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펄스 발생기를 통하여 송신 안테나에 펄스 형태의 방사신호를 제공하여 플라즈마로 전자기파를 방출하는 단계;상기 송신 안테나와 이격되어 배치된 수신 안테나를 통하여 상기 방사 신호와 동기화되고 제1 게이팅 시간 내에서 상기 플라즈마를 투과한 제1 투과 신호를 획득하고 상기 수신 안테나를 통하여 상기 방사 신호와 동기화되고 제1 게이팅 시간보다 큰 제2 게이팅 시간 내에서 상기 플라즈마를 투과한 제1 투과 신호 및 제2 투과 신호를 획득하는 단계;상기 방사 신호를 푸리어 변환하여 입력 스펙트럼 신호를 산출하는 단계;상기 제1 투과 신호를 푸리어 변환하여 기준 스펙트럼 신호를 산출하고 상기 제1 투과 신호 및 상기 제2 투과 신호를 푸리어 변환하여 플라즈마 스펙트럼 신호를 산출하는 단계;상기 기준 스펙트럼 신호를 입력 스펙트럼 신호로 규격화하여 규격화된 기준 스펙트럼 신호를 생성하는 단계;상기 플라즈마 스펙트럼 신호를 입력 스펙트럼 신호로 규격화하여 규격화된 플라즈마 스펙트럼 신호를 생성하는 단계; 및상기 규격화된 기준 스펙트럼 신호와 규격화된 플라즈마 스펙트럼 신호가 교차하는 교차주파수를 추출하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 교차 주파수 플라즈마 진단 방법
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제1 항에 있어서,상기 제1 투과 신호 및 상기 제2 투과 신호를 획득하는 단계는,상기 제2 투과 신호에서 상기 제1 게이팅 시간 이후에 획득된 데이터를 제거하여 상기 제1 투과 신호를 생성하는 것을 특징으로 하는 교차 주파수 플라즈마 진단 방법
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제1 항에 있어서,상기 교차주파수로부터 전자 밀도를 산출하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 교차 주파수 플라즈마 진단 방법
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펄스 형태의 방사 신호를 출력하는 펄스 발생기;상기 펄스 발생기를 통하여 상기 방사신호를 제공받아 플라즈마로 전자기파를 방출하는 송신 안테나;상기 송신 안테나와 이격되어 배치되고 상기 플라즈마를 투과한 상기 전자기파를 수신하여 투과 신호로 변환하는 수신 안테나;상기 방사 신호를 획득하고 제1 게이팅 시간 및 제1 게이팅 시간보다 큰 제2 게이팅 시간 내에 상기 수신 안테나를 통하여 제1 투과신호 및 제2 투과신호를 획득하는 측정부;상기 펄스 발생기의 상기 방사 신호에 동기화된 트리거 신호를 생성하여 상기 펄스 발생기 및 상기 측정부에 제공하는 지연 신호 발생기; 및 상기 방사 신호, 상기 제1 투과신호 및 상기 제2 투과 신호를 푸리어 변환하는 신호 처리부;를 포함하고,상기 신호 처리부는 상기 방사 신호를 푸리어 변환하여 입력 스펙트럼 신호를 산출하고,상기 신호 처리부는 상기 방사 신호와 동기화되고 제1 게이팅 시간 내에서 상기 플라즈마를 투과한 상기 제1 투과 신호를 푸리어 변환하여 기준 스펙트럼 신호를 산출하고,상기 신호 처리부는 상기 방사 신호와 동기화되고 상기 제2 게이팅 시간 내에서 상기 플라즈마를 투과한 상기 제1 투과 신호 및 상기 제2 투과 신호를 푸리어 변환하여 플라즈마 스펙트럼 신호를 산출하고,상기 신호 처리부는 상기 기준 스펙트럼 신호를 상기 입력 스펙트럼 신호로 규격화하여 규격화된 기준 스펙트럼 신호를 생성하고, 상기 신호 처리부는 상기 플라즈마 스펙트럼 신호를 상기 입력 스펙트럼 신호로 규격화하여 규격화된 플라즈마 스펙트럼 신호를 생성하고,상기 신호 처리부는 상기 규격화된 기준 스펙트럼 신호와 규격화된 플라즈마 스펙트럼 신호가 교차하는 교차주파수를 추출하는 것을 특징으로 하는 교차 주파수 플라즈마 진단 장치
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