| 1 |
1
스캐닝 홀로그램 카메라를 이용하여 대물판 위에 존재하는 대상체의 홀로그램을 촬영하는 홀로그램 촬영부;상기 홀로그램을 기초로 상기 대물판의 대물면에 관한 깊이위치 및 회전각을 추출하는 깊이위치 및 회전각 추출부;상기 깊이위치 및 회전각을 이용하여 상기 대물면에 대응되는 회전된 좌표계를 형성하는 회전된 좌표계 형성부; 및상기 홀로그램을 상기 회전된 좌표계의 깊이방향으로 형성되는 평면에서 복원함으로써 상기 대상체의 영상을 획득하는 홀로그램 복원부를 포함하는 스캐닝 홀로그램 기반 자동광학검사 장치
|
| 2 |
2
제1항에 있어서,상기 스캐닝 홀로그램 카메라는 전자기파를 발생시키는 광원, 상기 전자기파를 분할하는 분할수단, 분할된 상기 전자기파에 의해 형성되는 간섭 빔을 이용하여 상기 대상체를 스캔하는 스캔수단 및 상기 대상체로부터 반사, 형광 또는 투과된 빔을 검출하는 광 검출수단을 포함하고,상기 홀로그램 촬영부는 상기 촬영의 결과로서 복소수 홀로그램을 생성하는 것을 특징으로 하는 스캐닝 홀로그램 기반 자동광학검사 장치
|
| 3 |
3
제1항에 있어서, 상기 깊이위치 및 회전각 추출부는상기 대물면에서 상호 이격되어 존재하고 독립적으로 정의되는 3개의 영역들 각각에서 깊이위치를 추출한 후 상기 대물면에 관한 깊이위치 및 회전각을 추출하는 것을 특징으로 하는 스캐닝 홀로그램 기반 자동광학검사 장치
|
| 4 |
4
제3항에 있어서, 상기 깊이위치 및 회전각 추출부는상기 홀로그램을 순차적인 깊이위치에서 각각 복원하는 제1 단계;복원된 영상들에 대해 상기 3개의 영역들 각각에서 초점 메트릭을 산출하는 제2 단계; 및상기 초점 메트릭이 최대값이 되는 깊이위치를 상기 3개의 영역들 각각의 깊이 위치로서 결정하는 제3단계를 수행하는 것을 특징으로 하는 스캐닝 홀로그램 기반 자동광학검사 장치
|
| 5 |
5
제3항에 있어서, 상기 깊이위치 및 회전각 추출부는홀로그램 데이터를 CNN(Convolutional Neural Network) 모델에 입력하여 상기 3개의 영역들 각각에서의 깊이위치를 출력으로 획득한 후 상기 대물면에 관한 깊이위치 및 회전각을 추출하는 것을 특징으로 하는 스캐닝 홀로그램 기반 자동광학검사 장치
|
| 6 |
6
제5항에 있어서, 상기 깊이위치 및 회전각 추출부는상기 홀로그램 데이터로서 상기 촬영을 통해 획득한 복소수 홀로그램, 상기 복소수 홀로그램의 실수부에 해당하는 실수 홀로그램, 상기 복소수 홀로그램의 허수부에 해당하는 허수 홀로그램 및 상기 복소수 홀로그램을 이용하여 합성한 탈축(off-axis) 홀로그램 중 어느 하나를 상기 CNN 모델에 입력하는 것을 특징으로 하는 스캐닝 홀로그램 기반 자동광학검사 장치
|
| 7 |
7
제1항에 있어서, 상기 깊이위치 및 회전각 추출부는상기 홀로그램을 형성하는 특정 영역을 입력으로 하고 회전된 대물면의 회전각을 출력으로 하는 학습을 통해 생성된 CNN 모델을 이용하여 상기 대물면에 관한 깊이위치 및 회전각을 추출하는 것을 특징으로 하는 스캐닝 홀로그램 기반 자동광학검사 장치
|
| 8 |
8
제7항에 있어서, 상기 깊이위치 및 회전각 추출부는상기 홀로그램을 공간주파수 영역으로 프리에 변환한 후 해당 공간주파수 영역에서 상기 특정 영역에 대응되는 영역을 상기 입력으로서 사용하는 것을 특징으로 하는 스캐닝 홀로그램 기반 자동광학검사 장치
|
| 9 |
9
제7항 또는 제8항에 있어서, 상기 깊이위치 및 회전각 추출부는상기 특정 영역에 관한 복소수 홀로그램의 실수부, 허수부, 진폭부 및 위상부 중 적어도 하나를 상기 입력으로서 사용하는 것을 특징으로 하는 스캐닝 홀로그램 기반 자동광학검사 장치
|
| 10 |
10
제1항에 있어서, 상기 깊이위치 및 회전각 추출부는상기 홀로그램의 부분 또는 전체 영역을 기초로 경사 하강법(gradient search)을 이용하여 상기 대물면에 관한 깊이위치 및 회전각을 추출하는 것을 특징으로 하는 스캐닝 홀로그램 기반 자동광학검사 장치
|
| 11 |
11
제10항에 있어서, 상기 깊이위치 및 회전각 추출부는상기 대물판이 회전 가능한 회전 영역과 위치 가능한 깊이 영역에 대해서 상기 홀로그램의 부분 또는 전체 영역을 도파시킨 후 도파된 홀로그램의 초점 메트릭이 최대값을 가지는 회전각과 깊이위치를 검색하는 것을 특징으로 하는 스캐닝 홀로그램 기반 자동광학검사 장치
|
| 12 |
12
제1항에 있어서, 상기 회전된 좌표계 형성부는 상기 깊이위치 및 회전각 추출부에 의해 추출된 깊이위치와 회전각을 이용하여 생성되고 기준 좌표계를 회전된 좌표계로 변환하는 변환 행렬을 생성하는 것을 특징으로 하는 스캐닝 홀로그램 기반 자동광학검사 장치
|
| 13 |
13
제1항에 있어서, 상기 홀로그램 복원부는상기 홀로그램을 상기 회전된 좌표계로 변환하여, 상기 회전된 좌표계의 깊이방향으로 도파시킴으로써 상기 대상체의 영상을 복원하는 것을 특징으로 하는 스캐닝 홀로그램 기반 자동광학검사 장치
|
| 14 |
14
제13항에 있어서, 상기 홀로그램 복원부는상기 홀로그램을 각 스팩트럼 회전 변환법(angular spectrum rotational transformation)으로 변환하여, 회전된 좌표계의 깊이방향으로 도파시킴으로써 상기 대상체의 영상을 획득하는 것을 특징으로 하는 스캐닝 홀로그램 기반 자동광학검사 장치
|
| 15 |
15
제13항에 있어서, 상기 홀로그램 복원부는상기 홀로그램을 상기 회전된 좌표계로 변환하여, 상기 회전된 좌표계에서 깊이 방향으로 형성되는 평면에서 각각 복원함으로써 상기 대상체의 3차원 영상을 획득하는 것을 특징으로 하는 스캐닝 홀로그램 기반 자동광학검사 장치
|
| 16 |
16
제1항에 있어서, 상기 홀로그램 복원부는상기 홀로그램을 기준 좌표계의 깊이위치에서 복원한 후 상기 회전된 좌표계의 깊이방향으로 형성되는 평면으로 도파시킴으로써 상기 대상체의 영상을 획득하는 것을 특징으로 하는 스캐닝 홀로그램 기반 자동광학검사 장치
|
| 17 |
17
제16항에 있어서, 상기 홀로그램 복원부는상기 홀로그램을 기준 좌표계의 깊이위치에서 복원한 후 상기 회전된 좌표계의 깊이방향으로 형성되는 순차적인 평면으로 각각 도파시킴으로써 상기 대상체의 3차원 영상을 획득하는 것을 특징으로 하는 스캐닝 홀로그램 기반 자동광학검사 장치
|
| 18 |
18
제1항에 있어서, 상기 홀로그램 복원부는상기 홀로그램을 기준 좌표계의 깊이방향으로 형성되는 순차적인 평면에서 각각 복원한 후 상기 회전된 좌표계로 보간(interpolation)하는 것을 특징으로 하는 스캐닝 홀로그램 기반 자동광학검사 장치
|
| 19 |
19
제18항에 있어서, 상기 홀로그램 복원부는상기 순차적인 평면에서 복원된 영상들에 대해 각 순차적인 평면의 깊이위치를 축으로 하여 3차원 행렬을 생성하고 상기 3차원 행렬을 상기 회전된 좌표계의 좌표축으로 보간함으로써 상기 대상체의 영상을 획득하는 것을 특징으로 하는 스캐닝 홀로그램 기반 자동광학검사 장치
|
| 20 |
20
자동광학검사 장치에서 수행되는 방법에 있어서,스캐닝 홀로그램 카메라를 이용하여 대물판 위에 존재하는 대상체의 홀로그램을 촬영하는 단계;상기 홀로그램을 기초로 상기 대물판의 대물면에 관한 깊이위치 및 회전각을 추출하는 단계;상기 깊이위치 및 회전각을 이용하여 상기 대물면에 대응되는 회전된 좌표계를 형성하는 단계; 및상기 홀로그램을 상기 회전된 좌표계의 깊이방향으로 형성되는 평면에서 복원함으로써 상기 대상체의 영상을 획득하는 단계를 포함하는 스캐닝 홀로그램 기반 자동광학검사 방법
|
