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In-situ 스퍼터링 기반 셀렌화에 의한 CIGS 광흡수층 제조방법

  • 기술번호 : KST2020012638
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 태양전지 광흡수층으로 사용되는 칼코파라이트 Cu(In,Ga)Se2 (CIGS) 박막을 형성하는 방법으로서, in-situ 진공 공정에 의해 박막을 제조하는 방법에 관한 것이다. 이를 위해서, 스퍼터링 방법으로 Cu-In-Ga 혹은 Cu-In-Ga-Se 전구체 박막을 증착하고, Se을 맨 위층에 두껍게 증착한 다음, 열처리 과정을 거친다, 열처리 과정을 하는 중에도 스퍼터링으로 Se을 증착하여 박막 표면에 Se이 부족하지 않게 보충을 해준다. 이 방법은 Cu(In,Ga)Se2 박막을 in-line 스퍼터링 방법으로 연속적으로 제조할 수 있게 하는 이점이 있다.
Int. CL C23C 14/06 (2006.01.01) C23C 14/58 (2006.01.01) C23C 14/56 (2006.01.01) C23C 14/34 (2006.01.01) H01L 31/032 (2006.01.01) H01L 31/0445 (2014.01.01) H01L 31/18 (2006.01.01) H01L 31/0392 (2006.01.01)
CPC
출원번호/일자 1020200004934 (2020.01.14)
출원인 인천대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2020-0104794 (2020.09.04) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020190023206   |   2019.02.27
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2020.01.14)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 인천대학교 산학협력단 대한민국 인천광역시 연수구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김준호 인천광역시 연수구
2 김성연 인천광역시 남동구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 차준용 대한민국 서울특별시 구로구 디지털로**길 ***(구로동) 제이엔케이디지털타워 ****호(거번국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2020.01.14 수리 (Accepted) 1-1-2020-0042647-76
2 [출원서 등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2020.01.16 수리 (Accepted) 1-1-2020-0049380-99
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2020.12.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
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번호 청구항
1 1
다층 기판/Cu-In-Ga/Se(t);다층 기판/Cu-In-Ga-Se/Se(t);다층 기판/Cu-In-Ga/Se(t)/Cu-Ga;및다층 기판/Cu-In-Ga-Se/Se(t)/Cu-Ga-Se 중 어느 하나 또는 이들의 조합을 포함하는 광흡수층 전구체 구조
2 2
스퍼터링 방법에 의하여 제1항의 광흡수층 전구체를 제조하는 단계;및상기 광흡수층 전구체를 열처리하는 단계를 포함하고, Se(t) 층은 0
3 3
제2항에 있어서,상기 열처리 단계는 Se을 스퍼터링 하면서 열처리 과정 중에도 Se을 공급하는 것을 특징으로 하는 광흡수층 제조방법
4 4
제3항에 있어서, 상기 Se 스퍼터링 공정은 Se 스퍼터링 타겟 또는 S가 첨가된 Se-S 스퍼터링 타겟을 사용하는 것을 특징으로 하는 광흡수층 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 (주)AVACO 신재생에너지핵심기술개발(R＆D) 노즐 프리 셀레늄 샤워 모듈을 이용한 고효율 (≥17%) 화합물박막 광흡수층 제조용 대면적 (300x300mm2) 급속열처리 장치 개발