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알칼리 금속을 포함하는 광흡수층을 포함하는 박막 태양전지 및 이의 제조방법

  • 기술번호 : KST2020011923
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 기판; 상기 기판 위에 배치된 후면 전극; 상기 후면 전극 위에 배치된 광흡수층; 및 상기 광흡수층 위에 배치된 전면 전극;을 포함하되, 상기 광흡수층은 아연(Zn), 구리(Cu), 주석(Zn) 및 알칼리 금속을 포함하고, 상기 알칼리 금속은 구리(Cu)의 결정 격자 상에 위치하는 것을 특징으로 하는 박막 태양전지가 개시된다. 본 발명의 일 측면에서 제공되는 박막 태양전지는 기판 위에 형성된 전구체층 중 구리(Cu) 전구체층 위에 알칼리 금속을 도입함으로써 황화(S), 셀렌화(Se) 및 황화-셀렌화 열처리 공정 중에 초기에 형성되는 구리-황 화합물, 구리-셀레늄 화합물, 또는 구리-황-셀레늄 화합물의 형성 시 생성되는 구리 결핍 현상을 알칼리 금속이 보상할 수 있으며, 이에 따라 광흡수층 형성 중에 생성되는 결함의 생성을 억제하여 구리아연주석황셀렌(CZTS, CZTSe, CZTSSe)계로 형성되는 광흡수층을 포함하는 박막 태양전지의 특성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
Int. CL H01L 31/032 (2006.01.01) H01L 31/0445 (2014.01.01) H01L 31/0224 (2006.01.01) H01L 31/036 (2006.01.01)
CPC H01L 31/0326(2013.01) H01L 31/0326(2013.01) H01L 31/0326(2013.01) H01L 31/0326(2013.01) H01L 31/0326(2013.01)
출원번호/일자 1020190017859 (2019.02.15)
출원인 재단법인대구경북과학기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2020-0100231 (2020.08.26) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2019.02.15)
심사청구항수 13

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인대구경북과학기술원 대한민국 대구 달성군 현

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 양기정 대구광역시 수성구
2 강진규 대구광역시 수성구
3 김대환 대구광역시 수성구
4 김삼미 경상북도 경산시
5 김영일 경기도 하남시
6 박시내 대구광역시 북구
7 손대호 경상북도 김천시 혁신*로 **한신
8 이상주 대구광역시 동구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김연권 대한민국 서울특별시 송파구 법원로 ***, ****/****호(문정동, 문정대명벨리온)(시안특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인대구경북과학기술원 대구 달성군 현
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2019.02.15 수리 (Accepted) 1-1-2019-0161919-89
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2019.08.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2019.11.14 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2020-0081230-14
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.06.18 수리 (Accepted) 4-1-2020-5134633-04
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2020.06.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0424861-36
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2020.07.21 수리 (Accepted) 1-1-2020-0761976-02
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2020.07.21 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0761984-67
8 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2020.08.13 수리 (Accepted) 1-1-2020-0851952-40
9 등록결정서
Decision to grant
2020.10.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0708625-51
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번호 청구항
1 1
기판;상기 기판 위에 배치된 후면 전극;상기 후면 전극 위에 배치된 광흡수층; 및상기 광흡수층 위에 배치된 전면 전극;을 포함하되,상기 광흡수층은아연(Zn) 전구체층을 형성하고,상기 아연(Zn) 전구체층 위에 구리(Cu) 전구체층을 형성하고,상기 구리(Cu) 전구체층 위에 알칼리 금속층을 형성하고,상기 알칼리 금속층 위에 주석(Sn) 전구체층을 형성한 후 열처리하여 제조되고,상기 알칼리 금속층은 알칼리 금속층은 리튬(Li), 나트륨(Na), 포타슘(K), 루비듐(Rb) 및 세슘(Cs)으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종과 불소(F)의 화합물로 이루어지며,상기 광흡수층의 알칼리 금속은 구리(Cu)의 결정 격자 상에 위치하는 것을 특징으로 하는 박막 태양전지
2 2
삭제
3 3
삭제
4 4
제1항에 있어서,상기 알칼리 금속층의 두께는 5 nm 내지 20 nm 인 것을 특징으로 하는 박막 태양전지
5 5
제1항에 있어서,상기 아연(Zn) 전구체층의 두께는 60 nm 내지 310 nm이며,상기 구리(Cu) 전구체층의 두께는 45 nm 내지 220 nm이며,상기 주석(Sn) 전구체층의 두께는 70 nm 내지 370 nm 인 것을 특징으로 하는 박막 태양전지
6 6
제1항에 있어서,상기 기판은 몰리브데넘 호일(Mo foil), 티타늄 호일(Ti foil) 및 스테인리스강(SUS)으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상으로 이루어진 것을 특징으로 하는 박막 태양전지
7 7
제1항에 있어서,상기 광흡수층은 구리아연주석황화계(CZTS), 구리아연주석셀렌계(CZTSe) 및 구리아연주석황셀렌계(CZTSSe)로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종인 것을 특징으로 하는 박막 태양전지
8 8
제1항에 있어서,상기 광흡수층 및 전면 전극 사이에 버퍼층 및 윈도우층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 태양전지
9 9
기판 위에 후면 전극을 형성하는 단계;상기 후면 전극 위에 아연(Zn) 전구체층을 형성하는 단계; 상기 아연(Zn) 전구체층 위에 구리(Cu) 전구체층을 형성하는 단계; 상기 구리(Cu) 전구체층 위에 알칼리 금속층을 형성하는 단계;상기 알칼리 금속층 위에 주석(Sn) 전구체층을 형성하는 단계; 및상기 아연 전구체층, 구리 전구체층, 알칼리 금속층 및 주석 전구체층을 포함하는 전구체층에 황화(S) 공정, 셀렌화(Se) 공정 및 황화-셀렌화 공정으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종의 공정을 수행하여 광흡수층을 형성하는 단계;를 포함하고,상기 알칼리 금속층은 리튬(Li), 나트륨(Na), 포타슘(K), 루비듐(Rb) 및 세슘(Cs)으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종과 불소(F)의 화합물로 이루어지는 박막 태양전지의 제조방법
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삭제
11 11
제9항에 있어서,상기 아연(Zn) 전구체층의 두께는 60 nm 내지 310 nm,상기 구리(Cu) 전구체층의 두께는 45 nm 내지 220 nm,상기 주석(Sn) 전구체층의 두께는 70 nm 내지 370 nm 로 형성하는 것을 특징으로 하는 박막 태양 전지의 제조방법
12 12
제9항에 있어서,상기 알칼리 금속층의 두께는 5 nm 내지 20 nm 로 형성하는 것을 특징으로 하는 박막 태양전지의 제조방법
13 13
제9항에 있어서,상기 형성되는 광흡수층은 구리아연주석황화계(CZTS), 구리아연주석셀렌계(CZTSe) 및 구리아연주석황셀렌계(CZTSSe)로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종인 것을 특징으로 하는 박막 태양전지의 제조방법
14 14
제9항에 있어서,상기 기판 위에 후면 전극을 형성하는 단계 전에기판에 대하여 산소 제거를 위한 전처리를 수행하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 태양전지의 제조방법
15 15
제14항에 있어서,상기 기판에 대하여 산소 제거를 위한 전처리를 수행하는 단계는 불화암모늄(NH4F) 용액과 불화수소산(HF) 용액의 혼합용액으로 수행되는 것을 특징으로 하는 박막 태양전지의 제조방법
16 16
제9항에 있어서,상기 광흡수층을 형성하는 단계 후에버퍼층 및 윈도우층을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 태양전지의 제조방법
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2 산업통상자원부 대구경북과학기술원 범용 무독성 칼코지나이드 광흡수층 기반 플렉시블 무기 박막태양전지 개발 범용 무독성 칼코지나이드 광흡수층 기반 플렉시블 무기 박막태양전지 개발
3 과학기술정보통신부 대구경북과학기술원 (3차)폴리머 기판 기반 2-step CIGS 박막 태양전지 기술 개발 (3차)폴리머 기판 기반 2-step CIGS 박막 태양전지 기술 개발