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OES(optical emission spectroscopy)장치에서 획득된 OES데이터를 수신하는 단계; 상기 OES데이터에서 선택조건에 수렴되는 OES데이터를 추출하고, 추출된 OES데이터를 조합하는 단계; 상기 조합된 OES데이터를 이미지 데이터로 변환하는 단계; 및상기 이미지 데이터의 분석을 통해 플라즈마 상태를 진단하는 단계;를 포함하고, 상기 OES데이터를 조합하는 단계는, 상기 OES데이터에 포함된 스펙트럼의 파장값 및 세기값을 확인하고, 상기 파장값을 기반으로 상기 OES데이터를 그룹화하고, 그룹별로 상기 스펙트럼의 세기값을 조합하여 각 그룹에 포함된 상기 OES데이터의 조합값 중 두 개의 조합값에 대한 상호비율값을 산출하는 단계인 것을 특징으로 하는 플라즈마 상태 진단 방법
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제1항에 있어서, 상기 이미지 데이터로 변환하는 단계는, 상기 조합된 OES데이터를 RGB(Red, Green, Blue)값을 갖는 상기 이미지 데이터로 변환하는 단계인 것을 특징으로 하는 플라즈마 상태 진단 방법
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제2항에 있어서, 상기 OES데이터를 수신하는 단계 이후에, 상기 선택조건의 기 설정여부를 판단하는 단계; 및상기 선택조건이 기 설정된 상태가 아니면, 상기 선택조건을 설정하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 상태 진단 방법
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제3항에 있어서, 상기 OES데이터의 조합값은, 상기 그룹별로 상기 세기값의 총합, 평균값, 중앙값, 최대값 및 최소값 중 어느 하나의 값인 것을 특징으로 하는 플라즈마 상태 진단 방법
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제3항에 있어서, 상기 이미지 데이터로 변환하는 단계는, 상기 상호비율값을 순차적으로 정규화하여 도출된 값으로 상기 RGB값을 설정하는 단계; 및상기 설정된 RGB값을 기반으로 상기 이미지 데이터를 생성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 상태 진단 방법
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제3항에 있어서, 상기 이미지 데이터로 변환하는 단계는, 스펙트럼에 대한 파장별로 상기 상호비율값을 정규화하여 도출된 값으로 상기 RGB값을 설정하는 단계; 및상기 설정된 RGB값을 기반으로 상기 이미지 데이터를 생성하는 단계; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 상태 진단 방법
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OES(optical emission spectroscopy)장치와 통신을 수행하는 통신부; 및상기 OES장치로부터 수신된 OES데이터에서 선택조건에 수렴되는 OES데이터를 추출하고, 상기 OES데이터에 포함된 스펙트럼의 파장값 및 세기값을 확인하고, 상기 파장값을 기반으로 상기 OES데이터를 그룹화하고, 그룹별로 상기 스펙트럼의 세기값을 조합하여 각 그룹에 포함된 상기 OES데이터의 조합값 중 두 개의 조합값의 상호비율값을 산출하여 조합한 상기 추출된 OES데이터를 이미지 데이터로 변환한 후, 플라즈마 상태를 진단하는 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 상태 진단 장치
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제9항에 있어서, 상기 제어부는, 상기 조합된 OES데이터를 RGB(Red, Green, Blue)값을 갖는 상기 이미지 데이터로 변환하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 상태 진단 장치
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제10항에 있어서, 상기 제어부는, 상기 선택조건이 기 설정된 상태가 아니면, 상기 선택조건을 설정하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 상태 진단 장치
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제11항에 있어서, 상기 제어부는, 상기 OES데이터에 포함된 스펙트럼의 파장값 및 세기값을 확인하고, 상기 파장값을 기반으로 설정된 파장 단위로 상기 OES데이터를 그룹화하고, 그룹별로 상기 스펙트럼의 세기값을 조합하여 각 그룹에 포함된 상기 OES데이터의 조합값을 산출하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 상태 진단 장치
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제12항에 있어서, 상기 제어부는, 상기 그룹별로 상기 세기값의 총합, 평균값, 중앙값, 최대값 및 최소값 중 어느 하나의 값을 상기 조합값으로 산출하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 상태 진단 장치
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제12항에 있어서, 상기 제어부는, 상기 스펙트럼에 대한 파장별로 상기 상호비율값을 정규화하여 도출된 값으로 설정된 상기 RGB값을 기반으로 상기 이미지 데이터를 생성하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 상태 진단 장치
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