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다수의 검사 대상체가 탑재된 테스트 보드를 수용하고 상기 테스트 보드로 검사신호를 인가하는 적어도 하나의 테스트 룸; 및상기 테스트 룸의 높이방향인 수직방향을 따라 공급 측부를 둘러싸도록 배치되고 검사유체의 수직분포를 조절하는 유량 분포기를 구비하여 상부에서 공급되는 상기 검사유체를 상기 테스트 룸으로 균일하게 공급하는 공급 덕트(duct)를 포함하는 테스트 챔버
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제1항에 있어서, 상기 유량 분포기는 상기 수직방향을 따라 하방으로 갈수록 폭이 증가하도록 선형 기울기를 갖는 경사판을 구비하여, 상기 검사유체는 상기 공급덕트의 내부에서 상방으로 갈수록 체적이 증가하여 상기 수직방향을 따라 균일한 유량분포를 이루는 테스트 챔버
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제2항에 있어서, 상기 경사판은 제1 경사각을 갖고 상기 수직방향을 따라 하방으로 연장하는 상부 경사판, 상기 상부 경사판과 제1 단부에서 연결되고 상기 제1 경사각과 다른 제2 경사각을 갖는 연결판 및 상기 연결판의 제2 단부와 연결되고 상기 제1 경사각을 갖고 상기 수직방향을 따라 하방으로 연장하는 하부 경사판을 구비하는 테스트 챔버
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제1항에 있어서, 상기 테스트 룸은, 검사공간을 제공하고 상기 공급 측부에서 상기 공급 덕트와 연통하는 장방형의 다공성 벽체; 상기 검사공간의 내부에서 상기 수직방향을 따라 연장하고 상기 테스트 보드를 수용하는 다수의 슬롯이 상기 수직방향으로 정렬된 보드 고정부; 상기 다공성 벽체에 구비되어 상기 검사공간을 선택적으로 개폐하여 상기 테스트 보드를 상기 검사공간으로 로딩 및 언로딩하는 도어; 및 상기 보드 고정부 주위의 검사공간인 주변공간을 매립하여 상기 주변공간으로 상기 검사유체가 유동하는 것을 방지하는 유동방지 블록을 포함하는 테스트 챔버
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제4항에 있어서, 상기 보드 고정부는 상기 공급 측부와 평행하게 배치되고 상기 검사공간의 폭 방향을 따라 일정한 거리만큼 이격되어 상기 각 슬롯별로 상기 테스트 보드가 위치하는 보드공간을 제공하며 상기 슬롯을 따라 일정한 간격으로 정렬되어 상기 검사유체의 유동경로를 제공하는 다수의 관통 홀을 구비하는 한 쌍의 수직평판을 포함하는 테스트 챔버
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제4항에 있어서, 상기 유동방지 블록은, 상기 도어의 내측면에 부착되어 상기 도어와 상기 보드 고정부 사이의 상기 주변공간인 전방공간을 매립하여 상기 전방공간으로 상기 검사유체가 유동하는 것을 방지하는 전방 블록; 상기 검사공간의 상부에 위치하는 상기 보드 고정부인 상부 슬롯 그룹과 상기 검사공간의 하부에 위치하는 상기 보드 고정부인 하부 슬롯 그룹사이의 상기 주변공간을 매립하여 상기 버퍼영역으로 상기 검사유체가 유동하는 것을 방지하는 버퍼 블록;상기 보드 고정부와 상기 도어와 대칭적으로 위치하는 상기 벽체인 후방벽체 사이의 주변공간인 후방공간을 매립하여 상기 후방공간으로 상기 검사유체가 유동하는 것을 방지하는 후방 블록; 및 상기 보드 고정부와 상기 벽체의 천정 사이의 주변공간인 천정공간을 매립하여 상기 천정공간으로 상기 검사유체가 유동하는 것을 방지하는 천정 블록 중의 적어도 어느 하나를 포함하는 테스트 챔버
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제1항에 있어서, 상기 공급 측부와 대칭적으로 위치하는 배출측부를 둘러싸도록 상기 수직방향을 따라 연장하고 상기 테스트 룸으로부터 상기 검사유체를 배출하는 배출 덕트; 및 상기 테스트 룸의 상면에 배치되고 상기 공급덕트 및 상기 배출 덕트와 연결되어 상기 공급덕트, 상기 테스트 룸 및 상기 배출덕트를 따라 상기 검사유체를 순환시키는 유체 순환기를 더 포함하는 테스트 챔버
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반도체 제조공정이 완료된 검사 대상체가 위치하는 로드 포트;상기 로드포트로부터 공급된 상기 원시 검사 대상체에 대한 전기특성 테스트를 수행하는 제1 테스트 챔버; 및 상기 제1 테스트 챔버와 연결되어 전기특성 검사를 통과한 상기 검사 대상체인 1차 검사 대상체에 대하여 번인 테스트를 수행하는 제2 테스트 챔버를 포함하고, 상기 제2 테스트 챔버는, 다수의 1차 검사 대상체가 탑재된 테스트 보드를 수용하고 상기 테스트 보드로 번인 테스트 신호를 인가하는 적어도 하나의 테스트 룸; 및 상기 테스트 룸의 높이방향인 수직방향을 따라 공급 측부를 둘러싸도록 배치되고 검사유체의 수직분포를 조절하는 유량 분포기를 구비하여 상부에서 공급되는 상기 검사유체를 상기 테스트 룸으로 균일하게 공급하는 공급 덕트(duct)를 구비하는 테스트 장치
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제8항에 있어서, 상기 유량 분포기는 상기 수직방향을 따라 하방으로 갈수록 폭이 증가하는 경사판을 구비하여, 상기 검사유체는 상기 공급덕트의 내부에서 상방으로 갈수록 체적이 증가하여 상기 수직방향을 따라 균일한 유량분포를 이루는 테스트 장치
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제9항에 있어서, 상기 테스트 룸은, 검사공간을 제공하고 상기 공급 측부에서 상기 공급 덕트와 연통하는 장방형의 다공성 벽체; 상기 검사공간의 내부에서 상기 수직방향을 따라 연장하고 상기 테스트 보드를 수용하는 다수의 슬롯이 상기 수직방향으로 정렬된 보드 고정부; 상기 다공성 벽체에 구비되어 상기 검사공간을 선택적으로 개폐하여 상기 테스트 보드를 상기 검사공간으로 로딩 및 언로딩하는 도어; 및 상기 보드 고정부 주위의 검사공간인 주변공간을 매립하여 상기 주변공간으로 상기 검사유체가 유동하는 것을 방지하는 유동방지 블록을 포함하는 테스트 장치
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