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시료를 공급하는 시료 주입 모듈;상기 시료를 기체 분자들로 분리시키는 가스 크로마토그래피 모듈;상기 가스 크로마토그래피 모듈에 연결되는 챔버와, 상기 챔버 내의 공기를 펌핑하는 진공 펌프와, 상기 챔버 내에 배치되어 상기 기체 분자들의 이온을 검출하여 상기 기체 분자들의 종류를 판별하는 질량 분석기를 포함하는 질량 분석 모듈; 및상기 질량 분석 모듈의 상기 챔버와 상기 가스 크로마토그래피 사이에 배치되고, 상기 챔버 내에 상기 기체 분자들을 극미량으로 추출하여 상기 진공 펌프를 소형화 및 경량화시키는 가스 추출 밸브를 포함하는 가스 분석 장치
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제 1 항에 있어서,상기 가스 추출 밸브는 상기 가스 크로마토 그래피 모듈에 연결되는 입구, 상기 입구에 대향하는 제 1 출구, 및 상기 입구와 상기 제 1 출구 사이에서 분기하여 상기 질량 분석 모듈에 연결되는 상기 제 2 출구를 갖는 3웨이 밸브를 포함하는 가스 분석 장치
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제 2 항에 있어서,상기 가스 추출 밸브는:상기 입구에서 상기 제 1 출구까지 연장하여 상기 기체 분자들을 연속적으로 유동시키는 연속 유로; 및상기 연속 유로에서 분기되어 상기 제 2 출구에 연결되고, 상기 기체 분자들을 선택적으로 유동시키는 펄스 유로를 포함하는 가스 분석 장치
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제 3 항에 있어서,상기 가스 추출 밸브는 상기 펄스 유로 내에 배치되어 상기 기체 분자들을 정량적으로 단속하는 제 1 및 제 2 압전판들을 더 포함하는 가스 분석 장치
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제 4 항에 있어서,상기 제 1 및 상기 제 2 압전판들 사이의 펄스 유로는 상기 제 1 및 제 2 압전판들의 외경보다 좁은 내경을 갖는 가스 저장 공간을 갖고,상기 가스 추출 밸브는:상기 제 1 및 제 2 압전판들의 가장자리를 상기 가스 저장 공간 외곽의 상기 펄스 유로의 내벽 상에 고정하는 스프링들; 및상기 스프링들 사이의 상기 가스 저장 공간의 가장자리에 배치되어 상기 제 1 및 제 2 압전판들과 상기 펄스 유로의 내벽을 씰링하는 패킹들을 더 포함하는 가스 분석 장치
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가스 크로마토그래피 모듈 내에 시료를 공급하는 단계;상기 시료를 가열하여 기체 분자들을 생성하는 단계;가스 추출 밸브를 이용하여 상기 기체 분자들을 극미량으로 추출하는 단계; 및질량 분석 모듈을 이용하여 상기 기체 분자들을 질량 분석 방법으로 분석하여 상기 기체 분자들의 동종을 측정하는 단계를 포함하되,상기 기체 분자들을 극미량으로 추출하는 단계는:상기 가스 추출 밸브의 연속 유로 내에 상기 기체 분자들을 제공하는 단계; 및상기 연속 유로에 연결된 펄스 유로 내에 상기 기체 분자들을 정량적으로 추출하는 단계를 포함하는 가스 분석 방법
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제 6 항에 있어서,상기 펄스 유로 내에 상기 기체 분자들을 정량적으로 추출하는 단계는:상기 펄스 유로 내의 제 1 압전판에 제 1 펄스 신호의 제 1 턴온 신호를 인가하여 상기 제 1 압전판을 변형하고, 상기 펄스 유로의 가스 저장 공간 내에 상기 기체 분자들을 충진하는 단계; 상기 제 1 압전판에 상기 제 1 펄스 신호의 제 1 턴오프 신호를 인가하여 상기 제 1 압전판을 복원시키고, 상기 가스 저장 공간 내에 상기 기체 분자들을 저장하는 단계;상기 제 1 압전판과 다른 제 2 압전판에 제 2 펄스 신호의 제 2 턴온 신호를 인가하여 제 2 압전 판을 변형하고, 상기 가스 저장 공간 내의 상기 기체 분자들을 질량 분석 모듈의 챔버 내에 제공하는 단계; 및상기 제 2 압전판에 상기 제 2 펄스 신호의 제 1 턴오프 신호를 인가하여 상기 제 2 압전판을 복원시키고, 상기 가스 저장 공간과 상기 질량 분석 모듈 사이를 분리시키는 단계를 포함하는 가스 분석 방법
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