| 1 |
1
제1 전극, 상기 제1 전극과 마주하여 이격되고 다수의 제1 관통홀을 포함하는 제2 전극, 및 상기 제1 및 제2 전극 사이에 플라즈마가 발생하도록 전압을 인가하는 전압인가수단을 포함하는, 플라즈마 발생부;상기 플라즈마 발생부로 가스를 주입하는 가스 주입구;상기 플라즈마 발생부에서 상기 가스 주입구 측에 위치하는 투시창;상기 투시창을 통해 들어오는 빛을 OES 센서로 전달하도록 구성된 수광부;상기 제2 전극 주위를 에워싸고 상기 플라즈마의 반대측으로 연장된 측벽부; 및상기 반대측에서 상기 측벽부를 덮고 상기 제2 전극과 이격되며, 둘 이상의 제2 관통홀을 포함하는 배면층을 포함하고,상기 가스 주입구는 상기 배면층의 제2 관통홀을 통해 구성되어 상기 가스 주입구를 통해 주입되는 가스는 상기 제2 전극의 제1 관통홀을 통해 상기 제1 전극측으로 주입되고,상기 제2 전극의 제1 관통홀의 전부 또는 일부와 상기 배면층의 제2 관통홀의 전부 또는 일부가 동축상에 위치되어 있으며,상기 투시창 및 상기 수광부는 상기 제2 전극의 제1 관통홀과 동축으로 위치한 상기 배면층의 제2 관통홀에 설치됨을 특징으로 하는,플라즈마 공간 진단 OES 장치를 포함하는 플라즈마 장치
|
| 2 |
2
삭제
|
| 3 |
3
삭제
|
| 4 |
4
삭제
|
| 5 |
5
삭제
|
| 6 |
6
삭제
|
| 7 |
7
삭제
|
| 8 |
8
제1항에 있어서,상기 제2 전극의 제1 관통홀은 입사되는 빛을 시준(collimating)하도록 일정 길이를 가짐을 특징으로 하는, 플라즈마 공간 진단 OES 장치를 포함하는 플라즈마 장치
|
| 9 |
9
제1항에 있어서,상기 제2 전극의 제1 관통홀의 내면은 빛을 시준(collimating)하도록 광 특성을 가짐을 특징으로 하는, 플라즈마 공간 진단 OES 장치를 포함하는 플라즈마 장치
|
| 10 |
10
다른 하나의 전극과 마주하게 배치되어서 상기 다른 하나의 전극과의 사이에 플라즈마를 형성하며, 상기 플라즈마로부터의 빛을 상기 플라즈마의 반대측으로 전달시키기 위한 다수의 제1 관통홀을 포함하고, 상기 플라즈마의 반대측으로 연장된 측벽부 및 상기 반대측에서 상기 측벽부를 덮고 둘 이상의 제2 관통홀을 포함하는 배면층으로 둘러 싸여 있고,상기 배면층의 둘 이상의 제2 관통홀 중 일부에는 OES 센서가 설치되고,상기 제1 관통홀의 전부 또는 일부는 상기 배면층의 제2 관통홀의 전부 또는 일부와 동축상에 위치하며,상기 제2 관통홀에는 상기 플라즈마로부터의 빛을 수광하는 투시창이 설치되고,상기 플라즈마를 형성하기 위한 가스는 상기 배면층 측에서 주입되고,상기 제1 관통홀을 통해 가스를 상기 배면층의 반대측으로 주입되도록 하는 것을 특징으로 하는,플라즈마 공간 진단용 전극
|
| 11 |
11
삭제
|
| 12 |
12
삭제
|
| 13 |
13
제10항에 있어서,상기 제1 관통홀은 상기 플라즈마로부터 입사되는 빛을 상기 투시창을 향해 시준하도록 일정 길이를 가짐을 특징으로 하는,플라즈마 공간 진단용 전극
|
| 14 |
14
제10항에 있어서,상기 제1 관통홀의 내면은 상기 플라즈마로부터 입사되는 빛을 상기 투시창을 향해 시준하도록 광 특성을 가짐을 특징으로 하는,플라즈마 공간 진단용 전극
|
| 15 |
15
삭제
|
