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(a) 기판 상에, 실온에서 AD 장치를 사용하여 에어로졸 증착(AD) 프로세스에 의해 파우더 스프레이 코팅 방법을 사용하여 파우더 스프레이 노즐로부터 분사된 에어로졸 증착 은 파우더들이 증착되어 에어로졸 증착된 은 필름으로 된 금속 후막을 형성하는 단계; 및 (b) 유량 제어기에 의해 제어된 4 - 10L/min 가스 유량을 사용하여 전기 저항도(resistivity)에 대한 노즐의 오리피스 크기와 가스 소모량이 분석되는 단계를 포함하며,상기 단계 (a)에서, 상기 노즐의 오리피스는 4
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제1항에 있어서, 상기 기판은 알루미나 기판을 사용하는, 에어로졸 증착 프로세스를 사용하여 개선된 전기적 특성을 위한 은 필름의 형성 방법
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제1항에 있어서, 상기 금속 후막은 금속배선을 위한 은 후막(silver thick film) 인 것을 특징으로 하는, 에어로졸 증착 프로세스를 사용하여 개선된 전기적 특성을 위한 은 필름의 형성 방법
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제1항에 있어서, 상기 AD 장치는 상이한 노즐의 오리피스 크기를 갖는 AD 장치를 구비하며, 상기 AD 장치는 에어로졸 챔버와 증착 챔버를 구비하며, 상기 에어로졸 챔버는 가스 유량을 제어할 수 있는 유량 제어기를 구비하며, 상기 에어로졸 증착(AD) 프로세스의 출발 파우더로써, 금속들 중에서 최고의 전기 전도성을 갖는 은 파우더(silver powder)를 사용하였으며, 상기 증착 챔버에 상기 은 파우더가 로딩되며, 헬륨 가스가 4∼10 L/min 가스 유량을 갖는 캐리어 가스로 사용되며, 상기 에어로졸 챔버는 가스 유량을 제어할 수 있는 상기 유량 제어기에 직접 접속되며, 상기 캐리어 가스가 상기 에어로졸 챔버에 공급되었을 때, 은 파우더는 상기 캐리어 가스를 이용한 혼합 및 휘젓기에 의해 에어로졸화 되며, 에어로졸화 된 은 파우더는 테프런 튜브를 통해 주입된 헬륨 가스에 의해 슬릿 노즐로 전송되고 상기 증착 챔버에 분사되는, 에어로졸 증착 프로세스를 사용하여 개선된 전기적 특성을 위한 은 필름의 형성 방법
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제4항에 있어서, 상기 은 파우더는 1
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제1항에 있어서, 0
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제1항에 있어서, 상기 단계 (a)에서 상기 노즐의 오리피스 크기는 1
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제1항에 있어서, 상기 기판에 증착된 은 필름(deposited silver films)의 전기 저항도(electrical resistivity)에 관한 가스 소모량의 효과를 검증하기 위해, 유량 제어기에 의해 측정될 수 있는, 가스 소모량은 4∼10 L/min으로 제어되었으며, 전기 저항도는 가스 소모량을 증가시킴에 따라 감소하였으며, 4L/min의 가스 소모량의 경우, 전기 저항도는 Ω·㎝로 최고치를 나타냈는데, 7L/min의 가스 소모량 보다 많을 때 최종적으로 포화값 Ω·㎝에 접근하는, 에어로졸 증착 프로세스를 사용하여 개선된 전기적 특성을 위한 은 필름의 형성 방법
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제1항에 있어서, (c) 표면 프로파일러를 사용하여 알루미나 기판 상에 증착된 은 필름의 두께와 노즐의 오리피스 면적에 따른 RMS 거칠기를 측정하는 단계; 및 (d) 증착된 은 필름의 X-선 회절(XRD; PANytical X'Pert Pro) 패턴이 분석되어 로(raw) 파우더와 증착된 은 필름의 결정성(crystalinity)을 확인하여 비교하는 단계를 더 포함하는 에어로졸 증착 프로세스를 사용하여 개선된 전기적 특성을 위한 은 필름의 형성 방법
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제1항에 있어서, 상기 AD 장치에서, 4
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제1항에 있어서, 4, 8, 12 스캔 횟수가 증가함에 따라, 기판 상에 차후의 입자들의 충돌 에너지가 증착-된 은 필름에 더욱 더 전달될 수록, 그레인 경계(grain boundaries)에서의 흠결들(defects)이 점차적으로 감소되고, 다공성 은 필름(porous silver film)이 상대적으로 밀한 구조(dense structure)로 변환되며, 상대적으로 많은 클러스터의 형성 때문에 상대적으로 낮은 전기 저항도로 귀결되는, 에어로졸 증착 프로세스를 사용하여 개선된 전기적 특성을 위한 은 필름의 형성 방법
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제1항에 있어서, 상기 기판에 에어로졸 증착된 은 필름의 성장 프로세스(growth process of silver films)를 조사하기 위해, 2 내지 100 번째 스캔까지의 각 스캔 횟수(scan number)에 따른 막 두께(film thickness)가 먼저 매번 측정되었으며, AD 프로세스가 16 번째 스캔까지 수행되었을 때, 은 필름의 표면 및 단면 SEM 이미지를 획득하여 검토한 결과, 은 필름 두께의 변화가 없었으며, 스캔 횟수에 대한 필름 두께의 변동(Δfilm thickness=Δscan number)는 0
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