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광을 방출하며, 하기 제1 광분할기(200)의 일측 방향에 위치하는 광원부(100); 상기 광원부(100)로부터의 광을 측정 대상물(600) 및 하기 기준미러(300)로 각각 분할하는 제1 광분할기(200);상기 광원부와 대향하여 제1 광분할기의 타측방향에 위치하며, 상기 제1 광분할기(200)로부터의 분할된 광이 조사되어 이를 다시 상기 제1 광분할기로 반사하는 기준미러(300); 상기 광원부(100)로부터 측정 대상물의 표면에 조사되어 반사된 광과, 상기 기준미러(300)에서 반사되어 다시 제1 광분할기(200)를 거치는 광경로에 따른 광이 합쳐진 간섭무늬를 촬영하는 촬영부(500); 및 상기 광원부(100)에서 방출하는 광과 독립된 별도의 광을 방출하며, 이에 의하여 상기 제1 광분할기(200)로부터 기준미러에 도달하여 반사되는 광과, 상기 제1 광분할기(200)로부터 측정대상물(600)에 도달하여 반사되는 광 사이의 광경로에 따른 변위측정값을 측정하는 변위 측정부(400);를 포함하는 입체형상 측정장치로서,상기 변위측정부(400)는 광원부(100)에서 방출하는 광과 독립된 별도의 광을 방출하는 변위측정광원(411); 및 상기 변위측정광원(411)으로부터 방출되어 측정대상물(600)과 기준미러(300) 각각에 도달하고 다시 반사되어 합쳐지는 광을 분산시켜, 분산된 광의 간섭정보를 측정하는 분산형 간섭계 분광기(413);를 포함하는 분산변위 간섭계(410);를 포함하며, 상기 분산변위 간섭계(410)내 변위측정광원(411)으로부터 방출된 광은 상기 제1 광분할기(200)를 거쳐 측정대상물 및 기준미러에 각각 조사된 후 다시 제1 광분할기(200)를 거쳐 상기 분산형 간섭계 분광기(413)에 도달하는 것을 특징으로 하는 입체형상 측정장치
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제1항에 있어서,상기 제1 광분할기(200)는 광원부(100)와 기준미러(300) 사이를 수평이동 또는 수직이동이 가능한 것을 특징으로 하는 입체형상 측정장치
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제1항에 있어서, 상기 기준미러(300)는 광원부(100)와 제1 광분할기(200) 사이의 광경로와 평행으로 수평이동이 가능한 것을 특징으로 하는 입체형상 측정장치
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제1항에 있어서, 상기 변위측정부(400)는 상기 광원부(100)와 제1 광분할기(200) 사이의 광경로에 상기 분산변위 간섭계(410)내 변위측정광원(411)으로부터 방출된 광을 분할하는 제2 광분할기(420);를 추가적으로 포함하여,상기 분산변위 간섭계(410)내 변위측정광원(411)으로부터 방출된 광이 제1 광분할기(200)를 거쳐 측정대상물과 기준미러에 도달하고 다시 반사되어 제1 광분할기(200)를 거쳐 상기 분산변위 간섭계(410)내 분산형 간섭계 분광기(413)로 도달할 수 있도록 하는 것을 특징으로 하는 입체형상 측정장치
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제1항에 있어서, 상기 변위측정부(400)는 상기 촬영부(500)와 제1 광분할기(200) 사이의 광경로에 상기 분산변위 간섭계(410)내 변위측정광원(411)으로부터 방출된 광을 분할하는 제2 광분할기(420);를 추가적으로 포함하여,상기 분산변위 간섭계(410)내 변위측정광원(411)으로부터 방출된 광이 제1 광분할기(200)를 거쳐 측정대상물과 기준미러에 도달하고 다시 반사되어 제1 광분할기(200)를 거쳐 상기 분산변위 간섭계(410)내 분산형 간섭계 분광기(413)로 도달할 수 있도록 하는 것을 특징으로 하는 입체형상 측정장치
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제4항 또는 제5항에 있어서, 상기 분산변위 간섭계(410)내 변위측정광원(411)과 제2 광분할기(420) 사이에는, 상기 변위측정광원(411)으로부터 방출되어 측정대상물에 도달한 후 반사되어 제1광분할기 및 제2 광분할기를 거쳐 돌아오는 반사광을 상기 분산변위 간섭계(410)내 분산형 간섭계 분광기(413)로 분할하는 분산변위 간섭계내 광분할기(412)를 추가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 입체형상 측정장치
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제4항에 있어서, 상기 분산변위 간섭계(410)내 변위측정광원(411)은 광원부(100)와 제1 광분할기(200) 사이의 광경로와 수직한 방향에 위치하여 광원부(100)에서 방출하는 광과 독립된 별도의 광을 상기 제2 광분할기(420) 방향으로 방출하는 것을 특징으로 하는 입체형상 측정장치
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제5항에 있어서, 상기 분산변위 간섭계(410)내 변위측정광원(411)은 상기 촬영부(500)와 제1 광분할기(200) 사이의 광경로와 수직한 방향에 위치하여 광원부(100)에서 방출하는 광과 독립된 별도의 광을 상기 제2 광분할기(420) 방향으로 방출하는 것을 특징으로 하는 입체형상 측정장치
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제6항에 있어서, 상기 분산형 간섭계 분광기(413)는 상기 변위측정광원(411)으로부터 방출되어 측정대상물에 도달한 후 반사되어 제1광분할기, 제2 광분할기 및 분산변위 간섭계내 광분할기(412)를 거치는 반사광을 분산시키는 분산변위 분광소자(415) 및 상기 분광소자로부터 분산된 광을 측정하는 분산변위 광측정장치(414)을 포함하는 것을 특징으로 하는 입체형상 측정장치
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제1항에 있어서, 상기 입체형상 측정장치는 마이켈슨, 미라우 또는 리닉 타입 중에서 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 입체형상 측정장치
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제1항에 있어서, 상기 분산변위 간섭계(410)는 적어도 일부를 광섬유 방식으로 구성되는 것을 특징으로 하는 입체형상 측정장치
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제1항에 있어서, 상기 입체형상 측정장치는 상기 변위측정부(400)에서 얻어진 변위측정값으로부터, 상기 변위측정광원(411)으로부터 방출된 광이 상기 제1 광분할기(200)로부터 기준미러에 도달하여 반사되는 광과, 상기 제1 광분할기(200)로부터 측정대상물(600)에 도달하여 반사되는 광 사이의 광경로에 따른 각각의 거리를 일치시키기 위해 상기 측정 대상물(600)을 독립적으로 이동시키거나, 또는 상기 측정대상물(600)을 고정시키고 상기 광원부(100), 제1 광분할기(200) 및 기준미러(300) 중 적어도 하나를 포함하는 입체 형상측정장치의 적어도 일부분을 독립적으로 이동시킬 수 있는 제어부(700);를 추가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 입체형상 측정장치
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제11항에 있어서,상기 제어부(700)는 추가적으로 제1 광분할기(200) 또는 기준미러(300)의 위치를 이동시킬 수 있는 것을 특징으로 하는 입체형상 측정장치
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제1항 내지 제13항 중 어느 한 항에 따른 입체형상 측정장치를 이용하여 측정대상물의 입체 형상을 측정하는 방법
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