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외부와 밀폐되게 형성되는 반응 챔버;상기 반응 챔버 내부에 구비되고 반응 기판을 권출하는 공급 롤장치;상기 반응 챔버 내부로 그래핀 합성에 필요한 가스를 공급하는 가스 공급부;상기 반응 챔버 내부에 플라즈마를 공급하는 플라즈마 공급부;상기 반응 챔버 내에서 그래핀 합성이 이루어지는 가열부; 및상기 가열부로부터 합성된 대면적 그래핀을 회수하는 회수 롤장치;를 포함하는 롤투롤 대면적 그래핀 합성 장치에 있어서,상기 롤투롤 대면적 그래핀 합성 장치는 플라즈마 강화 화학 기상증착(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition; PECVD) 기반 장치이고,상기 플라즈마 공급부는, 쿼츠 튜브 내부, 외부 또는 이 둘에서 원형, 헬리컬형, 평판형 및 환형으로 이루어지는 군으로부터 선택되는 것이고,10 MHz 내지 30 MHz AC 전원을 인가하여 플라즈마를 방전하는 것이고,상기 반응 기판은, 비촉매 직물기판이고, 상기 비촉매 직물기판은, 탄소섬유, 활성탄소섬유, 유리섬유, 케볼라 및 무기질 섬유로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하는 것인,롤투롤 대면적 그래핀 합성 장치
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제1항에 있어서,상기 반응 챔버는, 상기 공급 롤장치에서 상기 회수 롤장치까지 일체형으로 연결되며, 교체가 가능한 것이고, 상기 플라즈마 공급부 및 상기 가열부는, 상기 반응 챔버 외부를 감싸고 있는 것인,롤투롤 대면적 그래핀 합성 장치
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제1항에 있어서,상기 공급 롤장치 및 상기 회수 롤장치는 양방향으로 이동이 가능하고, 상기 반응 기판의 공급 및 상기 대면적 그래핀의 회수는 양방향으로 가능한 것인,롤투롤 대면적 그래핀 합성 장치
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제1항에 있어서,상기 플라즈마 공급부는 ICP 플라즈마 공급부를 포함하는 것인,롤투롤 대면적 그래핀 합성 장치
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제1항에 있어서,상기 대면적 그래핀은, 그래핀, 그래핀 직물 또는 이 둘을 포함하는 것인, 롤투롤 대면적 그래핀 합성 장치
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제1항에 있어서,상기 공급 롤장치 및 상기 회수 롤장치의 축길이는 1
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공급 롤장치에 반응 기판을 장착하는 반응 기판 장착 단계;내부환경과 외부환경을 분리하도록 반응 챔버를 밀폐하고 진공을 형성하는 반응 챔버 밀폐 및 진공 형성 단계;상기 반응 기판을 공급 롤장치를 이용하여 반응 챔버 내부로 연속적으로 공급하는 반응 기판 공급 단계;가스 공급부를 통하여 상기 반응 챔버 내부에 기상 전구체를 공급하고, 상기 반응 기판에 그래핀이 증착되도록 플라즈마 및 열 에너지를 공급하여 그래핀을 합성하는 그래핀 합성 단계; 및회수 롤장치를 이용하여 상기 반응 챔버로부터 제조된 대면적 그래핀을 연속 공정을 통해 회수하는 대면적 그래핀 회수 단계;를 포함하고,제1항 내지 제6항 중 어느 한 항의 롤투롤 대면적 그래핀 합성 장치를 이용하여 대면적 그래핀을 제조하는 것인,대면적 그래핀의 제조방법
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제7항에 있어서,상기 반응 기판의 공급 단계 이후에,기상 전구체, 운반 가스, 반응 가스 또는 이들의 혼합기체를 비율과 유량을 제어하여 상기 반응 챔버로 공급하는 기체 공급 단계;를 더 포함하는,대면적 그래핀의 제조방법
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제8항에 있어서,상기 기상 전구체는, 메탄(CH4), 아세틸렌(C2H2), 에틸렌(C2H4), 에탄(C2H6), 프로펜(C3H6) 및 프로판(C3H8)으로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하고,상기 운반 가스는, 헬륨(He), 네온(Ne), 아르곤(Ar), 크립톤(Kr), 제논(Xe), 라돈(Rn) 및 질소(N)로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 어느 하나의 비활성 가스를 포함하고, 상기 반응 가스는 수소를 포함하는 것인, 대면적 그래핀의 제조방법
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제7항에 있어서,상기 그래핀 합성 단계는, 300 ℃ 내지 1000 ℃의 온도 범위에서 수행되는 것인,대면적 그래핀의 제조방법
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제7항에 있어서,상기 그래핀 합성 단계는, 상기 반응 기판 표면에 평행한 방향으로 합성되고,단층 그래핀 또는 다층 그래핀이 합성되는 것인, 대면적 그래핀의 제조방법
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제7항에 있어서,상기 반응 기판 공급 단계 및 상기 대면적 그래핀 회수 단계는,1 mm/min 내지 600 mm/min의 속도로 제어되고, 자동 장력제어에 의해 상기 기판 공급 및 상기 대면적 그래핀이 회수되는 것인,대면적 그래핀의 제조방법
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공급 롤장치에 산화그래핀이 코팅된 직물을 장착하는 산화그래핀 직물 장착 단계;반응 챔버를 밀폐하고 진공을 형성하는 반응 챔버 밀폐 및 진공 형성 단계;상기 산화그래핀이 코팅된 직물을 공급 롤장치를 이용하여 상기 반응 챔버 내부로 연속적으로 공급하는 산화그래핀 직물 공급 단계;상기 반응 챔버에, 플라즈마 및 열에너지를 공급하여 산화그래핀이 코팅된 직물을 환원하는 산화그래핀 직물 환원 단계; 및회수 롤장치를 이용하여 상기 반응 챔버로부터 환원된 그래핀 직물을 연속 공정을 통해 회수하는 환원된 그래핀 직물 회수단계;를 포함하고,상기 산화그래핀 직물 환원 단계는, 수소 및 비활성 운반 가스의 혼합 가스를 포함하는 반응 가스를 사용하는 것이고,상기 운반 가스는, 헬륨(He), 네온(Ne), 아르곤(Ar), 크립톤(Kr), 제논(Xe), 라돈(Rn) 및 질소(N)로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 어느 하나를 포함하고,상기 산화그래핀이 코팅된 직물은, 산화그래핀의 수용액을 이용하여 롤투롤 딥코팅 및 패딩 방식으로 제작된 직물인 것인, 산화그래핀 직물의 환원방법
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제16항에 있어서,상기 산화그래핀 직물 환원 단계는, 대기압 조건, 진공 조건 또는 이 둘 모두에서 수행되는 것이고,PECVD의 쿼츠 튜브와 고온 퍼니스를 함께 사용하여 온도제어가 가능한 CCP와 ICP를 얻을 수 있는 플라즈마를 방전하는 것인,산화그래핀 직물의 환원방법
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제16항에 있어서,상기 산화그래핀 직물 환원 단계는,0
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