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XPS(X-ray photoelectron spectroscopy)를 이용하여 칼코게나이드에 도핑된 탄소 농도를 측정하는 방법에 있어서,M-C 결합에 상응하는 피크의 최댓값을 기준으로 M-C 결합에 상응하는 피크 높이의 비를 측정하여 칼코게나이드에 도핑된 탄소 농도를 측정하는 방법:상기 M은 탄소가 아닌 상기 칼코게나이드의 구성원소 중 하나이다
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제1항에 있어서,상기 칼코게나이드는 Ge2Sb2Te5인 방법
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제2항에 있어서,상기 M은 Ge 또는 Sb인 방법
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제2항에 있어서,상기 M-C 결합에 상응하는 피크의 최댓값은 탄소 농도가 상기 칼코게나이드의 총 원자수 기준 7
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기판에 금속, 칼코겐 및 탄소를 증착시켜 탄소 도핑된 칼코게나이드 박막을 형성하는 단계;를 포함하고,제1항의 방법으로 상기 박막의 탄소 농도를 측정하여 상기 탄소의 증착량을 결정하는 탄소 도핑된 칼코게나이드의 제조방법
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제5항에 있어서,상기 증착은 물리적 기상 증착법, 화학적 기상 증착법, 스퍼터링, 펄스 레이저 증착법, 증발법, 전자빔 증발법, 원자층 증착법, 분자선 에피탁시 증착법 및 이들 중 2 이상의 조합으로 이루어진 군에서 선택된 하나의 방법으로 수행되는 탄소 도핑된 칼코게나이드의 제조방법
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제5항에 있어서,상기 금속은 Bi, In, Cu, Ge, Sb, Si, 또는 Sn으로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상인 탄소 도핑된 칼코게나이드의 제조방법
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탄소 도핑된 칼코게나이드를 포함하고,상기 칼코게나이드는 XPS(X-ray photoelectron spectroscopy)를 이용하여 측정된 결합에너지 33
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제8항에 있어서,상기 칼코게나이드는 Ge2Sb2Te5인 전자 소자
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제8항에 있어서,상기 칼코게나이드에 도핑된 탄소 농도는 상기 칼코게나이드의 총 원자수 기준 8
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