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맥파 측정을 위한 압력 센서 어레이에 있어서,수평 방향 및/또는 수직 방향 중 적어도 하나의 방향으로 배열되는 복수개의 압력 센서;상기 복수개의 압력 센서 하부에 형성되는 압력 전달층; 및상기 복수개의 압력 센서와 상기 압력 전달층 사이에 형성되는 감지막을 포함하되,상기 복수개의 압력 센서 각각은,상기 감지막에 인접하여 실리콘 나노와이어가 형성되고, 상기 압력 전달층을 통해 외부로부터 진동이 상기 감지막에 전달되면, 상기 진동에 의해 상기 실리콘 나노와이어의 저항이 변화되는, 맥파 측정을 위한 압력 센서 어레이
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제1항에 있어서,상기 압력 전달층은,상기 복수개의 압력 센서 각각에 대응하여 분리되는, 맥파 측정을 위한 압력 센서 어레이
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상기 제1항에 있어서,상기 복수개의 압력 센서 각각은 제1기판 상에 배치되고,상기 제1기판은 상기 복수개의 압력 센서 각각에 대응하여 복수개의 영역으로 분리되고, 상기 복수개의 영역은 각각 소정 간격으로 이격되는, 맥파 측정을 위한 압력 센서 어레이
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제1항에 있어서,상기 복수개의 압력 센서 각각에는 센서 전극이 형성되고, 상기 센서 전극은 상기 압력 센서 어레이와 대응되는 제2기판의 도체 단자와 플립 칩 본딩에 의해 연결되는 맥파 측정을 위한 압력 센서 어레이
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맥파 측정을 위한 압력 센서 어레이의 패키징 방법에 있어서,제1기판 내부에 실리콘 나노와이어를 형성하는 단계; 상기 제1기판과 제2기판을 본딩한 후 상기 제1기판을 소정 두께로 연마하는 단계; 연마된 상기 제1기판 표면에 센서 전극을 형성하는 단계; 및본딩된 상기 제2기판의 하부를 일정 깊이로 식각하여 일정 두께의 감지막을 형성함으로써, 복수개의 압력 센서를 구성하는 단계를 포함하는 맥파 측정을 위한 압력 센서 어레이의 패키징 방법
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제5항에 있어서,상기 제1기판에 대응하는 제2기판의 각 도체 단자에 솔더를 형성시키는 단계;상기 센서 전극이 상기 각 도체 단자와 마주보도록 상기 제1기판과 상기 제2기판을 정렬한 후 열을 가함으로써 상기 제1기판과 상기 제2기판을 본딩하는 단계를 더 포함하는 맥파 측정을 위한 압력 센서 어레이의 패키징 방법
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제6항에 있어서,제1기판의 영역들 중 상기 복수개의 압력 센서가 형성된 영역과 반대쪽에 위치한 영역에 압력 전달층을 형성하는 단계를 더 포함하는 맥파 측정을 위한 압력 센서 어레이의 패키징 방법
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제7항에 있어서,상기 압력 전달층을 상기 복수개의 압력 센서 각각에 대응하여 분리하는 단계를 더 포함하는 맥파 측정을 위한 압력 센서 어레이의 패키징 방법
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제5항에 있어서,상기 제1기판을 이방성 식각하여 소정 형상으로 형성한 면에 습식 산화막 형성 공정을 하여 상기 실리콘 나노와이어를 형성하는, 맥파 측정을 위한 압력 센서 어레이의 패키징 방법
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