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OLED용 재료의 장시간 열안정성 평가를 위한 열처리 장치 및 OLED용 재료의 정제 장치

  • 기술번호 : KST2020013106
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 OLED용 재료의 장시간 열안정성 평가를 위한 열처리 장치 및 정제 장치에 관한 것으로서, 내부에 샘플이 수용되며, 제1영역과 제2영역으로 구분되는 샘플용기와, 상기 샘플용기 주변에 설치되어 상기 샘플용기를 가열하며, 상기 샘플용기의 제1영역과 제2영역의 온도를 각각 조절하는 제1히터부 및 제2히터부로 이루어진 히터수단과, 상기 샘플용기 주변에 설치되어 상기 샘플용기를 냉각하며, 상기 샘플용기의 제1영역과 제2영역의 온도를 각각 조절하는 제1냉각부 및 제2냉각부로 이루어지는 냉각수단과, 상기 샘플용기의 양단부와 제1밸브 및 제2밸브로 각각 연결된 펌핑라인이 형성되어 상기 샘플용기 내부를 진공상태로 유지시키고, 상기 샘플용기 내부의 진공 배기 방향을 변경하는 펌핑수단을 포함하고, 상기 제2냉각부가 작동될 때에는 상기 제2밸브가 열리고, 상기 제1히터부가 작동되어 진공 배기 방향을 따라 상기 샘플용기의 제1영역에서 제2영역으로 증발된 샘플이 이동하여 증착되고, 상기 제1냉각부가 작동될 때에는 상기 제1밸브가 열리면서 상기 진공 배기 방향이 변경되고, 상기 제2히터부가 작동되어 상기 샘플용기의 제2영역에서 제1영역으로 증발된 샘플이 이동하여 증착되는 과정이 교대로 이루어지는 것을 특징으로 하는 OLED용 재료의 장시간 열안정성 평가를 위한 열처리 장치 및 정제 장치를 기술적 요지로 한다. 본 발명은 OLED용 재료의 장시간 열안정성 평가를 위한 열처리 장치 및 정제 장치에 관한 것으로서, 고온, 고진공에서 샘플의 최대 열처리 시간을 늘리고, 열처리 이후 남아있는 분석 대상 샘플의 수득률이 개선된 이점이 있다.
Int. CL H01L 51/00 (2006.01.01) H01L 51/56 (2006.01.01)
CPC H01L 51/0025(2013.01) H01L 51/0025(2013.01) H01L 51/0025(2013.01) H01L 51/0025(2013.01) H01L 51/0025(2013.01)
출원번호/일자 1020190075824 (2019.06.25)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자 10-2155569-0000 (2020.09.08)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20200915) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2019.06.25)
심사청구항수 19

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 윤주영 서울시 양천구
2 김진태 대전시 유성구
3 심섭 서울특별시 양천구
4 김하영 충청북도 괴산군
5 최은미 세종특별자치시 달빛*로

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이준성 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로**길 **, ***호 준성특허법률사무소 (대치동, 대치빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대전 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2019.06.25 수리 (Accepted) 1-1-2019-0650704-17
2 [출원서 등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2019.08.27 수리 (Accepted) 1-1-2019-0880493-40
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2019.12.05 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2020.02.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2020-0074999-30
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2020.06.17 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0624928-96
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2020.06.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0413640-06
7 등록결정서
Decision to grant
2020.08.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0571032-17
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번호 청구항
1 1
내부에 샘플이 수용되며, 제1영역과 제2영역으로 구분되는 샘플용기;상기 샘플용기 주변에 설치되어 상기 샘플용기를 가열하며, 상기 샘플용기의 제1영역과 제2영역의 온도를 각각 조절하는 제1히터부 및 제2히터부로 이루어진 히터수단;상기 샘플용기 주변에 설치되어 상기 샘플용기를 냉각하며, 상기 샘플용기의 제1영역과 제2영역의 온도를 각각 조절하는 제1냉각부 및 제2냉각부로 이루어지는 냉각수단;상기 샘플용기의 양단부와 제1밸브 및 제2밸브로 각각 연결된 펌핑라인이 형성되어 상기 샘플용기 내부를 진공상태로 유지시키고, 상기 샘플용기 내부의 배기 방향을 변경하는 펌핑수단;을 포함하고,상기 제2냉각부가 작동될 때에는 상기 제2밸브가 열리고, 상기 제1히터부가 작동되어 진공 배기 방향을 따라 상기 샘플용기의 제1영역에서 제2영역으로 증발된 샘플이 이동하여 증착되고,상기 제1냉각부가 작동될 때에는 상기 제1밸브가 열리면서 상기 진공 배기 방향이 변경되고, 상기 제2히터부가 작동되어 상기 샘플용기의 제2영역에서 제1영역으로 증발된 샘플이 이동하여 증착되는 과정이 교대로 이루어지는 것을 특징으로 하는 OLED용 재료의 장시간 열안정성 평가를 위한 열처리 장치
2 2
제 1항에 있어서, 상기 샘플용기의 내부에는,상기 제1영역과 제2영역의 경계에 오리피스(orifice) 플레이트가 형성되어 증발된 샘플의 분출(effusion)을 통해 상기 제1영역 또는 제2영역에 증발된 샘플이 증착되는 것을 특징으로 하는 OLED용 재료의 장시간 열안정성 평가를 위한 열처리 장치
3 3
제 2항에 있어서, 상기 오리피스 플레이트는,상기 샘플용기와 연결된 보관부에 배치되어 상기 샘플용기 내부로 이송되도록 형성된 것을 특징으로 하는 OLED용 재료의 장시간 열안정성 평가를 위한 열처리 장치
4 4
제 1항에 있어서, 상기 샘플용기는,원통형 구조로 형성되며, 쿼츠(quartz) 튜브 또는 서스(SUS) 튜브로 형성된 것을 특징으로 하는 OLED용 재료의 장시간 열안정성 평가를 위한 열처리 장치
5 5
제 1항에 있어서, 상기 히터수단은,상기 제1영역의 온도를 조절하는 제1히터부와, 상기 제2영역의 온도를 조절하는 제2히터부로 구현되며,상기 제1히터부는 상기 제1영역의 중심부보다 경계부의 위치에서 보다 더 조밀한 히팅요소가 구현되고,상기 제2히터부는 상기 제2영역의 중심부보다 경계부의 위치에서 보다 더 조밀한 히팅요소가 구현된 것을 특징으로 하는 OLED용 재료의 장시간 열안정성 평가를 위한 열처리 장치
6 6
제 5항에 있어서, 상기 히터수단은,상기 제1히터부 및 제2히터부 사이에 형성되며, 상기 샘플용기의 제1영역과 제2영역 경계부의 온도를 조절하기 위한 제3히터부가 더 구현되는 것을 특징으로 하는 OLED용 재료의 장시간 열안정성 평가를 위한 열처리 장치
7 7
제 6항에 있어서, 상기 제3히터부의 히팅요소는,상기 제1히터부 및 제2히터부의 히팅요소보다 상대적으로 더 조밀한 것을 특징으로 하는 OLED용 재료의 장시간 열안정성 평가를 위한 열처리 장치
8 8
제 6항에 있어서, 상기 제3히터부는 열안정성 평가를 위한 열처리동안 항상 작동되는 것을 특징으로 하는 OLED용 재료의 장시간 열안정성 평가를 위한 열처리 장치
9 9
제 1항에 있어서, 상기 냉각수단은,상기 제1영역의 온도를 조절하고 상기 제1히터부에 대응되는 제1냉각부와, 상기 제2영역의 온도를 조절하고, 상기 제2히터부에 대응되는 제2냉각부로 형성되는 것을 특징으로 하는 OLED용 재료의 장시간 열안정성 평가를 위한 열처리 장치
10 10
제 9항에 있어서, 상기 제1히터부 및 제1냉각부 또는 상기 제2히터부 및 제2냉각부는 더블 쟈켓(double jacket) 구조로 일체로 형성되거나, 열전소자(thermoelectric device)로 형성되어 히팅 및 쿨링을 반복수행할 수 있는 것을 특징으로 하는 OLED용 재료의 장시간 열안정성 평가를 위한 열처리 장치
11 11
제 1항에 있어서, 상기 펌핑수단의 펌핑라인은,상기 샘플용기의 양단부와 상기 제1밸브 및 제2밸브로 각각 연결되고 하나의 진공펌프와 연결되는 3way 형태로 형성된 것을 특징으로 하는 OLED용 재료의 장시간 열안정성 평가를 위한 열처리 장치
12 12
제 1항 내지 제 11항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 히터수단에 의해 가열되는 샘플용기 내부의 온도는,재료의 증착 온도 또는 분해 온도보다 높은 것을 특징으로 하는 OLED용 재료의 장시간 열안정성 평가를 위한 열처리 장치
13 13
내부에 샘플이 수용되며, 제1영역과 제2영역으로 구분되는 샘플용기;상기 샘플용기 주변에 설치되어 상기 샘플용기를 가열하며, 상기 샘플용기의 제1영역과 제2영역의 온도를 각각 조절하는 제1히터부 및 제2히터부로 이루어진 히터수단;상기 샘플용기 주변에 설치되어 상기 샘플용기를 냉각하며, 상기 샘플용기의 제1영역과 제2영역의 온도를 각각 조절하는 제1냉각부 및 제2냉각부로 이루어지는 냉각수단;상기 샘플용기의 양단부와 제1밸브 및 제2밸브로 각각 연결된 펌핑라인이 형성되어 상기 샘플용기 내부를 진공상태로 유지시키고, 상기 샘플용기 내부의 진공 배기 방향을 변경하는 펌핑수단;을 포함하고,상기 제2냉각부가 작동될 때에는 상기 제2밸브가 열리고, 상기 제1히터부가 작동되어 진공 배기 방향을 따라 상기 샘플용기의 제1영역에서 상기 샘플용기의 제2영역으로 증발된 샘플이 이동하여 증착되고,상기 제1냉각부가 작동될 때에는 상기 제1밸브가 열리면서 상기 진공 배기 방향이 변경되고, 상기 제2히터부가 작동되어 상기 샘플용기의 제2영역에서 상기 샘플용기의 제1영역으로 증발된 샘플이 이동하여 증착되는 과정을 반복수행할 수 있는 것을 특징으로 하는 OLED용 재료의 정제 장치
14 14
제 13항에 있어서, 상기 샘플용기는,원통형 구조로 형성되며, 쿼츠(quartz) 튜브 또는 서스(SUS) 튜브로 형성된 것을 특징으로 하는 OLED용 재료의 정제 장치
15 15
제 13항에 있어서, 상기 히터수단은,상기 제1영역의 온도를 조절하는 제1히터부와, 상기 제2영역의 온도를 조절하는 제2히터부로 구현되며,상기 제1히터부는 상기 제1영역의 중심부보다 경계부의 위치에서 보다 더 조밀한 히팅요소가 구현되고,상기 제2히터부는 상기 제2영역의 중심부보다 경계부의 위치에서 보다 더 조밀한 히팅요소가 구현된 것을 특징으로 하는 OLED용 재료의 정제 장치
16 16
제 13항에 있어서, 상기 냉각수단은,상기 제1영역의 온도를 조절하고 상기 제1히터부에 대응되는 제1냉각부와, 상기 제2영역의 온도를 조절하고, 상기 제2히터부에 대응되는 제2냉각부로 형성되는 것을 특징으로 하는 OLED용 재료의 정제 장치
17 17
제 16항에 있어서, 상기 제1히터부 및 제1냉각부 또는 제2히터부 및 제2냉각부는 더블 쟈켓(double jacket) 구조로 일체로 형성되거나, 열전소자(thermoelectric device)로 형성되어 히팅 및 쿨링을 반복수행할 수 있는 것을 특징으로 하는 OLED용 재료의 정제 장치
18 18
제 13항에 있어서, 상기 펌핑수단의 펌핑라인은,상기 샘플용기의 양단부와 상기 제1밸브 및 제2밸브로 각각 연결되고 하나의 진공펌프와 연결되는 3way 형태로 형성된 것을 특징으로 하는 OLED용 재료의 정제 장치
19 19
제 13항 내지 제 18항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 히터수단에 의해 가열되는 샘플용기 내부의 온도는,상기 재료의 증착 온도 또는 분해 온도보다 낮은 것을 특징으로 하는 OLED용 재료의 정제 장치
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1 과학기술정보통신부 한국표준과학연구원 창의형 융합연구사업 미래 나노급 반도체 및 대면적 OLED를 위한 증착소재개발의 한계돌파를 위한 복합물성 측정 장비개발