| 1 |
1
전사필름이 이송되는 제1방향과 교차하는 제2방향으로 연장 구비되고, 상기 전사필름에 점착된 마이크로 소자가 타깃기판으로 전사되도록 상기 전사필름에 점착된 마이크로 소자를 가압하는 전사롤러; 상기 전사롤러의 상측에 상기 전사롤러의 길이방향을 따라 이격되게 구비되고, 내측에 설치공간을 가지는 베이스블록; 상기 설치공간에 구비되고 상기 베이스블록에 대하여 상하방향으로 이동 가능하게 설치되는 가압로드; 상기 베이스블록의 하측에서 상기 가압로드의 하단부에 구비되는 지지블록; 그리고 상기 지지블록에 구비되고 상기 전사롤러를 독립적으로 부분 접촉 가압하여 상기 전사롤러가 국부적으로 휘어지도록 하는 가압부를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자 전사장치
|
| 2 |
2
전사필름이 이송되는 제1방향과 교차하는 제2방향으로 연장 구비되고, 상기 전사필름에 점착된 마이크로 소자가 타깃기판으로 전사되도록 상기 전사필름에 점착된 마이크로 소자를 가압하는 전사롤러; 상기 전사롤러의 상측에 상기 전사롤러의 길이방향을 따라 이격되게 구비되고, 내측에 설치공간을 가지는 베이스블록; 상기 설치공간에 구비되고 상기 베이스블록에 대하여 상하방향으로 이동 가능하게 설치되는 가압로드; 상기 베이스블록의 하측에서 상기 가압로드의 하단부에 구비되는 지지블록; 그리고 상기 지지블록에 구비되고, 상기 전사롤러를 독립적으로 면접촉 가압하여 상기 전사롤러가 국부적으로 휘어지도록 하는 가압부를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자 전사장치
|
| 3 |
3
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 베이스블록의 상부에 구비되고, 상기 가압부에 의해 상기 전사롤러에 가해지는 가압력이 조절되도록 상기 가압로드를 가압하여 상기 가압로드의 하향 이동량을 조절하는 조절부를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자 전사장치
|
| 4 |
4
제3항에 있어서, 상기 가압로드에 구비되고, 상기 조절부에 의해 가압되는 압력을 센싱하는 센싱부를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자 전사장치
|
| 5 |
5
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 설치공간에 구비되고, 상기 가압로드를 상향으로 탄발 지지하는 제1탄성부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자 전사장치
|
| 6 |
6
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 베이스블록 및 상기 지지블록의 사이에 구비되고, 상기 지지블록을 상기 전사롤러 방향으로 탄발 지지하는 제2탄성부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자 전사장치
|
| 7 |
7
제6항 있어서, 상기 지지블록에는 연결홀이 형성되고, 상기 가압로드의 하단부에는 상하방향으로 연장되는 장공이 형성되며, 상기 연결홀 및 상기 장공에는 고정핀이 결합되어 상기 가압로드 및 상기 지지블록이 상하 방향으로 상대 이동되도록 하는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자 전사장치
|
| 8 |
8
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 제1방향으로의 이송경로 상에서 상기 가압부의 후단에 구비되고, 상기 전사필름이 상기 가압부를 지나는 지점에서 상측으로 벤딩되어 전사되는 상기 마이크로 소자로부터 분리되도록, 상기 전사필름이 상측으로 이동되게 안내하는 안내부를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자 전사장치
|
| 9 |
9
제1항에 있어서, 상기 가압부는 상기 지지블록에 구비되고 상기 전사롤러의 길이방향을 따라 이격되는 복수의 가압롤러를 가지고, 복수의 상기 가압롤러는 상기 전사롤러가 상기 복수의 가압롤러에 의해 상기 가압롤러의 상부 중 서로 다른 지점이 동시에 점 가압된 상태에서 상기 전사롤러를 점가압하는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자 전사장치
|
| 10 |
10
제2항에 있어서, 상기 가압부는 상기 지지블록에 구비되고, 상기 전사롤러의 외측지름에 대응되는 내측지름을 가지는 가이드홈이 형성되는 가압가이드를 가지고, 상기 가압가이드는 상기 전사롤러가 상기 가이드홈에 삽입되어 상기 가이드홈의 길이방향으로 연속하여 면접촉된 상태에서 상기 전사롤러를 면가압하는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자 전사장치
|
