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광접합 방식으로 원자 증기 셀을 제작하는 방법에 있어서,원자 증기 셀 하부를 메인 챔버 내 핫 플레이트 상에 배치하는 단계;상기 메인 챔버를 밀봉하고 상기 메인 챔버에 연결된 펌프를 동작시켜 상기 메인 챔버 내부를 고진공 상태로 만드는 단계;알칼리 원자 금속을 상기 원자 증기 셀 하부에 배치하는 단계; 및원자 증기 셀 상판을 상기 원자 증기 셀 하부에 올려 놓고 압력을 가함으로써, 상기 원자 증기 셀 상판과 상기 원자 증기 셀 하부를 광접합시키는 단계;를 포함하고,상기 원자 증기 셀 하부와 상기 원자 증기 셀 상판의 서로 맞닿는 면은 super polishing 작업을 거쳐서 nm 스케일의 편평도를 갖는 것인, 방법
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제 1 항에 있어서,상기 메인 챔버 내부를 고진공 상태로 만드는 단계는,상기 메인 챔버에 연결된 로타리 펌프 및 터보 펌프를 동작시킴으로써, 상기 메인 챔버 내부를 고진공 상태로 만드는 단계;를 포함하는, 방법
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제 1 항에 있어서,상기 메인 챔버 내부를 고진공 상태로 만드는 단계는,상기 메인 챔버와 상기 핫 플레이트를 고온으로 베이킹하는 단계; 및상기 메인 챔버와 상기 핫 플레이트의 온도를 상온으로 내리는 단계;를 더 포함하는, 방법
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제 1 항에 있어서,상기 알칼리 원자 금속을 원자 증기 셀 하부에 배치하는 단계는,상기 메인 챔버와 연결된 디스펜서에 전류의 양을 조절함으로써, 상기 원자 증기 셀 하부에 배치될 상기 알칼리 원자 금속의 양을 조절하는 단계;를 포함하는, 방법
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제 1 항에 있어서,상기 알칼리 원자 금속을 상기 원자 증기 셀 하부에 배치하는 단계는,적어도 하나의 버퍼가스를 상기 메인 챔버에 주입하는 단계;를 더 포함하는, 방법
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원자 증기 셀은,원자 증기 셀 하부; 및원자 증기 셀 상판;을 포함하고,상기 원자 증기 셀 상판과 상기 원자 증기 셀 하부의 맞닿는 면이 광접합됨으로써 제작되고,상기 원자 증기 셀 하부와 상기 원자 증기 셀 상판의 서로 맞닿는 면은 super polishing 작업을 거쳐서 nm 스케일의 편평도를 갖는 것인, 원자 증기 셀
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제 7 항에 있어서,상기 원자 증기 셀은 삼차원적으로 대칭인 정육면체 형상 또는 이차원적으로 대칭은 원통 형상를 갖는 것인, 원자 증기 셀
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제 7 항에 있어서,상기 원자 증기 셀 하부에는 알칼리 원자 금속이 배치되고,상기 알칼리 원자 금속이 상기 원자 증기 셀 하부에 배치된 상태에서 상기 원자 증기 셀 하부와 상기 원자 증기 셀 상판이 광접합되는 것인, 원자 증기 셀
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제 9 항에 있어서,상기 원자 증기 셀 하부에는 적어도 하나의 버퍼가스가 존재하는 것인, 원자 증기 셀
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