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평면형 플라즈마 진단 장치가 매립된 정전척에 있어서,상기 평면형 플라즈마 진단 장치는주파수가 가변되는 마이크로웨이브를 플라즈마에 인가하는 송신 안테나;상기 플라즈마로부터 상기 마이크로웨이브를 수신하는 수신 안테나;상기 송신 안테나와 상기 수신 안테나가 서로 절연되도록 감싸는 몸체부;를 포함하고,상기 송신 안테나의 마이크로웨이브를 인가하는 상부면과 상기 수신 안테나의 마이크로웨이브를 수신하는 상부면이 평면형이고, 상기 송신 안테나와 상기 수신 안테나의 상기 상부면의 측면이 서로 대향하며,상기 평면형 플라즈마 진단 장치는 상기 정전척의 표면 내부에 매립되는 것을 특징으로 하는 평면형 플라즈마 진단 장치가 매립된 정전척
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제 1 항에 있어서,상기 평면형 송신 안테나와 상기 평면형 수신 안테나의 상부면은 사각형인 것을 특징으로 하는 평면형 플라즈마 진단 장치가 매립된 정전척
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제 1 항에 있어서,상기 송신 안테나의 마이크로웨이브를 인가하는 상부면과 상기 수신 안테나의 마이크로웨이브를 수신하는 상부면이 반원 평면인 것을 특징으로 하는 평면형 플라즈마 진단 장치가 매립된 정전척
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제 1 항에 있어서,상기 평면형 플라즈마 진단 장치는 상기 정전척의 중심부 또는 가장자리에 매립되는 것을 특징으로 하는 평면형 플라즈마 진단 장치가 매립된 정전척
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제 1 항에 있어서,상기 평면형 플라즈마 진단 장치는 복수개가 매립되는 것을 특징으로 하는 평면형 플라즈마 진단 장치가 매립된 정전척
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제 5 항에 있어서,상기 평면형 플라즈마 진단 장치는 상기 정전척의 중심부로부터 방사형으로 복수개가 매립되는 것을 특징으로 하는 평면형 플라즈마 진단 장치가 매립된 정전척
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제 5 항에 있어서,상기 평면형 플라즈마 진단 장치는 격자형 또는 십자형으로 복수개가 매립되는 것을 특징으로 하는 평면형 플라즈마 진단 장치가 매립된 정전척
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제 5 항에 있어서,상기 복수개의 평면형 플라즈마 진단 장치에 병렬로 연결되는 스펙트럼 분석기를 더 포함하고,상기 스펙트럼 분석기는 상기 복수개의 평면형 플라즈마 진단 장치에 연결되는 배선의 길이가 서로 다른 것을 특징으로 하는 평면형 플라즈마 진단 장치가 매립된 정전척
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제 5 항에 있어서,상기 복수개의 평면형 플라즈마 진단 장치에 연결되는 스위칭 회로와 스펙트럼 분석기를 더 포함하고,상기 스위칭 회로는 상기 복수개의 평면형 플라즈마 진단 장치를 순차적으로 동작하도록 하여 상기 스펙트럼 분석기에 연결되도록 하는 것을 특징으로 하는 평면형 플라즈마 진단 장치가 매립된 정전척
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