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원료 분말이 수용되는 수용 공간이 내부에 형성되는 분말 컨테이너와,상기 분말 컨테이너의 하부에 위치하며, 상기 수용 공간에 수용된 상기 원료 분말을 단속적으로 하부로 공급하는 게이트 밸브와,상기 게이트 밸브의 하부에 위치하며 상기 게이트 밸브에서 공급되는 상기 원료 분말을 하부로 공급하는 호퍼와,상기 호퍼의 하부에 위치하며, 상기 호퍼에서 공급되는 원료 분말을 하부로 공급하는 분말 피더 및상기 분말 피더의 하부에 위치하며, 상기 분말 피더에서 공급되는 원료 분말을 증발시켜 소스 가스를 형성하고, 상기 소스 가스를 캐리어 가스와 혼합시켜 외부로 공급하는 증발기를 포함하는 것을 특징으로 하는 소스 가스 공급 장치
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제 1 항에 있어서,상기 분말 컨테이너는상기 수용 공간을 형성하며, 하부로 상기 원료 분말이 배출되는 하측 구개부를 구비하는 하우징 본체와,상기 하우징 본체의 외주면에 위치하여 상기 수용 공간을 상기 원료 분말의 응집 방지 온도 이상을 가열하는 가열 수단 및상기 수용 공간에 수용되는 원료 분말을 유동시키는 스터러를 포함하며,상기 수용 공간은 진공으로 유지되는 것을 특징으로 하는 소스 가스 공급 장치
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제 2 항에 있어서,상기 게이트 밸브는내부가 중공이며 상부와 하부가 개방되는 원통 형상의 밸브 하우징과,상기 밸브 하우징의 내부 형상에 대응되는 원판 형상이며, 상면에서 하면으로 관통되는 상부 게이트 홀을 구비하는 상부 게이트 판 및상기 상부 게이트 판의 형상에 대응되는 원판 형상이고 상면이 상기 상부 게이트 판의 하면과 접촉되도록 위치하며, 상면에서 하면으로 관통되고 상기 상부 게이트 홀에 대응되는 형상으로 형성되는 하부 게이트 홀을 구비하는 하부 게이트 판을 포함하며,상기 상부 게이트 판 또는 하부 게이트 판이 회전하여 상기 상부 게이트 홀과 하부 게이트 홀의 적어도 일부를 연통하여 상기 원료 분말을 하부로 공급하는 것을 특징으로 하는 소스 가스 공급 장치
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제 3 항에 있어서,상기 상부 게이트 홀은 상기 상부 게이트 판의 중심에서 외측으로 갈수록 폭이 증가하는 부채꼴 형상으로 형성되고 원주 방향으로 이격되며, 상기 상부 게이트 홀의 폭 또는 호의 길이가 서로 이격되는 폭 또는 호의 길이와 동일하게 형성되며,상기 하부 게이트 홀은 상기 하부 게이트 판의 중심에서 외측으로 갈수록 폭이 증가하는 부채꼴 형상으로 형성되고 원주 방향으로 이격되며, 상기 하부 게이트 홀이 상기 게이트 홀과 동일하게 이격되어 형성되는 것을 특징으로 하는 소스 가스 공급 장치
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제 1 항에 있어서,상기 증발기는상기 분말 피더로부터 공급되는 상기 원료 분말을 수용하며 상부가 개방되는 증발 하우징과,상기 증발 하우징의 상부를 밀폐하며, 상면에서 하면으로 관통되는 분말 유입홀과 캐리어 가스 유입홀 및 혼합 가스 유출홀을 구비하는 상부 커버와,상기 상부 커버의 분말 유입홀을 관통하여 상기 증발 하우징의 내부로 삽입되며 하단부가 상기 증발 하우징의 상부에 위치하는 분말 유입관과,상기 상부 커버의 캐리어 가스 유입홀을 관통하여 상기 증발 하우징의 내부로 삽입되며 하단부가 상기 증발 하우징의 상부에 위치하는 캐리어 가스 유입관과,상기 상부 커버의 소스 가스 유출홀을 관통하여 상기 증발 하우징의 내부로 삽입되며 하단부가 상기 증발 하우징의 하부에 위치하는 소스 가스 유출관과,기공이 일면에서 타면으로 연결되도록 형성되며 소정 두께를 갖는 판상으로 형성되며, 상기 증발 하우징의 내부에 수평 방향으로 위치하여 상기 증발 하우징의 내부 공간을 상부 공간과 하부 공간으로 분리하며, 상면에 상기 원료 분말이 지지되는 분말 지지망 및상기 증발 하우징의 내부에 위치하는 원료 분말을 증발에 필요한 증발 온도로 가열하는 증발 가열 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 소스 가스 공급 장치
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제 5 항에 있어서,상기 분말 유입관의 하단부와 상기 캐리어 가스 유입관의 하단부는 상기 분말 지지망의 상면에서 상부로 이격되어 위치하며,상기 혼합 가스 유출관의 하단부는 상기 분말 지지망의 하면과 상기 증발하우징의 바닥면 사이에 위치하는 것을 특징으로 하는 소스 가스 공급 장치
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제 5 항에 있어서,상기 분말 지지망의 기공은 상기 원료 분말의 입경보다 작은 직경으로 형성되는 것을 특징으로 하는 소스 가스 공급 장치
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제 5 항에 있어서,상기 증발 온도는 100∼ 400℃인 것을 특징으로 하는 소스 가스 공급 장치
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