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제 1 전극층;상기 제 1 전극층 상에 배치되고, 결정성 고분자 및 상기 결정성 고분자 내에 함침된 이온성 액체를 포함하는 이온성 겔 층을 포함하며, 상기 이온성 겔 층의 상기 결정성 고분자의 사슬(chain)의 재결정화에 의해 제어된 표면 거칠기를 갖는 유전체층; 및상기 유전체층 상에 배치된 제 2 전극층을 포함하는 정전용량형 압력 센서
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제 1 항에 있어서상기 정전용량형 압력 센서는,상기 제 1 전극층 및 상기 제 2 전극층 중 어느 하나와 상기 유전체층 사이에 상기 표면 거칠기를 통해 형성된 에어 갭을 더 포함하는 정전용량형 압력 센서
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제 1 항에 있어서상기 정전용량형 압력 센서는,상기 제 1 전극층 및 상기 제 2 전극층 중 어느 하나와 상기 유전체층의 계면 사이에 형성된 전기 이중층 (Electric Double Layer: EDL)을 더 포함하는 정전용량형 압력 센서
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제 1 항에 있어서상기 표면 거칠기는 미소 섬유(micro-fibril) 형태의 토폴로지를 포함하는 정전용량형 압력 센서
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제 1 항에 있어서상기 결정성 고분자의 사슬(chain)의 재결정화는 상기 결정성 고분자의 사슬(chain)이 상기 유전체 층의 표면 법선에 평행으로 정렬되는 것을 포함하며,상기 결정성 고분자는 상기 사슬이 굽힘 형태에 의해 판상모형(platelet)의 결정 형태를 가지며, 상기 유전체 층의 표면 법선을 기준으로 라멜라 구조를 갖는 정전용량형 압력 센서
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제 1 항에 있어서상기 표면 거칠기의 제곱 평균(root mean square: RMS)은 0
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제 1 항에 있어서상기 결정성 고분자 내에 함침된 이온성 액체의 함량은 0 중량% 초과 60 중량% 이하 범위를 갖는 정전용량형 압력 센서
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제 1 항에 있어서상기 결정성 고분자는 PVDF, P(VDF-TrFE), P(VDF-CTFE), P(VDF-CFE), P(VDF-HFP), P(VDF-TrFE-CTFE), P(VDF-TrFE-CFE) 및 P(VDF-TrFE-HFP)를 포함하는 PVDF 기재 공중합체인 정전용량형 압력 센서
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제 1 항에 있어서상기 이온성 액체는 EMI-TFSA, BMIM TFSI, OMIM TFSI, EMIM TFSI, EMIM-BF4, EMIM-TCB, BMIM-TFSI, EMIM-SO4, BMIM-BF4, DMIM-BF4, DMIM-TFSI 중 적어도 하나를 포함하는 정전용량형 압력 센서
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제 1 항에 있어서상기 제 1 전극층 및 상기 제 2 전극층 중 적어도 하나는 고분자 기판 상에 형성되고, 상기 제 1 전극층 및 상기 제 2 전극층 중 적어도 하나는 상기 고분자 기판 상에 라인 패턴화된 제 1 및 제2 그래핀 층을 포함하며,상기 정전용량형 압력 센서는 상기 라인 패턴화된 제 1 그래핀 층과 상기 라인 패턴화된 제 2 그래핀 층사이의 복수의 교차점들에 각각 정의되는 커패시터 셀들의 배열을 갖는 정전용량형 압력 센서
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제 1 전극층을 형성하는 단계;상기 제 1 전극층 상에, 상기 제 1 전극층 상에 배치되고, 결정성 고분자 및 상기 결정성 고분자 내에 함침된 이온성 액체를 포함하는 이온성 겔 층을 포함하며, 상기 이온성 겔 층의 상기 결정성 고분자의 사슬(chain)의 재결정화에 의해 제어된 표면 거칠기를 갖는 유전체층을 형성하는 단계; 및상기 유전체층 상에 제 2 전극층을 형성하는 단계를 포함하는 정전용량형 압력 센서의 제조 방법
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제 11 항에 있어서,상기 유전체층을 형성하는 단계는,상기 결정성 고분자와 상기 이온성 액체를 준비하는 단계;상기 결정성 고분자와 상기 이온성 액체를 혼합하여 이온성 혼합 용액을 형성하는 단계; 상기 이온성 혼합 용액을 제 1 전극층에 코팅하여, 이온성 겔 층을 형성하는 단계; 및 상기 이온성 겔 층을 열처리하여, 상기 결정성 고분자의 사슬을 재결정화시키는 단계를 포함하는 정전용량형 압력 센서의 제조 방법
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제 12 항에 있어서,상기 열처리의 온도는 상기 결정성 고분자의 용융 온도보다 높은 정전용량형 압력 센서의 제조 방법
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제 12 항에 있어서,상기 이온성 겔 층의 냉각 속도를 조절하는 단계를 더 포함하는 정전용량형 압력 센서의 제조 방법
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제 14 항에 있어서,상기 냉각 속도는 5
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제 11 항에 있어서,상기 제 1 전극층 및 상기 제 2 전극층 중 적어도 하나는 고분자 기판 상에 형성되고, 상기 제 1 전극층 및 상기 제 2 전극층 중 적어도 하나는 상기 고분자 기판 상에 라인 패턴화된 제 1 및 제2 그래핀 층을 포함하며,상기 정전용량형 압력 센서는 상기 라인 패턴화된 제 1 그래핀 층과 상기 라인 패턴화된 제 2 그래핀 층사이의 복수의 교차점들에 각각 정의되는 커패시터 셀들의 배열을 갖는 정전용량형 압력 센서의 제조 방법
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