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플렉서블 기판 기반의 하이브리드 집적회로 장치 및 그의 제조 방법

  • 기술번호 : KST2020014106
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 플렉서블 기판 기반의 하이브리드 집적회로 장치 및 그의 제조 방법에 관한 것이다. 하이브리드 집적회로 장치는 플렉서블 기판과 상기 플렉서블 기판상에 조립되어, 서로 전기적으로 연결가능한 다수의 기능 블록을 포함한다. 상기 다수의 기능 블록중 제1기능 블록은 상기 플렉서블 기판과는 다른 제1플렉서블 기판상에 형성된 제1전극을 구비하고, 제2기능 블록은 상기 플렉서블 기판과는 다른 제2플렉서블 기판상에 형성된 제2전극을 구비한다. 상기 제1기능 블록과 상기 제2기능 블록은, 상기 제1전극과 제2전극이 직접 콘택되어 전기적으로 연결되거나 또는 상기 제1전극과 제2전극이 비어 전극을 통해 콘택되어 전기적으로 연결된다.
Int. CL H01L 23/538 (2006.01.01) H01L 23/498 (2006.01.01) H01L 21/324 (2017.01.01) H01L 21/52 (2006.01.01)
CPC H01L 23/5387(2013.01) H01L 23/5387(2013.01) H01L 23/5387(2013.01) H01L 23/5387(2013.01) H01L 23/5387(2013.01)
출원번호/일자 1020190040688 (2019.04.08)
출원인 충남대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2020-0118594 (2020.10.16) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2019.04.08)
심사청구항수 15

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 충남대학교산학협력단 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이가원 대전광역시 유성구
2 이희덕 대전광역시 서구
3 유호영 대전광역시 유성구
4 이상렬 서울특별시 서초구
5 이종건 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김민규 대한민국 서울특별시 금천구 가산디지털*로 ** ****호 (가산동, 에이스한솔타워)(새론특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2019.04.08 수리 (Accepted) 1-1-2019-0356012-12
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2020.02.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2020.04.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2020-0097251-92
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2020.07.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0483649-80
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2020.09.15 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0977579-33
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2020.09.15 수리 (Accepted) 1-1-2020-0977586-53
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번호 청구항
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플렉서블 기판; 및상기 플렉서블 기판상에 조립되어, 서로 전기적으로 연결가능한 다수의 기능 블록을 포함하며,상기 다수의 기능 블록중 제1기능 블록은 상기 플렉서블 기판과는 다른 제1플렉서블 기판상에 형성된 제1전극을 구비하고, 제2기능 블록은 상기 플렉서블 기판과는 다른 제2플렉서블 기판상에 형성된 제2전극을 구비하며,상기 제1기능 블록과 상기 제2기능 블록은, 상기 제1전극과 제2전극이 직접 콘택되어 전기적으로 연결되거나 또는 상기 제1전극과 제2전극이 비어 전극을 통해 콘택되어 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 하이브리드 집적회로 장치
2 2
제1항에 있어서, 상기 제1기능 블록과 제2기능 블록은, 상기 제1플렉서블 기판의 상면상에 형성된 제1전극과 상기 제2플렉서블 기판의 하면상에 형성된 제2전극이 서로 콘택되어 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 하이브리드 집적회로 장치
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제1항에 있어서, 상기 제1기능 블록과 제2기능 블록은, 상기 제1플렉서블 기판의 상면상에 형성된 제1전극과 상기 제2플렉서블 기판의 상면과 하면중 적어도 한면에 형성된 제2전극이 비어 스루 홀에 형성된 상기 비어 전극을 통해 서로 콘택되어 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 하이브리드 집적회로 장치
4 4
제1항에 있어서, 상기 제1플렉서블 기판은 삽입 홈을 구비하고 상기 제1전극은 상기 삽입 홈의 서로 마주보는 면중 적어도 하나의 면에 배열되고, 상기 제2플렉서블 기판은 상기 삽입 홈에 대응하는 돌출부를 구비하며 상기 제2전극은 상기 돌출부의 상기 제1전극과 마주보는 면에 배열되며,상기 제1기능 블록과 제2기능 블록은, 상기 제1플렉서블 기판의 삽입 홈에 상기 제2플렉서블 기판의 돌출부가 삽입된 상태에서 제1전극과 상기 제2전극이 서로 직접 콘택되어 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 하이브리드 집적회로 장치
5 5
제1항에 있어서, 상기 제1플렉서블 기판은 삽입 홈을 구비하고 상기 제1전극은 상기 삽입 홈의 서로 마주보는 면중 적어도 하나의 면에 배열되고, 상기 제2플렉서블 기판은 상기 삽입 홈에 대응하는 돌출부를 구비하며 상기 제2전극은 상기 돌출부의 상기 제1전극과 마주보는 면과 제1전극과 대향하는 면중 적어도 하나에 배열되며,상기 제1기능 블록과 제2기능 블록은, 상기 제1플렉서블 기판의 삽입 홈에 상기 제2플렉서블 기판의 돌출부가 삽입된 상태에서 제1전극과 상기 제2전극이 비어 스루 홀에 형성된 상기 비어 전극을 통해 서로 콘택되어 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 하이브리드 집적회로 장치
6 6
제1항에 있어서, 상기 기능 블록들은 상기 플렉서블 기판과의 연결을 위한 제3전극을 구비하며, 상기 플렉서블 기판은 기판 전극을 포함하며,상기 플렉서블 기판의 기판 전극이 상기 제1전극과 제2전극중 하나의 전극 구조를 갖는 경우, 상기 제3전극은 다른 하나의 전극 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 하이브리드 집적회로 장치
7 7
제6항에 있어서, 상기 플렉서블 기판의 기판 전극과 상기 각 기능 블록의 전극이 직접 콘택되어 전기적으로 연결되거나 또는 비어 스루 홀내에 형성된 비어 전극을 통해 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 하이브리드 집적회로 장치
8 8
플렉서블 기판; 및 서로 전기적으로 연결가능한 다수의 기능 블록을 포함하는 하이브리드 집적회로 장치의 제작 방법에 있어서,상기 플렉서블 기판과는 다른 제1플렉서블 기판상에 제1전극을 형성하여 상기 다수의 기능 블록을 구성하는 적어도 하나의 제1기능 블록을 형성하고, 상기 플렉서블 기판과는 다른 제2플렉서블 기판상에 제2전극을 형성하여 상기 다수의 기능 블럭을 구성하는 적어도 하나의 제2기능 블록을 형성하는 단계; 상기 제1기능 블럭들을 개별적으로 분리하고, 상기 제2기능 블럭들을 개별적으로 분리하는 단계;상기 제1기능 블럭과 제2기능 블록을 상기 플렉서블 기판상에 조립하는 단계; 및상기 제1기능 블록과 상기 제2기능 블록을 상기 제1전극과 제2전극을 직접 콘택시켜 전기적으로 연결하거나 또는 상기 제1전극과 제2전극을 비어 전극을 통해 콘택시켜 전기적으로 연결하는 단계를 포함하는 특징으로 하는 하이브리드 집적회로 장치의 제조방법
9 9
제8항에 있어서, 상기 제1기능 블록과 제2기능 블록을, 상기 제1플렉서블 기판의 상면상에 형성된 제1전극과 상기 제2플렉서블 기판의 하면상에 형성된 제2전극을 콘택시켜 열처리하여 줌으로써 전기적으로 연결하는 것을 특징으로 하는 하이브리드 집적회로 장치의 제조방법
10 10
제8항에 있어서, 상기 제1기능 블록과 제2기능 블록을 상기 플렉서블 기판상에 조립하는 단계 후, 비어 스루 홀 공정을 통해 상기 제1 및 제2기능 블록에 통합적으로 비어 스루 홀을 형성하는 단계; 및상기 비어 스루 홀내에 상기 비어 전극을 형성하여 상기 제1기능 블록과 상기 제2기능 블록을 전기적으로 연결하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 하이브리드 집적회로 장치의 제조방법
11 11
제8항에 있어서, 상기 플렉서블 기판상에 상기 제1 및 제2기능 블록을 조립하는 단계전에, 비어 스루 홀 공정을 통해 상기 제1 및 제2기능 블록 각각에 비어 스루 홀을 형성하는 단계; 및상기 제1기능 블록과 제2기능 블록을 상기 플렉서블 기판상에 조립하는 단계 후, 상기 비어 스루 홀이 오버랩된 상태에서 상기 비어 스루 홀내에 비어 전극을 채워 상기 제1기능 블록과 상기 제2기능 블록을 전기적으로 연결하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 하이브리드 집적회로 장치의 제조방법
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제8항에 있어서, 상기 기능 블록들은 상기 플렉서블 기판과의 연결을 위한 제3전극을 구비하며, 상기 플렉서블 기판은 기판 전극을 포함하며,상기 플렉서블 기판과 상기 기능 블록중 해당하는 블록을 전기적으로 서로 연결하는 것을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 하이브리드 집적회로 장치의 제조방법
13 13
제12항에 있어서, 상기 플렉서블 기판과 상기 기능 블록을, 상기 플렉서블 기판의 기판 전극과 상기 기능 블록의 전극을 열처리 공정을 통해 직접 콘택시켜 전기적으로 연결하거나 또는 비어 스루 홀 공정을 통해 비어 스루 홀내에 형성된 상기 비어 전극을 통해 전기적으로 연결하는 것을 특징으로 하는 하이브리드 집적회로 장치의 제조방법
14 14
제12항에 있어서, 상기 제1플렉서블 기판과 상기 제2플렉서블 기판은 서로 다른 기판으로 상기 제1 및 상기 제2기능 블럭들은 서로 개별적으로 형성되거나 또는 상기 제1플렉서블 기판과 상기 제2플렉서블 기판은 동일한 기판으로 상기 제1 및 상기 제2기능블록들은 동시에 형성되는 것을 특징으로 하는 하이브리드 집적회로 장치의 제조방법
15 15
제12항에 있어서, 상기 플렉서블 기판의 기판 전극이 상기 제1전극과 제2전극중 하나의 전극 구조를 갖는 경우, 상기 제3전극은 다른 하나의 전극 구조를 갖는 것을 특징으로 하는 하이브리드 집적회로 장치의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.