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구리 알콕시알킬아미드 화합물, 이의 제조방법, 및 이를 이용하여 박막을 형성하는 방법

  • 기술번호 : KST2020014896
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 열적 안정성과 휘발성이 우수한 신규의 구리 알콕시알킬아미드 화합물에 관한 것으로, 상기 화합물을 이용하여 낮은 온도에서 우수한 박막성장속도로, 고품질의 구리 함유 박막을 제조하는 방법 및 이를 통해 제조된 구리 함유 박막을 제공할 수 있다.
Int. CL C07F 1/08 (2006.01.01) C23C 16/40 (2006.01.01) C23C 16/34 (2006.01.01) C23C 16/455 (2006.01.01)
CPC C07F 1/08(2013.01) C07F 1/08(2013.01) C07F 1/08(2013.01) C07F 1/08(2013.01)
출원번호/일자 1020190047855 (2019.04.24)
출원인 한국화학연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2020-0124484 (2020.11.03) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2019.04.24)
심사청구항수 9

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 정택모 대전광역시 유성구
2 신선영 대전광역시 유성구
3 박보근 대전광역시 유성구
4 김건환 대전광역시 유성구
5 엄태용 경기도 광명시 양지로 **(일
6 이선주 경기도 수원시 영통구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 플러스 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국화학연구원 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2019.04.24 수리 (Accepted) 1-1-2019-0422609-30
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2020.02.13 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2020.05.15 수리 (Accepted) 9-1-2020-0019758-59
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2020.06.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0436423-88
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2020.08.13 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-0852561-70
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
 2020.08.13 수리 (Accepted) 1-1-2020-0852570-81
7 등록결정서
Decision to grant		 2020.11.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0791508-42
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
하기 화학식 1로 표시되는 구리 알콕시알킬아미드 화합물:[화학식 1]상기 화학식 1에서, R1 및 R2는 각각 독립적으로 C1 내지 C10의 선형 또는 분지형 알킬이다
2 2
제 1항에 있어서,상기 화학식 1에서 R1은 C3 내지 C8의 분지형 알킬이고,R2는 C1 내지 C4의 선형 알킬인 구리 알콕시알킬아미드 화합물
3 3
제 1항에 있어서,하기 화합물로부터 선택되는 것인 구리 알콕시알킬아미드 화합물
4 4
하기 화학식 2으로 표시되는 N-알콕시알킬아미드 금속염 화합물과 하기 화학식 3으로 표시되는 구리 할라이드 화합물을 반응시켜 하기 화학식 1의 구리 알콕시알킬아미드 화합물을 제조하는 방법:[화학식 1][화학식 2][화학식 3]CuX2상기 화학식 1 내지 3에서,R1 및 R2는 각각 독립적으로 C1 내지 C10의 선형 또는 분지형 알킬이며,Z는 알칼리 금속이며,X는 할로젠이다
5 5
제 1항 내지 제 3항에서 선택되는 어느 한 항에 따른 구리 알콕시알킬아미드 화합물을 포함하는 구리 함유 박막형성용 조성물
6 6
제 1항 내지 제 3항에서 선택되는 어느 한 항에 따른 구리 알콕시알킬아미드 화합물을 이용하여, 구리 함유 박막을 제조하는 방법
7 7
제 6항에 있어서,화학기상증착법(CVD) 또는 원자층증착법(ALD)에 의해 수행되는 것인, 구리 함유 박막을 제조하는 방법
8 8
제 6항에 있어서,상기 구리 함유 박막은 구리 금속 박막, 구리 산화물 박막, 구리 질화물 박막 또는 구리 산질화물 박막인, 구리 함유 박막을 제조하는 방법
9 9
제 6항에 있어서,상기 구리 함유 박막은 구리 질화물 박막인, 구리 함유 박막을 제조하는 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 한국화학연구원 한국화학연구원 정부출연 일반사업 IoT 디바이스용 스마트 화학 소재 개발
2 과학기술정보통신부 한국화학연구원 원천기술개발사업 (EZ)태양전지 광흡수층용 금속 질화물 박막을 위한 금속 전구체 및 화학기상증착 박막공정 개발