의 관련성, 농도 및 반복 검출 횟수 중 적어도 하나에 기초하여 상기 관리 대상 물질을 선정하는, 방법
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제 1 항에 있어서,상기 시료는 반도체 공정 환경에서 채취된 대기 및 수질 시료인, 방법
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물질 분석 장치로서,물질 분석을 수행하기 위한 프로그램을 저장하는 적어도 하나 이상의 메모리; 및상기 프로그램을 실행함으로써, 공정 환경에서 채취된 시료에 포함된 적어도 하나의 화학 물질에 대응하는 질량 스펙트럼(mass spectrum)을 획득하고, 상기 질량 스펙트럼을 적어도 하나의 표준 질량 스펙트럼과 비교함으로써, 상기 화학 물질 중 적어도 하나를 식별하며, 상기 식별된 화학 물질 중 적어도 하나를 관리 대상 물질로 선정하도록 제어하는 적어도 하나 이상의 프로세서를 포함하는, 장치
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