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전도성 산화물 보호층이 형성된 촉매를 제조하는 방법으로서,유동층 반응기에 금속 촉매가 담지된 카본 지지체를 공급하는 단계; 및원자층 증착 공정(atomic layer deposition; ALD)를 이용하여 전도성 산화물 보호층을 형성하는 단계;를 포함하는 전도성 산화물 보호층이 형성된 촉매의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 원자층 증착 공정은,상기 유동층 반응기에 전도성 산화물 전구체를 공급하는 단계;불활성 가스를 상기 유동층 반응기에 공급함으로써 제1 퍼징(Purging)하는 단계;반응 가스를 상기 유동층 반응기에 공급함으로써 상기 전도성 산화물 전구체를 전도성 산화물로 치환시키는 단계; 및불활성 가스를 상기 유동층 반응기에 공급함으로써 제2 퍼징하는 단계;를 포함하는, 전도성 산화물 보호층이 형성된 촉매의 제조 방법
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제 1항에 있어서,상기 유동층 반응기에 금속 촉매가 담지된 카본 지지체를 공급하는 단계에서,상기 금속 촉매는 백금(Pt)을 포함하는, 전도성 산화물 보호층이 형성된 촉매의 제조 방법
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제 1항에 있어서,상기 유동층 반응기에 금속 촉매가 담지된 카본 지지체를 공급하는 단계 후, 및 상기 전도성 산화물 보호층을 형성하는 단계 전에,상기 유동층 반응기의 내부 압력이 0
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제 2항에 있어서,상기 유동층 반응기에 전도성 산화물 전구체를 공급하는 단계에서,상기 전도성 산화물 전구체는, 티타늄(IV) 이소프로폭사이드(Ti[OCH(CH3)2]4), 염화주석(IV)(SnCl4) 및 이들의 조합으로 이루어진 군으로부터 선택되는 것인, 전도성 산화물 보호층이 형성된 촉매의 제조 방법
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제 2항에 있어서,상기 유동층 반응기에 전도성 산화물 전구체를 공급하는 단계에서,전도성 산화물 전구체의 증착 운전 압력은 1 Torr 내지 5 Torr으로 수행되는, 전도성 산화물 보호층이 형성된 촉매의 제조 방법
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제 2항에 있어서,상기 유동층 반응기에 전도성 산화물 전구체를 공급하는 단계에서,상기 전도성 산화물 전구체는 20 초 내지 100 초 동안 상기 유동층 반응기에 공급되는, 전도성 산화물 보호층이 형성된 촉매의 제조 방법
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제 2항에 있어서,상기 전도성 산화물 전구체를 전도성 산화물로 치환시키는 단계에서,상기 반응 가스는 수증기(H2O)를 포함하는, 전도성 산화물 보호층이 형성된 촉매의 제조 방법
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제 2항에 있어서,상기 전도성 산화물 전구체를 전도성 산화물로 치환시키는 단계에서,상기 반응 가스는 10 sccm 내지 200 sccm의 유량으로 상기 유동층 반응기에 공급되는, 전도성 산화물 보호층이 형성된 촉매의 제조 방법
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제 2항에 있어서,상기 전도성 산화물 전구체를 전도성 산화물로 치환시키는 단계에서,상기 전도성 산화물은, 이산화 티타늄(TiO2), 산화 주석(SnO2) 및 이들의 조합으로 이루어진 군으로부터 선택되는 것인, 전도성 산화물 보호층이 형성된 촉매의 제조 방법
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제 2항에 있어서,상기 퍼징하는 단계에서, 상기 불활성 가스는 50 sccm 내지 200 sccm의 유량으로 퍼징되는 것인, 전도성 산화물 보호층이 형성된 촉매의 제조 방법
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제 2항에 있어서,상기 퍼징하는 단계에서, 상기 불활성 가스는 60 초 내지 120 초 동안 퍼징되는 것인, 전도성 산화물 보호층이 형성된 촉매의 제조 방법
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제 2항에 있어서,상기 원자층 증착 공정의 각 단계들을 순차적으로 진행하는 것을 하나의 사이클(Cycle)로 설정하여 반복 수행되는, 전도성 산화물 보호층이 형성된 촉매의 제조 방법
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제 13항에 있어서,상기 사이클은 1회 내지 20회 반복하여 수행되는, 전도성 산화물 보호층이 형성된 촉매의 제조 방법
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제 1항 내지 제 14항 중 어느 한 항의 방법으로 제조되는 전도성 산화물 보호층이 형성된 촉매로서,카본 지지체;상기 카본 지지체에 담지되는 금속 촉매 입자; 및상기 금속 촉매 입자의 표면에 형성되고, 그물 구조(Network structure)를 가지는 전도성 산화물 보호층;을 포함하는, 촉매
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제 15항에 있어서,상기 전도성 산화물 보호층의 두께는 0
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제 15항에 있어서,상기 금속 촉매 입자는 백금(Pt)을 포함하는, 촉매
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제 15항에 있어서,상기 전도성 산화물 보호층은, 이산화 티타늄(TiO2), 산화 주석(SnO2) 및 이들의 조합으로 이루어진 군으로부터 선택되는 전도성 산화물을 포함하는, 촉매
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