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(1) 단량체가 2 이상의 결합팔을 갖는 폴리실라잔(polysilazane) 고분자 용액을 탄소나노튜브(carbon nanotube, CNT) 시트의 적어도 일면 상에 접촉시켜 폴리실라잔 용액 코팅층을 형성하는 단계; 및(2) 상기 코팅층을 열분해하여 세라믹 코팅층을 형성하는 단계;를 포함하고,상기 CNT 시트 상에 전극조립영역을 만들기 위하여,상기 (1) 단계에서는 상기 CNT 시트 표면의 일부 영역에 마스크를 씌운 후 상기 폴리실라잔 용액 코팅층을 형성하여, 상기 마스크가 씌워진 영역에 비코팅 영역을 만들며,상기 (2) 단계에서는 상기 마스크를 벗기고 상기 비코팅영역에 변형방지용 지지체를 씌운 채 상기 코팅층을 열분해하는 것을 특징으로 하는 는면상발열체 제조방법
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제1항에 있어서,상기 폴리실라잔 고분자는 하기 화학식 1로 표시되는 구조를 포함하는 것을 특징으로 하는 면상발열체 제조방법:[화학식 1]상기 화학식 1에서, R은 수소, 알킬기, 바이닐기 및 아릴기 중 하나 이상을 포함한다
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제1항에 있어서,상기 (1) 단계는(1-1) 단량체가 2 이상의 결합팔을 갖는 폴리실라잔 고분자 용액을 CNT 시트의 적어도 일면 상에 접촉시켜 폴리실라잔 용액 코팅층을 형성하는 단계; 및(1-2) 상기 코팅층의 변형을 방지하기 위하여 상기 코팅층을 불활성 기체 분위기에서 건조하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 면상발열체 제조방법
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제1항에 있어서,상기 CNT 시트는 하기 단계를 포함하는 건식 연속 공정으로 제조된 것을 특징으로 하는 면상발열체 제조방법:가) 탄소공급원 및 촉매를 포함하는 원료 용액을 열분해하여 CNT를 합성하는 단계; 및나) 상기 합성된 CNT를 연속적으로 권취하여 CNT 시트를 제조하는 단계
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