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기저전극이 마련되는 기판부; 상기 기판부에 상기 기저전극과 중첩되도록 적층되는 다공성 재질의 다공성 전극부; 및상기 기판부에 대해 상기 다공성 전극부를 밀착시키며, 상기 커버부를 커버하는 커버부; 를 포함하며, 상기 기판부와 상기 커버부의 사이로 유입된 유체가 상기 다공성 전극부를 관통 유동(Flow-through)하는 마이크로 유체 미생물 연료전지
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제1항에 있어서, 상기 다공성 전극부는 카본 재질로 형성되는 마이크로 유체 미생물 연료전지
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제1항에 있어서, 상기 다공성 전극부는 상기 기저전극과 대응되는 형상을 가지는 카본 페이퍼를 포함하는 마이크로 유체 미생물 연료전지
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제1항에 있어서, 상기 기저전극은,상기 기판부에 포토리소그래피((photolithography) 공정으로 증착되는 니켈(Ni) 전극을 포함하며, 상기 다공성 전극부와 중첩되는 전극 영역과, 상기 커버부로부터 비 커버되도록 상기 전극 영역으로부터 연장되어 전류 인가수단과 연결 가능한 패드 영역을 가지는 마이크로 유체 미생물 연료전지
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제1항에 있어서, 상기 커버부는 상기 다공성 전극부가 결합되는 채널홈이 상기 기저전극과 마주하는 위치에 마련되며, 상기 유체가 유입되는 적어도 하나의 유입구와 상기 유체가 배출되는 적어도 하나의 배출구가 상기 다공성 전극부를 사이에 두고 상기 채널홈과 연통하도록 상기 커버부에 관통 형성되는 마이크로 유체 미생물 연료전지
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제4항에 있어서, 상기 커버부는 상기 채널홈 및 상기 기판부에 접합되지 않는 영역에 상기 채널홈으로 산소가 투과됨을 차단시키는 차단층이 마련되며, 상기 차단층은 상기 커버부보다 산소 투과율이 낮은 물질로 코팅되는 마이크로 유체 미생물 연료전지
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제6항에 있어서, 상기 커버부는 PDMS(polydimethylsiloxane, 폴리디메틸실론산) 재질로 몰딩 되어 마련되며, 상기 차단층은 파릴렌 C(Parylene C)를 포함하는 마이크로 유체 미생물 연료전지
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제1항에 있어서, 상기 기판부는 유리 기판을 포함하며, 상기 기판부에 대해 상기 커버부는 플라즈마 접합되는 마이크로 유체 미생물 연료전지
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제1항에 있어서, 상기 유체는 미생물을 포함하는 연료와 산화제를 포함하며, 상기 다공성 전극부는 기 설정된 접종기간 동안에 상기 미생물의 안착을 위해 접종되는 마이크로 유체 미생물 연료전지
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제1항에 있어서, 상기 다공성 전극부는 1 내지 1
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기저전극이 마련되는 기판부를 마련하는 단계; 상기 기저전극과 마주하도록 채널홈이 마련되어 상기 기판부를 커버하는 커버부를 마련하는 단계; 다공성 재질로 마련되는 다공성 전극부를 상기 커버부의 채널홈에 결합시키는 단계; 및상기 커버부가 상기 기판부에 접합되는 단계; 를 포함하며, 상기 다공성 전극부는 상기 기저전극과 중첩되도록 상기 기판부와 커버부 사이에 밀착되어, 상기 채널홈의 내부로 유입된 유체가 상기 다공성 전극부를 관통 유동(Flow-through)하는 마이크로 유체 미생물 연료전지의 제조방법
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제11항에 있어서, 상기 기판부 마련단계는, 유리 재질의 웨이퍼를 마련하는 단계; 상기 웨이퍼에 상기 기저전극을 포토리소그래피 공정으로 증착시키는 단계; 및상기 웨이퍼를 다이싱하여 상기 기판부로 패키징하는 단계; 를 포함하며, 상기 기저전극은 상기 커버부에 의해 커버되는 전극 영역과, 상기 커버부로부터 비 커버되도록 상기 전극 영역으로부터 연장되어 전류 인가수단과 연결 가능한 패드 영역이 마련되는 니켈 전극을 포함하는 마이크로 유체 미생물 연료전지의 제조방법
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제11항에 있어서, 상기 커버부 마련단계는, PDMS 용액과 PDMS 경화제가 혼합되어 기포가 제거된 몰딩액을 PDMS 주형틀에 공급하여 경화시키는 몰딩 방식에 의해 마련되며, 상기 PDMS 주형틀는 3D 프린팅되어 마련되는 마이크로 유체 미생물 연료전지의 제조방법
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제11항에 있어서, 상기 커버부 마련단계는, 상기 채널홈 및 상기 기판부에 접합되지 않는 영역에 상기 커버부보다 산소 투과율이 낮은 차단층을 코팅하여 산소 투과를 차단시키는 단계; 를 포함하는 마이크로 유체 미생물 연료전지의 제조방법
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제11항에 있어서, 상기 다공성 전극부를 상기 커버부에 결합시키는 단계는, 카본 페이퍼를 상기 기저전극에 대응되도록 절단하여 상기 커버부의 채널홈에 길이 방향으로 결합시키는 마이크로 유체 미생물 연료전지의 제조방법
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제15항에 있어서, 상기 커버부는, 상기 유체가 유입되는 적어도 하나의 유입구 및, 상기 다공성 전극부를 사이에 두고 이격되어 상기 다공성 전극부를 관통 유동한 상기 유체가 배출되는 적어도 하나의 배출구가 상기 채널홈과 연통하도록 관통 형성되는 마이크로 유체 미생물 연료전지의 제조방법
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제11항에 있어서, 상기 접합단계는, 상기 커버부는 상기 채널홈에 결합된 상기 다공성 전극부를 상기 기판부에 대해 가압한 상태에서 상기 기판부와 플라즈마 접합되는 마이크로 유체 미생물 연료전지의 제조방법
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제11항에 있어서, 상기 결합단계 이후에, 산소 차단을 위해 상기 채널홈을 밀봉한 상태에서 전압을 인가하여 미생물을 안착시키는 접종단계를 포함하는 마이크로 유체 미생물 연료전지의 제조방법
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