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전자기파를 시편 방향으로 조사하는 방출부;상기 시편이 위치하는 방향에서부터 출력되는 전자기파를 수신하는 수신부; 및상기 수신부로부터 신호를 받아 상기 시편의 두께를 산출하는 제어부를 포함하고,상기 시편이 제1 두께를 갖는 경우, 상기 수신부는 제1 전자기파를 수신하고,상기 시편이 제2 두께를 갖는 경우, 상기 수신부는 제2 전자기파를 수신하고,상기 제1 전자기파는 제1 시점에서 제1 피크값을 가지고,상기 제2 전자기파는 제2 시점에서 제2 피크값을 가지고,상기 제1 두께가 상기 제2 두께보다 큰 경우, 상기 제1 피크값은 상기 제2 피크값보다 작은 값인두께 측정 장치
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제1항에 있어서,상기 제1 시점은 상기 제2 시점보다 빠른 시점인두께 측정 장치
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제1항에 있어서,상기 제1 두께는 상기 제1 시점 및 상기 제1 피크값과 반비례 관계에 있는두께 측정 장치
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제1항에 있어서,상기 제어부는 상기 제1 전자기파 및 상기 제2 전자기파에 대해 FFT(Fast Fourier Transform) 알고리즘을 이용하여 상기 시편의 복소상대굴절률을 산출하는 복소상대굴절률 산출부 및 흡광계수를 산출하는 흡광계수 산출부를 포함하는두께 측정 장치
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제4항에 있어서,상기 제어부는,주파수 영역에서 상기 시편의 두께에 대한 복소상대굴절률 및 흡광계수에 대한 함수를 미리 저장하는 함수 저장부를 포함하고,상기 복소상대굴절률 산출부 및 상기 흡광계수 산출부로부터 산출된 값과 상기 함수 저장부에 저장된 값에 기초하여 상기 시편의 두께를 산출하는 두께 산출부를 포함하는두께 측정 장치
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제5항에 있어서,상기 제어부는 상기 두께 산출부로부터 산출된 데이터를 저장하는 데이터 저장부를 포함하고,상기 데이터 저장부에 저장된 데이터가 상기 함수 저장부로 전달되어 상기 함수 저장부에 저장된 함수가 수정 가능한두께 측정 장치
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제4항에 있어서,상기 제1 두께가 상기 제2 두께보다 큰 경우, 상기 제1 전자기파의 복소상대굴절률은 상기 제2 전자기파의 복소상대굴절률보다 작은두께 측정 장치
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제4항에 있어서,상기 제1 두께가 상기 제2 두께보다 큰 경우, 상기 제1 전자기파의 흡광계수는 상기 제2 전자기파의 흡광계수보다 큰두께 측정 장치
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제4항에 있어서,주파수가 증가하는 경우, 상기 제1 전자기파의 복소상대굴절률도 증가하는두께 측정 장치
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제4항에 있어서,상기 제1 전자기파는 제1 주파수에서 제1 복소상대굴절률을 갖고, 제2 주파수에서 제2 복소상대굴절률을 갖고,상기 제1 전자기파는 상기 제1 주파수에서 상기 제1 복소상대굴절률에 대하여 제1 기울기를 갖고, 상기 제2 주파수에서 상기 제2 복소상대굴절률에 대하여 제2 기울기를 갖고,상기 제1 주파수가 상기 제2 주파수보다 작은 경우, 상기 제1 기울기는 상기 제2 기울기보다 큰두께 측정 장치
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제4항에 있어서,주파수가 증가하는 경우, 상기 제1 전자기파의 흡광계수는 감소하는두께 측정 장치
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제4항에 있어서,상기 제1 전자기파는 제1 주파수에서 제1 흡광계수를 갖고, 제2 주파수에서 제2 흡광계수를 갖고,상기 제1 전자기파는 상기 제1 주파수에서 상기 제1 흡광계수에 대하여 제1 기울기를 갖고, 상기 제2 주파수에서 상기 제2 흡광계수에 대하여 제2 기울기를 갖고,상기 제1 주파수가 상기 제2 주파수보다 작은 경우, 상기 제1 기울기의 절대값은 상기 제2 기울기의 절대값보다 큰두께 측정 장치
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제1항에 있어서,상기 제1 전자기파 및 상기 제2 전자기파는 테라헤르츠파인두께 측정 장치
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