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상부에 대상물이 위치되는 플레이트유닛;상기 플레이트유닛 상에 마련되는 자동시준유닛;상기 플레이트유닛 상에 마련되며, 상기 자동시준유닛이 결합되는 스테이지유닛; 및상기 플레이트유닛의 내부에 구비되는 광학플랫유닛을 포함하며,상기 자동시준유닛은 상기 광학플랫유닛과 시준된 상태에서 대상물에 대한 시준을 수행하도록 마련된 것을 특징으로 하는 대상물 평행도 교정장치
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제 1 항에 있어서,상기 플레이트유닛은,상부에 대상물이 위치되며 상면이 평면으로 이루어진 정반부; 및상기 정반부의 상면에 함입 형성되며, 내부에 상기 광학플랫유닛이 수용되는 수용부를 포함하는 것을 특징으로 하는 대상물 평행도 교정장치
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제 2 항에 있어서,상기 플레이트유닛은,상기 수용부의 상부를 덮도록 형성되는 덮개부;상기 덮개부의 중앙에 형성되어 상기 자동시준유닛의 광 경로를 형성하는 경로홀부; 및상기 수용부의 바닥면을 형성하는 수용바닥부를 더 포함하며,상기 덮개부 및 상기 수용바닥부는 빛을 반사하지 않는 소재로 마련된 것을 특징으로 하는 대상물 평행도 교정장치
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제 1 항에 있어서,상기 스테이지유닛은,상기 플레이트유닛의 상부를 향해 연장된 제1 프레임부;상기 제1 프레임부에 상승 및 하강이 가능하게 결합되는 제2 프레임부; 및상기 제2 프레임부와 결합되며, 상기 자동시준유닛이 결합되도록 마련된 제3 프레임부를 포함하는 것을 특징으로 하는 대상물 평행도 교정장치
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제 4 항에 있어서,상기 제2 프레임부는,일방향 및 타방향으로 회전 가능하게 마련되며, 회전 방향에 따라 상기 제3 프레임부와 상기 제1 프레임부의 거리가 조절되도록 마련되는 것을 특징으로 하는 대상물 평행도 교정장치
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제 4 항에 있어서,상기 제3 프레임부는,일방향 및 타방향으로 회전 가능하게 마련되는 것을 특징으로 하는 대상물 평행도 교정장치
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제 1 항에 있어서,상기 플레이트유닛의 내부에 구비되며, 상기 광학플랫유닛이 결합되는 교정유닛을 더 포함하며,상기 교정유닛은,상기 광학플랫유닛과 상기 자동시준유닛의 시준이 이루어지도록 상기 광학플랫유닛을 제어하도록 마련된 것을 특징으로 하는 대상물 평행도 교정장치
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제 7 항에 있어서,상기 교정유닛은,내부에 상기 광학플랫유닛이 결합될 수 있는 교정결합홀이 형성된 제1 교정부;상기 제1 교정부의 상부에 결합되는 제2 교정부; 및상기 제2 교정부에 결합되는 복수의 교정제어부를 포함하며,복수의 상기 교정제어부는 결합 위치의 상기 제1 교정부와 상기 제2 교정부의 이격 거리를 조절하도록 마련된 것을 특징으로 하는 대상물 평행도 교정장치
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제 3 항에 있어서,상기 덮개부의 상부 또는 하부에 마련되며, 경로홀부를 개폐 가능하도록 마련된 셔터유닛을 더 포함하며,상기 셔터유닛은 빛을 반사하지 않는 소재로 마련된 것을 특징으로 하는 대상물 평행도 교정장치
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제 1 항에 있어서,상기 대상물이 결합되며, 상기 플레이트유닛의 상부에 위치하는 지그유닛을 더 포함하며,상기 지그유닛은, 상기 자동시준유닛과 상기 대상물이 시준되도록 상기 대상물의 위치 및 기울기를 제어하도록 마련된 것을 특징으로 하는 대상물 평행도 교정장치
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제 1 항에 따른 대상물 평행도 교정장치의 작동방법에 있어서,a) 상기 자동시준유닛과 상기 광학플랫유닛 상에 위치된 광학평행유닛을 시준하는 단계;b) 상기 광학평행유닛과 시준된 상기 자동시준유닛을 상기 광학플랫유닛과 시준하는 단계; 및c) 상기 광학플랫유닛과 시준된 상기 자동시준유닛을 상기 대상물과 시준하는 단계를 포함하며,상기 c) 단계 이후에 상기 대상물이 변경될 경우, 상기 b) 단계부터 이루어지는 것을 특징으로 하는 대상물 평행도 교정장치의 작동방법
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제 11 항에 있어서,상기 a) 단계에서,a1) 상기 광학플랫유닛 상에 상기 광학평행유닛을 위치시키는 단계; 및a2) 상기 광학플랫유닛 상에 위치된 상기 광학평행유닛의 십자선 중심을 상기 자동시준유닛의 화면 중앙에 위치시켜 시준하는 단계를 포함하며,상기 a2) 단계는, 상기 자동시준유닛의 위치 및 기울기를 제어하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 대상물 평행도 교정장치의 작동방법
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제 12 항에 있어서,상기 a1) 단계에서, 상기 광학플랫유닛 상의 셔터유닛은 닫힌 상태인 것을 특징으로 하는 대상물 평행도 교정장치의 작동방법
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제 13 항에 있어서,상기 b) 단계는,b1) 상기 광학평행유닛을 상기 광학플랫유닛 상에서 제거하는 단계;b2) 상기 셔터유닛을 개방하는 단계; 및b3) 상기 광학플랫유닛의 십자선 중심을 상기 광학평행유닛과 시준된 상기 자동시준유닛의 화면 중앙에 위치시켜 시준하는 단계를 포함하며,상기 b3) 단계는, 상기 광학플랫유닛의 위치 및 기울기를 제어하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 대상물 평행도 교정장치의 작동방법
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제 14 항에 있어서,상기 c) 단계는,c1) 상기 셔터유닛을 폐쇄하는 단계;c2) 상기 대상물을 상기 광학플랫유닛의 상부에 위치시키는 단계; 및c3) 상기 대상물의 십자선 중심을 상기 광학플랫유닛과 시준된 상기 자동시준유닛의 화면 중앙에 위치시켜 시준하는 단계를 포함하며,상기 c3) 단계는, 상기 대상물의 위치 및 기울기를 제어하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 대상물 평행도 교정장치의 작동방법
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