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제1 서브칩, 및 상기 제1 서브칩 상에 플립된 제2 서브칩을 포함하되,상기 제1 서브칩은, 제1 기판, 상기 제1 기판의 제1 면 상의 제1 하부 클래드 패턴, 및 상기 제1 하부 클래드 패턴 상의 제1 코어층을 포함하고,상기 제2 서브칩은, 제2 기판, 상기 제2 기판의 제2 면 상의 제2 하부 클래드 패턴, 및 상기 제2 하부 클래드 패턴 상의 제2 코어층을 포함하며,상기 제1 기판의 상기 제1 면은 상기 제2 기판의 상기 제2 면을 마주보고,상기 제1 하부 클래드 패턴은, 상기 제1 면에 평행한 제1 상면, 및 상기 제1 면에 대해 경사진 제1 측벽을 갖고,상기 제1 코어층은, 상기 제1 상면 상의 제1 코어부 및 상기 제1 측벽 상의 제1 사이드부를 포함하는 광소자
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제1항에 있어서,상기 제2 하부 클래드 패턴은, 상기 제2 면에 평행한 제2 상면, 및 상기 제2 면에 대해 경사진 제2 측벽을 갖고,상기 제2 코어층은, 상기 제2 상면 상의 제2 코어부 및 상기 제2 측벽 상의 제2 사이드부를 포함하며,상기 제1 코어부는 상기 제2 코어부에 인접하는 광소자
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제2항에 있어서,상기 제1 사이드부의 적어도 일부는 상기 제2 사이드부의 적어도 일부와 수직적으로 중첩되는 광소자
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제2항에 있어서,상기 제1 측벽과 상기 제1 면은 제1 각도를 이루고,상기 제2 측벽과 상기 제2 면은 제2 각도를 이루며,상기 제1 각도와 상기 제2 각도는 서로 실질적으로 동일한 광소자
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5
제2항에 있어서,상기 제1 측벽과 상기 제1 면은 제1 각도를 이루고,상기 제2 측벽과 상기 제2 면은 제2 각도를 이루며,상기 제1 각도와 상기 제2 각도는 서로 다른 광소자
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6
제2항에 있어서,상기 제2 코어부의 최하부면의 레벨은, 상기 제1 코어부의 최상부면의 레벨보다 높은 광소자
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제2항에 있어서,상기 제2 코어부의 최하부면의 레벨은, 상기 제1 상면의 레벨보다 높고 상기 제1 코어부의 최상부면의 레벨보다 낮은 광소자
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8
제1항에 있어서,상기 제1 코어부는 제1 두께를 갖고,상기 제1 사이드부는 상기 제1 측벽에 수직한 방향으로 제2 두께를 가지며,상기 제1 두께는 상기 제2 두께보다 큰 광소자
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9
제8항에 있어서,상기 제1 코어부는 상기 제1 면에 수직한 방향으로 제1 증착 두께를 갖고,상기 제1 사이드부는 상기 제1 면에 수직한 방향으로 제2 증착 두께를 가지며,상기 제1 증착 두께와 상기 제2 증착 두께는 서로 실질적으로 동일한 광소자
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10
제1항에 있어서,상기 제1 코어층 및 상기 제2 코어층 중 적어도 하나는 칼코게나이드 유리를 포함하는 광소자
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11
제1 서브칩, 및 상기 제1 서브칩 상에 플립된 제2 서브칩을 포함하되,상기 제1 서브칩은, 제1 기판, 상기 제1 기판의 제1 면 상의 제1 하부 클래드 패턴, 및 상기 제1 하부 클래드 패턴 상의 제1 코어층을 포함하고,상기 제2 서브칩은, 제2 기판, 상기 제2 기판의 제2 면 상의 제2 하부 클래드 패턴, 및 상기 제2 하부 클래드 패턴 상의 제2 코어층을 포함하며,상기 제1 기판의 상기 제1 면은 상기 제2 기판의 상기 제2 면을 마주보고,상기 제1 하부 클래드 패턴의 폭은 상기 제2 기판으로 갈수록 감소하고,상기 제2 하부 클래드 패턴의 폭은 상기 제1 기판으로 갈수록 감소하며,상기 제1 코어층의 코어부는 상기 제2 코어층의 코어부에 인접하는 광소자
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12
제11항에 있어서,상기 제1 코어층의 코어부와 상기 제2 코어층의 코어부간에 광결합이 발생하는 광소자
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13
제11항에 있어서,상기 제1 코어층은, 상기 제1 하부 클래드 패턴의 상면 상의 상기 코어부 및 상기 제1 하부 클래드 패턴의 측벽 상의 사이드부를 포함하고,상기 코어부는 제1 두께를 갖고,상기 사이드부는 상기 제1 하부 클래드 패턴의 상기 측벽에 수직한 방향으로 제2 두께를 가지며,상기 제1 두께는 상기 제2 두께보다 큰 광소자
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14
제13항에 있어서,상기 코어부는 상기 제1 면에 수직한 방향으로 제1 증착 두께를 갖고,상기 사이드부는 상기 제1 면에 수직한 방향으로 제2 증착 두께를 가지며,상기 제1 증착 두께와 상기 제2 증착 두께는 서로 실질적으로 동일한 광소자
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15
제11항에 있어서,상기 제1 코어층의 상기 코어부는 제1 방향으로 제1 폭을 갖고,상기 제2 코어층의 상기 코어부는 상기 제1 방향으로 제2 폭을 갖고,상기 제1 코어층의 상기 코어부는 상기 제2 코어층의 상기 코어부로부터 상기 제1 방향으로 제1 거리만큼 오프셋되며,상기 제1 거리는 상기 제1 폭보다 큰 광소자
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16
제11항에 있어서,상기 제1 코어층의 상기 코어부는 제1 방향으로 제1 폭을 갖고,상기 제2 코어층의 상기 코어부는 상기 제1 방향으로 제2 폭을 갖고,상기 제1 코어층의 상기 코어부는 상기 제2 코어층의 상기 코어부로부터 상기 제1 방향으로 제1 거리만큼 오프셋되며,상기 제1 거리는 상기 제1 폭보다 작은 광소자
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17
기판 상의 하부 클래드 패턴; 및상기 하부 클래드 패턴 상의 코어층을 포함하되,상기 하부 클래드 패턴은, 상기 기판의 상면에 평행한 상면, 및 상기 기판의 상기 상면에 대해 경사진 측벽을 갖고,상기 코어층은, 상기 하부 클래드 패턴의 상기 상면 상의 코어부 및 상기 하부 클래드 패턴의 상기 측벽 상의 사이드부를 갖고,상기 코어층은, 제1 코어층 및 제2 코어층을 포함하며,상기 코어부의 상기 제1 코어층은 제1 두께를 갖고,상기 사이드부의 상기 제1 코어층은, 상기 측벽에 수직한 방향으로 제2 두께를 가지며,상기 제1 두께는 상기 제2 두께보다 큰 광소자
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제17항에 있어서,상기 코어부의 상기 제2 코어층은 제3 두께를 갖고,상기 사이드부의 상기 제2 코어층은, 상기 측벽에 수직한 방향으로 제4 두께를 가지며,상기 제3 두께는 상기 제4 두께보다 큰 광소자
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제17항에 있어서,상기 코어부의 상기 제2 코어층은 제3 두께를 갖고,상기 사이드부의 상기 제2 코어층은, 상기 측벽에 수직한 방향으로 제4 두께를 가지며,상기 제3 두께와 상기 제4 두께는 서로 실질적으로 동일한 광소자
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제17항에 있어서,상기 기판의 상부에 정의된 리세스 상의 주변 코어층을 더 포함하되,상기 주변 코어층은 상기 코어층과 이격된 광소자
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