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제 1 방향으로 연장되는 그루브를 갖는 기판;상기 기판 상에 배치되고, 상기 그루브의 상기 제 1 방향의 일측에 배치되는 광원 구조체; 및상기 그루브에 배치되어 상기 제 1 방향으로 연장되는 광 섬유를 포함하되,상기 광 섬유는 상기 기판의 상면 상으로 연장되어 상기 광원 구조체를 향하는 코어를 포함하고,상기 광원 구조체는: 상기 기판의 상기 상면 상에 제공되는 도전층; 상기 도전층 상에 제공되고, 상기 제 1 방향으로 연장되는 광자결정(photonic crystal) 도파로; 및 상기 광자결정 도파로 상에 제공되는 그래핀층;을 포함하는 광원 소자
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제 1 항에 있어서,상기 광 섬유는:상기 그루브 내에 배치되는 하부 클래드;상기 하부 클래드 상에 배치되고, 상기 기판의 상기 상면 상으로 연장되어 상기 광원 구조체의 상기 광자결정 도파로를 향하는 상기 코어; 및상기 하부 클래드 상에서 상기 코어를 덮는 상부 클래드를 포함하는 광원 소자
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제 2 항에 있어서,상기 그루브 상에서, 상기 코어는 상기 상부 클래드와 상기 하부 클래드에 의해 둘러싸이고,상기 상부 클래드 및 상기 하부 클래드는 실질적으로 일체로 제공되는 광원 소자
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제 2 항에 있어서,상기 상부 클래드는 상기 기판의 상기 상면 상으로 연장되어 상기 코어를 덮는 광원 소자
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제 1 항에 있어서,상기 광 섬유의 상기 코어는 상기 광원 구조체의 상기 광자결정 도파로와 상호 광 결합되는 광원 소자
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6
제 5 항에 있어서,상기 광 섬유의 상기 코어와 상기 광원 구조체의 상기 광자결정 도파로와 상기 기판의 하면으로부터 동일한 레벨에 위치하는 광원 소자
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제 5 항에 있어서,상기 광 섬유의 상기 코어와 상기 광원 구조체의 상기 광자결정 도파로는 상기 제 1 방향으로 정렬되는 광원 소자
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8
제 1 항에 있어서,상기 광원 구조체는:상기 도전층 상에 배치되고, 상기 광자결정 도파로를 사이에 두고 상기 제 1 방향과 교차하는 제 2 방향으로 상호 이격되는 절연층들을 더 포함하되,상기 그래핀층은 상기 절연층들 상에 제공되어 상기 광자결정 도파로를 덮는 광원 소자
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제 8 항에 있어서,상기 도전층의 상면 및 상기 그래핀층의 상면 상에 배치되는 전극들을 더 포함하는 광원 소자
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10
제 1 항에 있어서,상기 그래핀층은 상기 도전층과 상호 이격되는 광원 소자
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11
제 1 항에 있어서,상기 그래핀층의 결정면은 상기 광자결정 도파로의 상면과 평행한 광원 소자
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12
제 1 항에 있어서,상기 광자결정 도파로는 상기 광자결정 도파로를 관통하는 제 1 나노 홀들 및 제 2 나노 홀들을 갖되,상기 제 1 나노 홀들은 평면적 관점에서 상기 그래핀층과 중첩되는 영역에 형성되고,상기 제 2 나노 홀들은 상기 제 1 나노 홀들을 기준으로 상기 광 섬유로부터 먼 영역에 형성되는 광원 소자
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13
제 12 항에 있어서,상기 제 1 나노 홀들의 폭은 상기 제 2 나노 홀들의 폭보다 작은 광원 소자
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제 1 방향으로 인접한 제 1 영역 및 제 2 영역을 갖는 기판;상기 기판의 상기 제 1 영역 상에 배치되는 광 섬유; 및상기 기판의 상기 제 2 영역 상에 배치되는 광원 구조체를 포함하되,상기 광원 구조체는 도전층, 상기 도전층과 이격되어 배치되는 그래핀층, 및 상기 도전층과 상기 그래핀층 사이에 배치되는 광자결정 도파로를 포함하되,상기 광 섬유의 코어는 상기 제 1 방향으로 상기 광자결정 도파로와 정렬되는 광원 소자
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15
제 14 항에 있어서,상기 광 섬유는 상기 기판의 상기 제 1 영역에 형성되고, 상기 제 1 방향으로 연장되는 그루브 내에 배치되는 광원 소자
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제 14 항에 있어서,상기 광 섬유의 상기 코어는 상기 광자결정 도파로와 동일한 레벨에 제공되는 광원 소자
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제 14 항에 있어서,상기 도전층은 상기 기판의 상기 제 2 영역 상에 배치되고,상기 광자결정 도파로는 상기 도전층 상에 배치되며,상기 그래핀층은 상기 광자결정 도파로 상에 배치되는 광원 소자
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제 14 항에 있어서,상기 광자결정 도파로는 상기 그래핀층의 결정면에 수직한 방향에 배치되는 광원 소자
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제 14 항에 있어서,상기 광 섬유의 상기 코어는 클래드층에 의해 둘러싸이되,상기 코어는 상기 클래드층으로부터 상기 제 1 방향으로 돌출되는 광원 소자
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20
제 14 항에 있어서,상기 광자결정 도파로는 상기 제 1 방향으로 연장되는 광원 소자
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