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내플라즈마 세라믹의 가속수명 시험방법

  • 기술번호 : KST2020013582
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 내플라즈마 세라믹의 가속수명 시험방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 현재 디스플레이 CVD 공정 설비에 있어 가장 광범위하게 쓰이고 있는 소재인 석영(Quartz) 보다 내플라즈마 특성이 우수한 소재의 사용이 필수적으로 요망되는 바, 내플라즈마 소재의 마모량 시험을 수행함에 있어서, 가속계수에 의한 수명시험시간을 설정하고 이를 내플라즈마 시험을 통해 검증함으로써, 시험시간의 가능한 경우의 구간을 좁히고 시험시간을 단축하도록 하는 내플라즈마 세라믹의 가속수명 시험방법을 제공한다.
Int. CL G01N 17/00 (2020.01.01) G01N 3/56 (2006.01.01)
CPC G01N 17/002(2013.01) G01N 17/002(2013.01)
출원번호/일자 1020190030823 (2019.03.18)
출원인 한국세라믹기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2020-0111068 (2020.09.28) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2019.03.18)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 대한민국 경상남도 진주시 소호로 ***

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최형석 경상남도 진주시 에나로***번길
2 윤지영 경상남도 진주시 사들로 **, *

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 수 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로**길 **, *층(역삼동, 케이앤와이빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2019.03.18 수리 (Accepted) 1-1-2019-0277886-02
2 [출원서 등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2019.12.19 수리 (Accepted) 1-1-2019-1318613-85
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2020.02.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 심사처리보류(연기)보고서
Report of Deferment (Postponement) of Processing of Examination
2020.03.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2020-0025677-17
5 출원심사처리보류통지서
Notice of Deferment of Processing of Application Examination
2020.04.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0296701-25
6 심사처리보류(연기)보고서
Report of Deferment (Postponement) of Processing of Examination
2020.04.28 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2020-0050832-74
7 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2020.05.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2020-0057050-95
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2020.05.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0353219-01
9 [지정기간연장]기간 연장신청서·기간 단축신청서·기간 경과 구제신청서·절차 계속신청서
2020.07.22 수리 (Accepted) 1-1-2020-0767656-36
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2020.08.24 수리 (Accepted) 1-1-2020-0887223-62
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2020.08.24 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0887357-71
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번호 청구항
1 1
소재의 가속시험을 위한 장비에 의하여 수행되며, 상기 장비는 소재의 가속 시험을 위한 장비의 가속조건을 설정하여 입력받는 단계;상기 가속조건으로부터 가속계수를 도출하는 단계;상기 가속계수로부터 가속수명시험시간을 도출하는 단계;상기 가속수명시험시간에 따라서 소재의 내플라즈마 시험을 개시하는 단계; 및상기 내플라즈마 시험이 종료되는 단계;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 내플라즈마 세라믹의 가속수명 시험방법
2 2
제1항에 있어서,상기 장비는 화학기상증착(CVD) 장비인 것을 특징으로 하는 내플라즈마 세라믹의 가속수명 시험방법
3 3
제1항에 있어서,상기 내플라즈마 시험이 종료되는 단계; 이전에, 소재의 마모량이 미리 설정된 기준치 이하인지 확인하는 단계;를 더 포함하며, 상기 기준치 이하에 충족하지 않는 경우, 내플라즈마 시험이 계속되는 것을 특징으로 하는 내플라즈마 세라믹의 가속수명 시험방법
4 4
제1항에 있어서,상기 소재는 알루미나인 것을 특징으로 하는 내플라즈마 세라믹의 가속수명 시험방법
5 5
제1항에 있어서,상기 가속 조건은 장비의 작동 온도 및 이 때 인가되는 DC/AC 전압인 것을 특징으로 하는 내플라즈마 세라믹의 가속수명 시험방법
6 6
제5항에 있어서,상기 가속조건으로부터 가속계수를 도출하는 단계;는,사용조건온도의 역수로부터 가속조건온도의 역수를 공제하여 제1공제값을 도출하는 제1단계;상기 제1공제값에 볼쯔만 상수에 의하여 나누어지는 소재의 활성화 에너지를 곱한 값을 지수로 하는 익스포넨셜(e)값을 도출하는 제2단계;사용조건 RF 전력의 역수로부터 가속조건 소비전력의 역수를 공제하여 제2공제값을 도출하는 제3단계;상기 제2공제값에 활성화 전력을 곱한 값을 지수로하는 익스포넨셜(e)값을 도출하는 제4단계; 및제2단계의 익스포넨셜(e)값과 제4단계의 익스포넨셜(e)값을 곱하는 단계;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 내플라즈마 세라믹의 가속수명 시험방법
7 7
제6항에 있어서,상기 가속계수로부터 가속수명시험시간을 도출하는 단계;에서,가속수명시험시간은 사용시간과 가속계수의 역수를 곱하는 과정에 의하여 도출되는 것을 특징으로 하는 내플라즈마 세라믹의 가속수명 시험방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 한국세라믹기술원 가상공학 플랫폼구축 사업 IoT적용 세라믹·전자 소재 공정 가상공학 플랫폼 구축 사업