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세정대상물에 도포된 세정액을 사이에 두고 상기 세정대상물과 이격 배치되는 진동전달 플레이트; 및상기 진동전달 플레이트로 서로 다른 주파수의 초음파를 발생 시키는 복수개의 초음파 모듈이 모여 이루어지는 초음파 생성부;를 포함하며,상기 초음파 생성부는 상기 세정대상물의 이동 방향으로 복수개의 상기 초음파 모듈이 초음파 주파수에 따라 오름차순 또는 내림차순으로 이격 배치되어, 각각의 초음파 모듈에서 방출되는 서로 다른 주파수의 초음파가 세정대상물에 순차적으로 인가되는 것을 특징으로 하는, 다주파 생성 모듈
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제 1항에 있어서,복수개의 상기 초음파 모듈 중 어느 하나 이상의 초음파 모듈을 통해 상기 진동전달 플레이트로 전달된 초음파는 상기 세정대상물의 표면에 경사지게 입사되는 것을 특징으로 하는, 다주파 생성 모듈
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제 2항에 있어서, 상기 진동전달 플레이트는 각각의 상기 초음파 모듈이 결합되는 복수개의 결합부를 포함하며, 복수개의 상기 결합부 중 어느 하나 이상의 상기 결합부는 상기 초음파 모듈로부터 진동을 전달받는 경사부, 진동 전달면, 진동 전달홈 중 어느 하나가 세정대상물의 표면과 일정 경사를 가지는 것을 특징으로 하는, 다주파 생성 모듈
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제 2항에 있어서, 상기 진동전달 플레이트는 상기 세정액과 접하는 하측에 위치되며 하면이 상기 세정대상물의 표면과 수평지게 배치되는 수평결합부를 더 포함하고, 복수개의 상기 초음파 모듈이 결합되는 진동 전달면이 상기 세정대상물의 표면과 경사지게 배치되는 것을 특징으로 하는, 다주파 생성 모듈
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제 4항에 있어서,상기 수평결합부는 내부에 유체가 구비되는 구비공간이 형성되는 수평결합 몸체와, 상기 구비공간 상에 구비되는 유체 상의 매질을 포함하는 것을 특징으로 하는, 다주파 생성 모듈
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제 1항 내지 제 5항 중 어느 하나의 항에 있어서, 상기 진동전달 플레이트는 복수개의 상기 초음파 모듈 사이에 위치되어 각각의 초음파 모듈에서 상기 진동전달 플레이트로 전달되는 초음파 간의 간섭을 제한하는 간섭 방지부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 다주파 생성 모듈
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제 6항에 있어서,상기 간섭 방지부는 복수개의 상기 초음파 모듈 사이에 형성된 홈인 것을 특징으로 하는, 다주파 생성 모듈
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제 1항에 있어서,상기 진동전달 플레이트는 각각의 상기 초음파 모듈이 개별적으로 지지되는 복수개의 지지부가 모여 이루어지는 지지모듈을 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 다주파 생성 모듈
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제 8항에 있어서,각각의 상기 지지부는 결합된 각각의 상기 초음파 모듈의 각도를 조절 가능한 것을 특징으로 하는, 다주파 생성 모듈
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운반되는 세정대상물에 세정액을 도포하는 세정액 도포부;세정대상물에 도포된 세정액을 사이에 두고 상기 세정대상물과 이격 배치되는 진동전달 플레이트; 상기 진동전달 플레이트로 서로 다른 주파수의 초음파를 발생 시키는 복수개의 초음파 모듈이 모여 이루어지는 초음파 생성부;를 포함하며, 상기 초음파 생성부가 상기 세정대상물의 이동 방향으로 복수개의 상기 초음파 모듈이 초음파 주파수에 따라 오름차순 또는 내림차순으로 이격 배치되어, 각각의 초음파 모듈에서 방출되는 서로 다른 주파수의 초음파가 세정대상물에 순차적으로 인가되는 것을 특징으로 하는, 다주파 생성 모듈;상기 세정대상물의 표면에 린스액를 방출하는 린스부; 및상기 세정대상물의 표면에 기체를 방출하여 세정대상물의 표면에 위치된 린스액 및 잔여 세정수를 제거하는 건조부;를 포함하며,상기 다주파 생성 모듈은 상기 세정대상물을 향하여 비스듬한 각도로 초음파를 방출하는 것을 특징으로 하는, 다주파 생성 모듈을 이용한 초음파 세정장치
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제 10항에 있어서,상기 세정액 도포부와, 상기 다주파 생성 모듈과, 상기 린스부와, 상기 건조부는 한 쌍이 상기 세정대상물을 사이에 두고 서로 대향 배치되는 것을 특징으로 하는, 다주파 생성 모듈을 이용한 초음파 세정장치
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