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현미경의 일측 또는 인접한 영역에, 현미경의 제1광원과 함께 피조사체에 조사되도록 제2광원이 병행 설치되며,상기 제2광원은 자외선 발생장치인 것을 특징으로 하는 결정 성장 방법에 의하여 제조된 탄화규소의 자외선을 이용한 두께 측정 장치
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제1항에 있어서,상기 제1광원은 할로겐 광원인 것을 특징으로 하는 결정 성장 방법에 의하여 제조된 탄화규소의 자외선을 이용한 두께 측정 장치
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제1항에 있어서,상기 현미경은 피측정대상을 적어도 50배 확대할 수 있는 기능의 현미경인 것을 특징으로 하는 결정 성장 방법에 의하여 제조된 탄화규소의 자외선을 이용한 두께 측정 장치
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제1항에 있어서,상기 제2광원의 조사영역은 제1광원의 조사영역과 일치되는 것을 특징으로 하는 결정 성장 방법에 의하여 제조된 탄화규소의 자외선을 이용한 두께 측정 장치
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제1항에 있어서,상기 제2광원은 적어도 2개 설치되며, 현미경을 중심으로 서로 대칭의 지점에 위치되도록 설치되는 것을 특징으로 하는 결정 성장 방법에 의하여 제조된 탄화규소의 자외선을 이용한 두께 측정 장치
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현미경의 시료 거치대에 탄화규소 시료를 거치하는 단계;상기 거치된 탄화규소 시료에 제1광원을 조사하는 단계;상기 제1광원과 동시에 또는 순차적으로 제2광원을 상기 거치된 탄화규소 시료에 조사하는 단계; 및제1광원과 제2광원이 조사된 상태에서 탄화규소 시료의 두께를 측정하는 단계;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 결정 성장 방법에 의하여 제조된 탄화규소의 자외선을 이용한 두께 측정 방법
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제6항에 있어서,상기 제2광원의 조사영역은 제1광원의 조사영역과 일치되는 것을 특징으로 하는 결정 성장 방법에 의하여 제조된 탄화규소의 자외선을 이용한 두께 측정 방법
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제6항에 있어서,상기 탄화규소 시료를 거치하기 이전에 상기 탄화규소 시료는 평면 가공되는 것을 특징으로 하는 결정 성장 방법에 의하여 제조된 탄화규소의 자외선을 이용한 두께 측정 방법
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