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제1항에 있어서,상기 0
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제1항에 있어서,상기 분말로부터 형성된 성형체를 가소결하는 단계는 진공소결에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는 투광성 이트리아의 제조 방법
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제3항에 있어서,상기 진공소결은 1400℃ 내지 1525℃의 온도에서 수행되는 것을 특징으로 하는 투광성 이트리아의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 분말로부터 형성된 성형체를 가소결하는 단계는 열간가압소결(Hot Press)에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는 투광성 이트리아의 제조 방법
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6
제5항에 있어서,상기 열간가압소결은 상기 성형체와 상기 성형체의 가압면 사이에 스페이서를 개재한 상태로 수행되고, 상기 스페이서는 소결 온도에서 상기 성형체와 실질적으로 비반응성인 내열 금속으로 형성되는 것을 특징으로 하는 투광성 이트리아의 제조 방법
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7
제6항에 있어서,상기 내열 금속은 탄탈럼(Ta), 몰리브데넘(Mo), 텅스텐(W) 및 백금(Pt)으로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1종 이상인 것을 특징으로 하는 투광성 이트리아의 제조 방법
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8
제5항에 있어서,상기 열간가압소결은 1200℃ 내지 1500℃의 온도에서 수행되는 것을 특징으로 하는 투광성 이트리아의 제조 방법
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9
제1항에 있어서,상기 가소결한 성형체를 열간등가압소결(Hot Isostatic Pressing) 하는 단계는 1200℃ 내지 1700℃에서 수행되는 것을 특징으로 하는 투광성 이트리아의 제조 방법
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10
제1항의 투광성 이트리아 제조 방법에 의해 제조된 투광성 이트리아 소결 부품으로서, 1
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11
제10항에 있어서,상기 투광성 이트리아 소결 부품의 결정 입자 크기(grain size)는 0
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12
제10항에 있어서,상기 투광성 이트리아 소결 부품은 2축 강도가 250 MPa 내지 350 MPa 이고, 열전도도가 8 W/mK 내지 20 W/mK 인 것을 특징으로 하는 투광성 이트리아 소결 부품
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