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전압파형 인가에 따라 압전박막 변형하는 압전 구동부와, 상기 압전 구동부에 연결되는 전극부와, 상기 압전 구동부의 압전박막 변형에 연동하여 진동하는 진동부와, 상기 진동부의 진동에 의해 잉크가 흐르는 유동유로를 가지는 소자 웨이퍼부; 상기 소자 웨이퍼부의 상부에 구비되고, 상기 압전 구동부를 내측에 수용하는 탑 웨이퍼부; 그리고 상기 소자 웨이퍼부의 하부에 구비되고, 상기 진동부가 진동 시에 상기 유동유로의 잉크가 토출되는 노즐을 가지는 노즐 플레이트부를 포함하고,상기 소자 웨이퍼부 및 상기 탑 웨이퍼부는 유테틱(Eutetctic) 접착층에 의해 서로 접착되고, 상기 소자 웨이퍼부 및 상기 노즐 플레이트는 제2벤조사이클로부텐 접착층에 의해 서로 접착되며, 상기 전극부는 상기 진동부의 상부에 서로 이격되게 구비되는 하부연결전극 및 상부연결전극을 가지고,상기 유테틱 접착층은 상기 하부연결전극 및 상기 상부연결전극의 상부에 구비되며, 상기 유테틱 접착층 및 상기 하부연결전극의 사이 및 상기 유테틱 접착층 및 상기 상부연결전극의 사이에는 절연층이 구비되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드 소자
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제1항에 있어서, 상기 전극부는 상기 압전 구동부의 하면과 접촉되고, 상기 하부연결전극이 전기적으로 연결되는 하부전극과, 상기 압전 구동부의 상면과 접촉되고, 상기 상부연결전극이 전기적으로 연결되는 상부전극을 가지는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드 소자
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제1항에 있어서, 상기 유테틱 접착층은 티타늄(Ti)층과, 상기 티타늄층의 상부에 구비되는 니켈(Ni)층과, 상기 니켈층의 상부에 구비되는 제1금(Au)층과, 상기 제1금층의 상부에 구비되는 주석(Sn)층과, 상기 주석층의 상부에 구비되는 제2금(Au)층을 가지는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드 소자
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제1방향으로 배치되는 제1잉크젯 헤드 소자 및 제2잉크젯 헤드 소자를 가지며, 상기 제1방향에 수직한 제2방향을 따라 배열되는 복수의 잉크젯 헤드 어레이; 상기 제1잉크젯 헤드 소자 및 상기 제2잉크젯 헤드 소자의 사이에 구비되고 상기 제1잉크젯 헤드 소자 및 상기 제2잉크젯 헤드 소자로 잉크가 유입되도록 안내하는 유입포트; 상기 제2방향으로 연장 형성되고 상기 복수의 잉크젯 헤드 어레이에 구비되는 상기 유입포트의 상부와 연결되어, 각각의 상기 유입포트로 잉크를 공급하는 공급채널; 상기 제1잉크젯 헤드 소자의 일측에 구비되고, 상기 제1잉크젯 헤드 소자로부터 잉크가 배출되도록 안내하는 제1배출포트; 그리고 상기 제2방향으로 연장 형성되고 상기 제1배출포트의 상부와 연결되어, 각각의 상기 제1배출포트로부터 배출되는 잉크가 순환방향으로 이동되도록 안내하는 제1유동채널을 포함하고, 상기 제1유동채널은 각각의 상기 제1배출포트의 수직 상측에 위치되는 영역인 제1유동로와, 각각의 상기 제1배출포트의 사이에 위치되어 각각의 상기 제1배출포트의 수직 상측에 위치되지 않는 영역인 제2유동로와, 상기 제2유동로의 내측으로 돌출 형성되어 상기 제2유동로의 단면적이 상기 제1유동로의 단면적보다 작아지도록 하여 상기 제1배출포트로부터 배출되는 잉크가 상기 제1유동채널에서 상기 순환방향의 반대방향으로 이동되는 것이 방지 또는 감소되도록 하는 돌출부를 가지는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드 조립체
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제6항에 있어서, 상기 순환방향을 기준으로 상기 돌출부의 전면은 상기 제2유동로의 단면적이 상기 순환방향을 따라 점진적으로 축소되도록 경사지게 형성되고, 상기 돌출부의 후면은 상기 순환방향에 수직하게 형성되어 상기 잉크젯 헤드 어레이 중 어느 잉크젯 헤드 어레이의 압전 구동부의 변형에 의해 발생하는 압력파가 인접하는 다른 잉크젯 헤드 어레이로 전파되는 것을 감소시키는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드 조립체
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전압파형 인가에 따라 압전박막 변형하는 압전 구동부와, 상기 압전 구동부에 접촉되는 전극부와, 상기 압전 구동부의 압전박막 변형에 연동하여 진동하는 진동부와, 상기 진동부의 진동에 의해 잉크가 흐르는 유동유로를 가지는 소자 웨이퍼부를 마련하는 소자 웨이퍼부 마련단계; 상기 압전 구동부를 내측에 수용하는 수용홈을 가지는 탑 웨이퍼부를 마련하는 탑 웨이퍼부 마련단계; 상기 탑 웨이퍼부의 하부에 유테틱(Eutetctic) 접착층을 마련하고 소자 웨이퍼부의 상부에 상기 탑 웨이퍼부를 접착하는 제1접착단계; 상기 진동부가 진동 시에 상기 유동유로의 잉크가 토출되는 노즐을 가지는 노즐 플레이트부를 마련하는 노즐 플레이트부 마련단계; 그리고 상기 소자 웨이퍼부의 상부에 제2벤조사이클로부텐 접착층을 마련하고, 상기 소자 웨이퍼부의 하부에 상기 노즐 플레이트부를 접착하는 제2접착단계를 포함하고, 상기 소자 웨이퍼부 마련단계에서, 상기 전극부는 상기 진동부의 상부에는 서로 이격되게 마련되는 하부연결전극 및 상부연결전극을 가지고, 상기 제1접착단계에서, 상기 하부연결전극 및 상기 상부연결전극의 상부에는 절연층이 마련되며,상기 유테틱 접착층은 상기 절연층의 상부에 접착되고, 상기 절연층은 상기 유테틱 접착층 및 상기 하부연결전극의 사이와, 상기 유테틱 접착층 및 상기 상부연결전극의 사이에는 구비되는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드 소자 제조방법
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제8항에 있어서, 상기 전극부는 상기 압전 구동부의 하면과 접촉되고, 상기 하부연결전극이 전기적으로 연결되는 하부전극과, 상기 압전 구동부의 상면과 접촉되고, 상기 상부연결전극이 전기적으로 연결되는 상부전극을 가지는 것을 특징으로 하는 잉크젯 헤드 소자 제조방법
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