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테라헤르츠파를 생성하는 테라헤르츠파 생성부와, 상기 테라헤르츠파 생성부로부터 입사되는 테라헤르츠파를 이용하여 검사 대상 물체에 테라헤르츠파 베셀빔이 형성되도록 하는 베셀빔 형성부를 포함하는 테라헤르츠파 광학헤드;상기 테라헤르츠파 베셀빔이 상기 검사 대상 물체를 투과한 테라헤르츠파를 검출하는 테라헤르츠파 검출부를 포함하는 테라헤르츠파 집광헤드;상기 테라헤르츠파 광학헤드 및 상기 테라헤르츠파 집광헤드를 제 1 축 방향으로 이동시키는 제 1 이동부;상기 테라헤르츠파 광학헤드 및 상기 테라헤르츠파 집광헤드를 제 2 축 방향으로 이동시키는 제 2 이동부; 및상기 테라헤르츠파 광학헤드 및 상기 테라헤르츠파 집광헤드 사이에 배치되고, 상기 검사 대상 물체를 회전시켜 3차원 스캔이 가능하도록 하는 회전시료장치를 포함하는, 고속 스캐닝 단층 촬영 장치
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제 1 항에 있어서,상기 테라헤르츠파 광학 헤드 및 상기 테라헤르츠파 집광헤드과 기계적으로 연결되고, 상기 제 1 이동부에 의해 상기 테라헤르츠파 광학 헤드 및 상기 테라헤르츠파 집광헤드를 제 1 축으로 이동시키기 위해 사용되는 제 1 축 프레임;제 1 축 프레임과 수직하게 배치되고, 상기 테라헤르츠파 광학 헤드 및 상기 테라헤르츠파 집광헤드과 기계적으로 연결되고, 상기 제 2 이동부에 의해 상기 테라헤르츠파 광학 헤드 및 상기 테라헤르츠파 집광헤드를 제 2 축으로 이동시키기 위해 사용되는 제 2 축 프레임;을 더 포함하는, 고속 스캐닝 단층 촬영 장치
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제 1 항에 있어서,상기 테라헤르츠파 집광헤드는,상기 검사 대상 물체를 투과하여 외부로 산란되는 테레헤르츠파 베셀빔을 제 1 렌즈로 입사되도록 반사시키는 집광 미러; 및상기 집광 미러로부터 입사되는 테라헤르츠파의 각도를 작게 변경하는 제 1 렌즈를 더 포함하는, 고속 스캐닝 단층 촬영 장치
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제 3 항에 있어서,상기 제 1 렌즈는,상기 집광 미러를 투과하여 입사되는 테라헤르츠파의 각도를 작게 변경하는, 고속 스캐닝 단층 촬영 장치
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제 4 항에 있어서,제 1 렌즈를 통과한 테라헤르츠파를 검출부로 집광시키는 제 2 렌즈를 더 포함하는, 고속 스캐닝 단층 촬영 장치
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제 5 항에 있어서,제 2 렌즈에 의해서 집광된 테라헤르츠파를 검출하는 검출부를 더 포함하는, 고속 스캐닝 단층 촬영 장치
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제 1 항에 있어서,상기 회전시료장치는,검사체를 고정하는 홀더부;상기 검사체와 기계적으로 연결되고, 상기 검사체를 회전시키는 모터를 더 포함하는, 고속 스캐닝 단층 촬영 장치
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제 7 항에 있어서,상기 검사체는,테라헤르츠파를 투과하는 재질로 구성되는, 고속 스캐닝 단층 촬영 장치
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제 7 항에 있어서,상기 검사체는,원통형으로 구성되는, 고속 스캐닝 단층 촬영 장치
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제 7 항에 있어서,상기 홀더부의 중심의 일직선상에 위치한 회전시료 장치에 자석이 더 포함되고,상기 검사체는,상기 회전시료 장치와 붙을 수 있는 자석을 포함하여, 상기 회전시료장치 및 검사체가 용이하게 부착되는, 고속 스캐닝 단층 촬영 장치
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제 7 항에 있어서,상기 홀더부는,외주면을 따라 홀(hole)이 더 포함되고, 상기 검사체 및 상기 회전시료장치가 고정된 이후 홀을 통해 삽입되는 핀을 통해 상기 검사체가 고정되는, 고속 스캐닝 단층 촬영 장치
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상기 검사 대상 물체를 투과하여 외부로 산란되는 테레헤르츠파 베셀빔을 제 1 렌즈로 입사되도록 반사시키는 집광 미러; 및상기 집광 미러로부터 입사되는 테라헤르츠파의 각도를 작게 변경하는 제 1 렌즈를 더 포함하는, 테라헤르츠파 집광헤드
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13
제 12 항에 있어서,상기 제 1 렌즈는,상기 집광 미러를 투과하여 입사되는 테라헤르츠파의 각도를 작게 변경하는, 테라헤르츠파 집광헤드
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14
제 13 항에 있어서,제 1 렌즈를 통과한 테라헤르츠파를 검출부로 집광시키는 제 2 렌즈를 더 포함하는, 테라헤르츠파 집광헤드
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15
제 14 항에 있어서,제 2 렌즈에 의해서 집광된 테라헤르츠파를 검출하는 검출부를 더 포함하는, 테라헤르츠파 집광헤드
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검사체를 고정하는 홀더부; 및상기 검사체와 기계적으로 연결되고, 상기 검사체를 회전시키는 모터를 더 포함하는, 회전시료장치
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제 16 항에 있어서,상기 검사체는,테라헤르츠파를 투과하는 재질로 구성되는, 회전시료장치
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18
제 16 항에 있어서,상기 검사체는,원통형으로 구성되는, 회전시료장치
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제 16 항에 있어서,상기 홀더부의 중심의 일직선상에 위치한 회전시료 장치에 자석이 더 포함되고,상기 검사체는,상기 회전시료 장치와 붙을 수 있는 자석을 포함하여, 상기 회전시료장치 및 검사체가 용이하게 부착되는, 회전시료장치
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제 16 항에 있어서,상기 홀더부는,외주면을 따라 홀(hole)이 더 포함되고, 상기 검사체 및 상기 회전시료장치가 고정된 이후 홀을 통해 삽입되는 핀을 통해 상기 검사체가 고정되는, 회전시료장치
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