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양측에 제1 챔버 및 제2 챔버를 포함하는 하우징;상기 제1 챔버 및 상기 제2 챔버의 사이의 상기 하우징의 일면에 형성되고 플라즈마 챔버로부터의 플라즈마의 빛이 노출되는 개구에 대향되는 장착개구;상기 장착개구의 반대편의 상기 하우징의 타면에 형성되고, 상기 장착개구와 동축을 이뤄서 상기 플라즈마의 빛이 투과되며, OES 장치의 수광부와 연결되는 견시창 개구;상기 하우징 내 견시창 개구의 내측에 위치하는 견시창;상기 제1 챔버 및 상기 제2 챔버 각각에 설치된 와인더 및 리와인더; 및상기 하우징 내 상기 장착개구의 내측을 커버하면서 상기 리와인더에서 상기 와인더로 롤투롤 되도록 구성되는 투명필름을 포함하는,플라즈마 OES 진단용 윈도우
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제1항에 있어서,상기 장착개구에 노출된 투명필름의 오염도를 확인하는 오염도 확인 수단을 추가로 포함하는,플라즈마 OES 진단용 윈도우
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제2항에 있어서,상기 오염도 확인 수단으로 확인된 오염도가 미리 정한 값 이상인 경우 상기 와인더와 상기 리와인더를 구동하여 미리 정한 길이 만큼 투명 필름을 롤투롤 하는 롤투롤 구동부를 추가로 포함하는,플라즈마 OES 진단용 윈도우
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제1항에 있어서,상기 장착개구로부터 외측으로 상기 장착개구를 둘러싸면서 연장된 장착개구측벽을 포함하고,상기 장착개구측벽에 삽입되고, 관통홀을 포함하는 장착개구 블록을 포함하는,플라즈마 OES 진단용 윈도우
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제4항에 있어서,상기 관통홀은 1 내지 5mm의 내경을 가짐을 특징으로 하는,플라즈마 OES 진단용 윈도우
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제1항에 있어서,상기 투명 필름이 상기 장착개구의 내측면에 밀착되면서 롤투롤 되도록, 상기 장착개구의 양측에 위치하는 텐션 롤러(tension roller)를 포함하는,플라즈마 OES 진단용 윈도우
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제1항에 있어서,상기 견시창 개구의 외측에 설치된 OES 센서의 광섬유 연결부를 포함하는,플라즈마 OES 진단용 윈도우
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제1항에 있어서,상기 투명 필름은 내열 및 내화학성 필름임을 특징으로 하는,플라즈마 OES 진단용 윈도우
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제1항 내지 제8항 중 어느 한항의 플라즈마 OES 진단용 윈도우가 설치된 플라즈마 장치
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