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원자층을 증착하는 증착 장치

  • 기술번호 : KST2020014413
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 원자층을 증착하는 증착 장치는 처리 챔버 및 증착 샘플을 증착하는 기판, 기판의 하부에 배치되며 기판에 증착된 증착 샘플의 온도를 조절하는 히터 및 기판의 상부에 배치되며 증착 샘플을 고정하는 커버를 포함하도록 처리 챔버의 내부에 설치된 블록부를 포함하고, 블록부는 복수 개로 구성되고, 복수 개의 블록부는 각 블록부가 블록 형식으로 조립이 가능하도록 구성될 수 있다.
Int. CL C23C 16/455 (2006.01.01) C23C 16/503 (2006.01.01) C23C 16/52 (2018.01.01)
CPC
출원번호/일자 1020200123336 (2020.09.23)
출원인 서울과학기술대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2020-0113182 (2020.10.06) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자 10-2018-0057550 (2018.05.21)
관련 출원번호 1020180057550
심사청구여부/일자 Y (2020.09.23)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 서울과학기술대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 노원구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 안지환 서울특별시 성동구
2 이성제 서울특별시 노원구
3 계승현 서울특별시 노원구
4 심상일 서울특별시 노원구
5 조소라 서울특별시 송파구
6 양병찬 서울특별시 강북구
7 고도현 제주특별자치도 서귀포시
8 최학영 전라북도 전주시 완산구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인엠에이피에스 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로*길 **, *층 (역삼동, 한동빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
최종권리자 정보가 없습니다
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application		 2020.09.23 수리 (Accepted) 1-1-2020-1014691-08
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2020.10.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0731844-83
3 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
 2020.12.03 수리 (Accepted) 1-1-2020-1307865-39
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2020.12.03 1-1-2020-1307875-96
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
원자층을 증착하는 증착 장치에 있어서,처리 챔버 및증착 샘플을 증착하는 기판, 상기 기판의 하부에 배치되며 상기 기판에 증착된 증착 샘플의 온도를 조절하는 히터 및 상기 기판의 상부에 배치되며 상기 증착 샘플을 고정하는 커버를 포함하도록 상기 처리 챔버의 내부에 설치된 블록부를 포함하고,상기 블록부는 복수 개로 구성되고, 상기 복수 개의 블록부는 각 블록부가 블록 형식으로 조립이 가능하도록 구성되되,상기 증착 장치는 상기 복수 개의 블록부를 재치하는 마운트 본체를 더 포함하고, 증착 실험에 따라 사용되는 블록부의 개수에 기초하여 상기 마운트 본체의 홈부에 블록부를 안착시켜 조립이 가능하도록 구성되고,상기 마운트 본체의 각 홈부의 하면에는 상기 각 블록부에 대응하도록 제 1 홀 및 제 2 홀이 형성되고, 상기 제 1 홀을 통해 상기 각 블록부의 기판에 바이어스 전극을 위한 바이어스 전압을 제공하는 DC 파워 공급부 및 상기 제 2 홀을 통해 상기 복수 개의 블록부의 각 기판에 증착된 증착 샘플의 온도를 제어하는 제어부를 더 포함하고,상기 제어부는 상기 제 1 홀 및 상기 제 2 홀을 통해 상기 각 기판에 증착된 증착 샘플의 온도 및 상기 기판에 형성된 바이어스 전극을 독립적으로 조절하고,상기 제어부는 상기 각 기판에 대응하는 각 히터에 인가되는 발열량을 독립적으로 제어하고, 상기 각 기판의 구조에 기초하여 상기 바이어스 전압을 독립적으로 조절하는 것인, 증착 장치
2 2
제 1 항에 있어서,상기 각 블록부는 상기 기판, 상기 히터 및 상기 커버를 지지하는 홀더를 더 포함하고,상기 홀더는 상기 히터의 하부에 형성된 홀부를 포함하는 것인, 증착 장치
3 3
제 2 항에 있어서,상기 홀부는 상기 각 기판에 대응하는 히터로 파워를 공급하도록 형성된 것인, 증착 장치
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 마운트 본체에는 상기 복수 개의 블록부 간의 열전도를 예방하기 위해 상기 복수 개의 블록부와 인접한 부분이 코팅되어 있는 것인, 증착 장치
지정국 정보가 없습니다
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 KR1020190132712 KR 대한민국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
DOCDB 패밀리 정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 한국산업기술진흥원 산업전문인력역량강화(산업부) 창의산업융합특성화 인재양성사업(전담기관)
2 중소벤처기업부 넥서스비 창업성장기술개발 플렉서블 OLED용 저온/고속 공간분할 ALD 개발