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버퍼층이 형성된 태양전지를 제조하는 방법으로서,기판 상에 하부 전극을 형성하는 단계,상기 하부 전극 상에 광흡수층을 형성하는 단계, 그리고상기 광흡수층 상에 알칼리 금속을 포함하는 버퍼층을 형성하는 단계를 포함하는 태양전지 제조 방법
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제1항에서,상기 버퍼층을 형성하는 단계는, 상기 광흡수층 상에 금속 물질을 증착하는 공정, 그리고상기 금속 물질에 비금속 물질을 반응시키는 공정을 포함하는, 태양전지 제조 방법
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제2항에서,상기 금속 물질은, 상기 알칼리 금속을 포함하는 금속 물질인, 태양전지 제조 방법
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제2항에서,상기 금속 물질을 증착하는 공정은,상기 알칼리 금속이 포함되어 있지 않은 금속 물질을 형성한 후, 상기 알칼리 금속이 포함된 알칼리 금속 화합물을 증착하는, 태양전지 제조 방법
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제2항에서,상기 비금속 물질을 반응시키는 공정은,비금속 물질을 가스 형태로 공급하는 제1 열처리 공정, 그리고상기 제1 열처리 공정에 의해 열처리된 비금속 물질을 상기 제1 열처리 공정시 온도보다 더 높은 온도에서 원자 또는 분자 형태로 열분해시키는 제2 열처리 공정을 포함하는, 태양전지 제조 방법
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제5항에서,상기 비금속 물질을 반응시키는 공정은,상기 제2 열처리 공정에 의해 열처리된 비금속 물질을 금속 물질에 노출 및 반응시키는 제3 열처리 공정을 더 포함하는, 태양전지 제조 방법
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제6항에서,상기 버퍼층을 형성하는 단계는,상기 제3 열처리 공정 전 또는 후에 상기 알칼리 금속이 포함된 알칼리 금속 화합물을 공급하는 공정을 더 포함하는, 태양전지 제조 방법
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제6항에서,상기 버퍼층을 형성하는 단계는,상기 제3 열처리 공정과 동시에 상기 알칼리 금속이 포함된 알칼리 금속 화합물을 공급하는 공정을 더 포함하는, 태양전지 제조 방법
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제2항에서,상기 버퍼층을 형성하는 단계는,상기 비금속 물질을 반응시키는 공정 이후, 기체 상태의 물질을 공급하는 공정을 더 포함하는, 태양전지 제조 방법
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제9항에서,상기 기체 상태의 물질은, 산소, 아르곤, 네온, 질소, 황, 셀레늄 중 하나의 물질이거나, 또는 이들 물질 중 적어도 2개 이상이 섞인 화합물인, 태양전지 제조 방법
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제1항에서,상기 알칼리 금속은, 나트륨, 칼륨, 루비듐, 세슘, 프란슘 중 적어도 하나를 포함하는 물질인, 태양전지 제조 방법
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제2항에서,상기 금속 물질은, 아연, 인듐, 카드뮴, 마그네슘, 베릴륨, 칼슘, 또는 주석 중 적어도 하나를 포함하는 물질인, 태양전지 제조 방법
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제2항에서,상기 비금속 물질은, 황, 셀레늄, 텔레늄 중 적어도 하나를 포함하는 물질인, 태양전지 제조 방법
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제4항 또는 제7항에서,상기 알칼리 금속 화합물은, 플루오린화나트륨, 염화나트륨, 탄산나트륨, 수산화나트륨, 질산나트륨, 황화나트륨, 셀렌화나트륨, 황산나트륨 중 하나인, 태양전지 제조 방법
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제2항에서,상기 버퍼층을 형성하는 단계는,상기 비금속 물질을 반응시키는 공정 전 또는 후에 상기 알칼리 금속이 포함된 알칼리 금속 화합물을 공급하는 공정을 더 포함하는, 태양전지 제조 방법
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알칼리 금속을 포함하는 버퍼층이 형성된 태양전지의 상기 버퍼층을 제조하는 장치로서,광흡수층 상에 금속 물질을 증착하는 금속 물질 증착부,상기 금속 물질에 비금속 물질을 가스 형태로 공급하는 제1 열처리부,상기 제1 열처리부에 의해 열처리된 비금속 물질을 상기 제1 열처리부에 의한 열처리시 온도보다 더 높은 온도에서 원자 또는 분자 형태로 열분해시키는 제2 열처리부,상기 제2 열처리부에 의해 열처리된 비금속 물질을 금속 물질에 노출 및 반응시키는 제3 열처리부, 그리고상기 알칼리 금속이 포함된 알칼리 금속 화합물을 공급하는 알칼리 공급부를 포함하는 태양전지의 버퍼층 제조 장치
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제16항에서,기체 상태의 물질을 공급하는 기체물질 공급부를 더 포함하는, 태양전지의 버퍼층 제조 장치
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제16항에서,상기 알칼리 금속은, 나트륨, 칼륨, 루비듐, 세슘, 프란슘 중 적어도 하나를 포함하는 물질인, 태양전지의 버퍼층 제조 장치
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제16항에서,상기 알칼리 금속 화합물은, 플루오린화나트륨, 염화나트륨, 탄산나트륨, 수산화나트륨, 황화나트륨, 셀렌화나트륨, 황산나트륨 중 하나인, 태양전지의 버퍼층 제조 장치
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알칼리 금속을 포함하는 버퍼층이 형성된 태양전지로서,기판,상기 기판 상에 형성되는 하부 전극,상기 하부 전극 상에 형성되는 광흡수층, 그리고상기 광흡수층 상에 형성되며, 상기 알칼리 금속을 포함하는 버퍼층을 포함하는 태양전지
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