| 1 |
1
LED 구조체 전사 장치로서:프레임;적어도 세로방향(Z방향)의 이동이 가능하게 설치되고, 전사할 LED 구조체들이 배열된 캐리어부재가 착탈 가능하게 결합되는 전사헤드부;상기 전사헤드부의 하위에서 가로방향(X 및 Y방향)의 이동이 가능하게 설치되는 제1 기판고정부;상기 전사헤드부의 하위에서 가로방향(X 및 Y방향)의 이동이 가능하게 설치되는 제2 기판고정부;상기 프레임에 설치되고, 상기 전사헤드부를 Z 방향으로 이동시키도록 설치되는 수직 스테이지;상기 프레임에 설치되고, 상기 제1 기판고정부 및 상기 제2 기판고정부를 X 및 Y 방향으로 이동시키도록 설치되는 수평 스테이지; 및제어부;를 포함하고,상기 제어부는 타겟기판이 안착된 상기 제1 기판고정부 또는 상기 제2 기판고정부가 상기 전사헤드부의 직하부로 이동하고 상기 전사헤드부가 하강하여 상기 캐리어부재의 LED 구조체를 상기 타겟기판으로 전사하도록 제어하는 것이며,상기 수평 스테이지는 상기 제1 기판고정부 및 상기 제2 기판고정부의 각각을 θ 방향으로 이동시키는 제1 및 제2 회전구동부를 포함하는 것인 LED 구조체 전사 장치
|
| 2 |
2
청구항 1에 있어서,상기 제1 기판고정부는 상기 타겟기판이 안착되는 투광성 안착판과, 상기 타겟기판 상에 LED 구조체를 접착하기 위해 배열된 수지에 광을 조사하도록 설치된 UV 경화부를 포함하는 것인 LED 구조체 전사 장치
|
| 3 |
3
청구항 1에 있어서,상기 제2 기판고정부는 히팅부와 상기 히팅부의 열을 상기 타겟기판에 전달하는 열전도성 안착판을 포함하는 것인 LED 구조체 전사 장치
|
| 4 |
4
청구항 1에 있어서,상기 제어부는 제어 알고리즘을 포함하고, 각 감지요소들의 데이터를 전달받아 상기 제어 알고리즘에 따라 각 동작 요소들의 동작을 제어하는 것인 LED 구조체 전사 장치
|
| 5 |
5
삭제
|
| 6 |
6
청구항 1에 있어서,각 동작 요소들의 정렬을 감지하기 위한, 카메라, 렌즈, 및 조명을 포함하는 하나 이상의 비젼 시스템을 포함하고,상기 하나 이상의 비젼 시스템은 획득한 데이터를 상기 제어부로 전달하는 것인 LED 구조체 전사 장치
|
| 7 |
7
청구항 1에 있어서,상기 전사헤드부에는 하중을 감지하여 상기 제어부로 감지값을 전송하는 로드셀들이 더 설치된 것인 LED 구조체 전사 장치
|
| 8 |
8
청구항 1에 있어서,상기 전사헤드부의 평탄도를 감지하여 상기 제어부로 감지값을 전송하는 레이저 변위 측정부를 더 포함하는 LED 구조체 전사 장치
|
| 9 |
9
청구항 1에 있어서,상기 전사헤드부의 평탄도 정렬을 위해 틸팅 동작이 가능한 틸팅부를 더 포함하는 LED 구조체 전사 장치
|
