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알칼리 원소를 도입한 칼코파이라이트 화합물계 박막 및 그 제조 방법

  • 기술번호 : KST2020014902
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 알칼리 원소를 도입한 칼코파이라이트 화합물계 박막 및 그 제조 방법이 제공된다. 상기 알칼리 원소를 도입한 칼코파이라이트 화합물계 박막은 알칼리 원소의 도입으로 우수한 칼코파이라이트 결정특성과 표면 특성이 향상된 필름특성을 구현할 수 있고, 박막내 구성원소 분포를 제어하여 향상된 광학적 특성을 나타낼 수 있다. 이에 의해 태양전지의 성능을 개선시킬 수 있다. 상기 칼코파이라이트 화합물계 박막은 용액 공정을 통해 용이하게 제조될 수 있다.
Int. CL H01L 31/032 (2006.01.01) H01L 31/0445 (2014.01.01) H01L 31/0216 (2014.01.01) H01L 31/18 (2006.01.01)
CPC H01L 31/0324(2013.01) H01L 31/0324(2013.01) H01L 31/0324(2013.01) H01L 31/0324(2013.01) H01L 31/0324(2013.01) H01L 31/0324(2013.01) H01L 31/0324(2013.01) H01L 31/0324(2013.01)
출원번호/일자 1020190048606 (2019.04.25)
출원인 한국과학기술연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2020-0125009 (2020.11.04) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2019.04.25)
심사청구항수 21

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술연구원 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 민병권 서울특별시 성북구
2 황윤정 서울특별시 성북구
3 오형석 서울특별시 성북구
4 이웅 서울특별시 성북구
5 원다혜 서울특별시 성북구
6 이동기 서울특별시 성북구
7 김주현 서울특별시 성북구
8 김민규 서울특별시 성북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 리앤목특허법인 대한민국 서울 강남구 언주로 **길 **, *층, **층, **층, **층(도곡동, 대림아크로텔)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2019.04.25 수리 (Accepted) 1-1-2019-0429155-11
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2019.09.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2019.12.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2020-0111883-56
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2020.08.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0548730-38
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2020.10.12 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-1075756-30
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2020.10.12 수리 (Accepted) 1-1-2020-1075755-95
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번호 청구항
1 1
기판;상기 기판 상에 배치된 단층 또는 복층의 칼코파이라이트 화합물 층; 및상기 칼코파이라이트 화합물 층 내부에 개재되거나 상기 칼코파이라이트 화합물 층 상부에 배치되는 알칼리 원소 층;을 포함하는 칼코파이라이트 화합물계 박막
2 2
제1항에 있어서,상기 알칼리 원소 층은 리튬(Li), 나트륨(Na), 칼륨(K), 루비듐(Rb), 세슘(Cs), 및 프랑슘(Fr)으로 이루어진 군으로부터 선택되는 적어도 하나의 원소를 포함하는 칼코파이라이트 화합물계 박막
3 3
제1항에 있어서,상기 알칼리 원소 층은 1 내지 500 nm의 두께를 갖는 칼코파이라이트 화합물계 박막
4 4
제1항에 있어서,상기 알칼리 원소 층의 함량은, 상기 칼코파이라이트 화합물 층 및 상기 알칼리 원소 층의 총 중량을 기준으로 0
5 5
제1항에 있어서,상기 칼코파이라이트 화합물 층은 Ⅰ-Ⅲ-Ⅵ 족 원소로 구성된 칼코파이라이트 결정 구조를 갖는 무기 화합물을 포함하는 칼코파이라이트 화합물계 박막
6 6
제5항에 있어서,상기 무기 화합물은 구리인듐셀렌(CISe)계, 구리인듐갈륨셀렌(CIGSe)계, 구리인듐황(CIS)계, 구리인듐갈륨황(CIGS)계 및 구리인듐갈륨황셀렌계 (CIGSSe) 화합물 중 적어도 하나를 포함하는 칼코파이라이트 화합물계 박막
7 7
제1항에 있어서,상기 칼코파이라이트 화합물 층은 중심부에 비하여 상부와 하부에서 In, Ga, Cu, S 및 Se 중 적어도 하나의 농도 분포가 달라지는 구조를 갖는 칼코파이라이트 화합물계 박막
8 8
제7항에 있어서,상기 칼코파이라이트 화합물 층의 중심부 대비 상부와 하부에서의 농도가 0
9 9
제1항에 있어서,상기 칼코파이라이트 화합물 층의 깊이 방향으로 변화하는 밴드갭 그레이딩 구조를 갖는 칼코파이라이트 화합물계 박막
10 10
제1항에 있어서,상기 기판은 인듐주석산화물, 불소-도핑된 인듐주석산화물, 유리, 몰르브덴(Mo) 코팅된 유리, 금속 포일, 금속 판, 및 전도성 고분자 물질 중 1종 혹은 2종 이상을 포함하는 것인 칼코파이라이트 화합물계 박막
11 11
제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 따른 칼코파이라이트 화합물계 박막을 포함하는 태양전지
12 12
기판 상에 제1 금속 전구체 페이스트를 도포하고 열처리하여 제1 금속 산화물 박막을 형성하는 단계;상기 금속 산화물 박막 상에 알칼리 전구체 용액을 도포하고 열처리하여 알칼리 원소 층을 형성하는 단계;상기 알칼리 원소 층 상에 제2 금속 전구체 페이스트를 도포하고 열처리하여 제2 금속 산화물 박막을 형성하는 단계; 및상기 제1 금속 산화물 박막, 상기 알칼리 원소 층 및 상기 제2 금속 산화물 박막의 적층체를 기상의 황 전구체, 셀레늄 전구체 또는 이들의 혼합 분위기 하에서 열처리하는 단계;를 포함하는 칼코파이라이트 화합물계 박막의 제조방법
13 13
제12항에 있어서,상기 제1 금속 전구체 페이스트 및 상기 제2 금속 전구체 페이스트는 각각 독립적으로 금속 전구체, 유기물 바인더 및 용매를 포함하는 칼코파이라이트 화합물계 박막의 제조방법
14 14
제13항에 있어서,상기 금속 전구체는 1종 이상의 IB족 금속의 전구체 또는 1종 이상의 IIIA족 금속의 전구체 또는 이들 2종 이상의 혼합물을 포함하는 칼코파이라이트 화합물계 박막의 제조방법
15 15
제13항에 있어서,상기 유기 바인더는 에틸셀룰로스, 폴리비닐아세테이트, 팔미트산, 폴리에틸렌글리콜, 폴리프로필렌글리콘, 폴리프로필렌카보네이트, 및 프로필렌다이올 중 1종 또는 2종 이상의 혼합물을 포함하는 칼코파이라이트 화합물계 박막의 제조방법
16 16
제13항에 있어서,상기 용매는 물, 메탄올, 에탄올, 프로판올, 부탄올, 아세톤, 디메틸 케톤, 프로판온, 메톡시 에탄, 에톡시 에탄, 1,2-디메톡시 에탄, 벤젠, 톨루엔, 자이렌, 테트라하이드로퓨란, 아니솔, 헥산, 사이클로헥산, 사염화탄소, 메틸렌 클로라이드 및 클로로포름 중 1종 또는 2종 이상을 포함하는 칼코파이라이트 화합물계 박막의 제조방법
17 17
제12항에 있어서,상기 제1 금속 전구체 페이스트의 도포 및 열처리가 1회 내지 20회 수행되고, 상기 제2 금속 전구체 페이스트의 도포 및 열처리가 1회 내지 20회 수행되는 칼코파이라이트 화합물계 박막의 제조방법
18 18
제12항에 있어서,상기 알칼리 전구체 용액은, 알칼리 원소의 플루오라이드, 클로라이드, 브로마이드, 아이오다이드, 나이트레이트, 퍼클로레이트, 카보네이트 및 설페이트 화합물 중 1종 이상을 포함하는 칼코파이라이트 화합물계 박막의 제조방법
19 19
제12항에 있어서,상기 알칼리 전구체 용액은 물, 메탄올, 에탄올, 프로판올, 부탄올, 아세톤, 디메틸 케톤, 프로판온, 메톡시 에탄, 에톡시 에탄, 1,2-디메톡시 에탄, 벤젠, 톨루엔, 자이렌, 테트라하이드로퓨란, 아니솔, 헥산, 사이클로헥산, 사염화탄소, 메틸렌 클로라이드 및 클로로포름 중 1종 또는 2종 이상의 용매를 포함하는 칼코파이라이트 화합물계 박막의 제조방법
20 20
제12항에 있어서,상기 도포는 프린팅, 스핀코팅, 롤투롤 코팅, 슬랏 다이 코팅, 바코팅 및 스프레이 코팅 중 1종 또는 2종 이상의 방법으로 수행되는 칼코파이라이트 화합물계 박막의 제조방법
21 21
기판 상에 금속 전구체 페이스트를 도포하고 열처리하여 금속 산화물 박막을 형성하는 단계; 및 상기 금속 산화물 박막을 기상의 황 전구체, 셀레늄 전구체 또는 이들의 혼합 분위기 하에서 열처리하는 단계;를 포함하고,상기 금속 전구체 페이스트는, 1종 이상의 IB족 금속의 전구체 또는 1종 이상의 IIIA족 금속의 전구체 또는 이들 2종 이상의 혼합물과 알칼리 원소 또는 알칼리 전구체를 포함하는 것인 칼코파이라이트 화합물계 박막의 제조방법
22 22
기판 상에 제1 금속 전구체 페이스트를 도포하고 열처리하여 제1 금속 산화물 박막을 형성하는 단계;상기 금속 산화물 박막 상에 제2 금속 전구체 페이스트를 도포하고 열처리하여 제2 금속 산화물 박막을 형성하는 단계; 및상기 제1 금속 산화물 박막 및 상기 제2 금속 산화물 박막의 적층체를 기상의 황 전구체, 셀레늄 전구체 또는 이들의 혼합 분위기 하에서 열처리하는 단계;를 포함하고,상기 제1 금속 전구체 페이스트 및 상기 제2 금속 전구체 페이스트는 각각 독립적으로 1종 이상의 IB족 금속의 전구체 또는 1종 이상의 IIIA족 금속의 전구체 또는 이들 2종 이상의 혼합물을 포함하고,상기 제2 금속 전구체 페이스트는 알칼리 전구체를 더 포함하는 것인 칼코파이라이트 화합물계 박막의 제조방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 한국과학기술연구원 에너지기술개발사업 나노패턴 후면전극 및 용액공정 기반1 마이크로미터 이하 초박막 CIGS를 이용한 고효율 박막 태양전지 개발