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액막의 두께를 측정하기 위한 액막 두께 측정 기판으로서,기재;기재 상에 형성되는 인가용 전극인 제1 전극;제1 전극에 이격 배치되는 측정용 전극인 제2 전극;제1 전극에 제2 전극보다 큰 거리로 이격 배치되는 측정용 전극인 제3 전극; 및제1 전극과, 제2 전극 및 제3 전극의 사이에 이격 배치되는 접지 전극을 포함하며,제1전극은 x축 방향 및 x축 방향에 수직하는 y축 방향을 따라 접지 전극과 번갈아 반복적으로 배치되고,x축 방향을 따라 제2 전극, 제3 전극, 제2 전극를 포함하는 단위 그룹이 접지 전극과 번갈아 반복적으로 배치되며,제1 전극에서 흘러나와 액막의 유체를 경유하여 최인접하는 복수의 제2 전극 및 복수의 제3 전극의 전류값을 측정할 수 있는,액막 두께 측정 기판
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제1항에 있어서, 기설정된 기준 두께보다 얇은 액막에서, 제2 전극의 액막 두께 신호에 기초하여 액막 두께를 산출하는,액막 두께 측정 기판
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제1항에 있어서, 기설정된 기준 두께보다 두꺼운 액막에서, 제2 전극에서 측정하는 액막 두께 신호의 포화가 발생하고,제2 전극에서 측정하는 액막 두께 신호의 포화가 발생하면, 제3 전극의 액막 두께 신호에 기초하여 액막 두께를 산출하는,액막 두께 측정 기판
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제1항에 있어서, 제1 전극, 제2 전극 및 제3 전극은 Cu, Ag, Au, Pt, Mo, Ni 중 적어도 어느 하나를 포함하는 재질이고, 상기 기재는 폴리이미드(Polyimide) 재질인, 액막 두께 측정 기판
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제1항에 있어서,기재는 연성 인쇄 회로 기판(FPCB)인,액막 두께 측정 기판
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액막의 두께를 측정하기 위한 액막 두께 측정 장치로서,액막 두께 측정 장치는,기재;기재 상에 형성되는 인가용 전극인 제1 전극;제1 전극에 이격 배치되는 측정용 전극인 제2 전극;제1 전극에 제2 전극보다 큰 거리로 이격 배치되는 측정용 전극인 제3 전극;제1 전극과, 제2 전극 및 제3 전극의 사이에 배치되는 접지 전극; 및제1 전극에 전원을 인가하는 전원 인가부를 포함하며,제1전극은 x축 방향 및 x축 방향에 수직하는 y축 방향을 따라 접지 전극과 번갈아 반복적으로 배치되고,x축 방향을 따라 제2 전극, 제3 전극, 제2 전극를 포함하는 단위 그룹이 접지 전극과 번갈아 반복적으로 배치되며,제1 전극에서 흘러나와 액막의 유체를 경유하여 최인접하는 복수의 제2 전극 및 복수의 제3 전극의 전류값을 측정할 수 있는,액막 두께 측정 장치
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제8항에 있어서,제1 전극에서 흘러나와 액막의 유체를 경유하여 제2 전극 및 제3 전극에 각각 전달되는 제1 전류값 및 제2 전류값을 기초하여 선택적으로 액막의 두께를 산출하는 산출부를 더 포함하는,액막 두께 측정 장치
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제9항에 있어서,제1 전류값을 증폭시키는 제1 증폭기; 및제2 전류값을 증폭시키는 제2 증폭기를 더 포함하는,액막 두께 측정 장치
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제9항에 있어서,기설정된 기준 두께보다 얇은 액막에서, 제2 전극의 액막 두께 신호에 기초하여 액막 두께를 산출하는,액막 두께 측정 장치
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제9항에 있어서, 기설정된 기준 두께보다 두꺼운 액막에서, 제2 전극에서 측정하는 액막 두께 신호의 포화가 발생하고,제2 전극에서 측정하는 액막 두께 신호의 포화가 발생하면, 제3 전극의 액막 두께 신호에 기초하여 액막 두께를 산출하는,액막 두께 측정 장치
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제9항에 있어서, 제2 전극 및 제3 전극에서 측정하는 액막 두께 신호가 모두 기설정된 기준 두께 미만의 값인 경우, 산출부는 제2 전극의 액막 두께 신호로 액막 두께를 산출하는,액막 두께 측정 장치
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제9항에 있어서, 제2 전극 및 제3 전극에서 측정하는 액막 두께 신호가 모두 기설정된 기준 두께 이상의 값인 경우, 산출부는 제3 전극의 액막 두께 신호로 액막 두께를 산출하는,액막 두께 측정 장치
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제9항에 있어서, 제2 전극 및 제3 전극에서 측정하는 액막 두께 신호가 모두 기설정된 기준 두께와 상이한 경우, 제2 전극 및 제3 전극에서 산출된 액막 두께의 평균 값으로 액막 두께를 산출하는,액막 두께 측정 장치
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액막의 두께를 측정하기 위한 액막 두께 측정 방법으로서,(a) 액막 내에 액막 두께 측정 기판을 배치하는 단계:(b) 전원 인가부를 통해 제1 전극에 전원을 인가하는 단계: 및(c) 산출부에서 제1 전극에서 흘러나와 액막의 유체를 경유하여 제2 전극 및 제3 전극에 각각 전달되는 제1 전류값 및 제2 전류값을 기초하여 선택적으로 액막의 두께를 산출하는 단계를 포함하며,액막 두께 측정 기판은,기재;기재 상에 형성되는 인가용 전극인 제1 전극;제1 전극에 이격 배치되는 측정용 전극인 제2 전극;제1 전극에 제2 전극보다 큰 거리로 이격 배치되는 측정용 전극인 제3 전극; 및 제1 전극과, 제2 전극 및 제3 전극의 사이에 배치되는 접지 전극을 포함하며,제1전극은 x축 방향 및 x축 방향에 수직하는 y축 방향을 따라 접지 전극과 번갈아 반복적으로 배치되고,x축 방향을 따라 제2 전극, 제3 전극, 제2 전극를 포함하는 단위 그룹이 접지 전극과 번갈아 반복적으로 배치되며,제1 전극에서 흘러나와 액막의 유체를 경유하여 최인접하는 복수의 제2 전극 및 복수의 제3 전극의 전류값을 측정할 수 있는,액막 두께 측정 방법
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제16항에 있어서,기설정된 기준 두께보다 얇은 액막에서, 제2 전극의 액막 두께 신호에 기초하여 액막 두께를 산출하는,액막 두께 측정 방법
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제16항에 있어서, 기설정된 기준 두께보다 두꺼운 액막에서, 제3 전극에서 측정하는 액막 두께 신호의 포화가 발생하고,제3 전극에서 측정하는 액막 두께 신호의 포화가 발생하면, 제3 전극의 액막 두께 신호에 기초하여 액막 두께를 산출하는,액막 두께 측정 방법
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제16항에 있어서, 제2 전극 및 제3 전극에서 측정하는 액막 두께 신호가 모두 기설정된 기준 두께 미만의 값인 경우, 산출부는 제2 전극의 액막 두께 신호로 액막 두께를 산출하는,액막 두께 측정 방법
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제16항에 있어서, 제2 전극 및 제3 전극에서 측정하는 액막 두께 신호가 모두 기설정된 기준 두께 이상의 값인 경우, 산출부는 제3 전극의 액막 두께 신호로 액막 두께를 산출하는,액막 두께 측정 방법
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제16항에 있어서, 제2 전극 및 제3 전극에서 측정하는 액막 두께 신호가 모두 기설정된 기준 두께와 상이한 경우, 산출부는 제2 전극 및 제3 전극에서 산출된 액막 두께의 평균 값으로 액막 두께를 산출하는,액막 두께 측정 방법
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