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표준 압력센서가 설치되는 챔버;챔버 내에 압력을 가하는 압력 제어기;압력 제어기를 제어하여 챔버 내에 압력을 가하되, 표준 압력센서에 의해 측정된 압력을 참고하여 압력 제어기를 제어하는 자동테스트장비;를 포함하는 것을 특징으로 하는 테스트 시스템
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청구항 1에 있어서,자동테스트장비는,표준 압력센서에 의해 정해진 압력이 측정되도록, 압력 제어기의 제어 신호를 조정하는 것을 특징으로 하는 테스트 시스템
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청구항 2에 있어서,챔버의 문제로 인해, 표준 압력센서에 의해 정해진 압력이 측정되지 않는 것을 특징으로 하는 테스트 시스템
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청구항 1에 있어서,챔버에는,측정 대상이 되는 측정 압력센서가 더 설치되는 것을 특징으로 하는 테스트 시스템
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청구항 4에 있어서,자동테스트장비는,측정 압력센서에 의해 측정된 압력으로부터 측정 압력센서를 테스트하는 것을 특징으로 하는 테스트 시스템
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청구항 5에 있어서,표준 압력센서와 측정 압력센서는,릴레이를 통해 자동테스트장비에 선택적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 테스트 시스템
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청구항 6에 있어서,압력 제어기의 보정시에는 표준 압력센서가 릴레이를 통해 자동테스트장비에 연결되고, 측정 압력센서의 테스트시에는 측정 압력센서가 릴레이를 통해 자동테스트장비에 연결되는 것을 특징으로 하는 테스트 시스템
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압력 제어기로 표준 압력센서가 설치된 챔버 내에 압력을 가하는 단계;표준 압력센서에 의해 측정된 압력을 참고하여 압력 제어기를 제어하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 압력 보정 방법
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