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몰드를 기판에 접촉시켜 상기 기판에 패턴을 형성하는 장치로서,상기 몰드와 결합하여 상기 몰드를 지지하는 몰드 지지부;상기 몰드 지지부에 연결되어 상기 몰드 지지부를 단축 진동시키는 단축 진동부; 및상기 기판을 지지하고 이송하는 기판 공급부를 포함하는 패턴 형성용 단축 진동 장치
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제 1 항에 있어서,상기 단축 진동부는 피에조 액추에이터를 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴 형성용 단축 진동 장치
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제 1 항에 있어서,상기 몰드 지지부는 상기 몰드와 결합하는 몰드 결합부를 포함하고,상기 몰드 결합부는 상부 부재와 하부 부재를 포함하며,상기 몰드는 상기 상부 부재와 상기 하부 부재 사이에 삽입되어 지지되는 것을 특징으로 하는 패턴 형성용 단축 진동 장치
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제 3 항에 있어서,상기 몰드 지지부는,상기 몰드 결합부에 배치되어 상기 몰드를 가열하는 히터 및상기 몰드 결합부에 배치되어 상기 몰드의 온도를 측정하는 온도 센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴 형성용 단축 진동 장치
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제 4 항에 있어서,상기 몰드 지지부에 인접하게 배치되어 상기 몰드에 가해지는 힘을 측정하는 포스 센서부를 더 포함하는 패턴 형성용 단축 진동 장치
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제 5 항에 있어서,상기 몰드 지지부는,상기 몰드 결합부에 배치되고, 상기 포스 센서부와 컨택하는 포스 센서 컨택 로드를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 패턴 형성용 단축 진동 장치
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제 1 항에 있어서,상기 기판은 필름인 것을 특징으로 하는 패턴 형성용 단축 진동 장치
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제 1 항에 있어서,상기 기판은 폴리머로 형성된 것을 특징으로 하는 패턴 형성용 단축 진동 장치
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