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자유전자 레이저 발생 장치 및 방법

  • 기술번호 : KST2020015505
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 자유전자 레이저 발생 장치 및 방법이 개시된다. 자유전자 레이저 발생장치는 전자 빔을 주사하는 인젝터, 상기 인젝터를 통과한 전자 빔이 입사되며, 전자기장을 이용하여 전자를 가속시키거나 감속시키는 선형가속기, 상기 선형가속기를 통과한 전자 빔의 진행 경로를 변경하는 제1 경로 변경부, 상기 제1 경로 변경부를 통과한 전자 빔에 포함된 전자 다발(electron bunch)을 종방향(Longitudinal direction)으로 압축하는 번치 컴프레서(Bunch compressor), 전자기장과 상기 번치 컴프레서를 통과한 전자 빔의 상호작용에 의해 자유전자 레이저를 발생시키는 언듈레이터(Undulator); 및 상기 언듈레이터를 통과한 전자 빔의 진행 경로를 변경하여 상기 선형가속기에 입사시키는 제2 경로 변경부를 포함한다.
Int. CL H01S 3/09 (2006.01.01) H01L 21/027 (2006.01.01) G03F 7/20 (2006.01.01)
CPC H01S 3/0903(2013.01) H01S 3/0903(2013.01) H01S 3/0903(2013.01) H01S 3/0903(2013.01)
출원번호/일자 1020190030110 (2019.03.15)
출원인 포항공과대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2020-0110051 (2020.09.23) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 19

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박용운 경상북도 포항시 남구
2 남기문 충청남도 천안시 서북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인영비 대한민국 서울 강남구 테헤란로**길 **-*,벧엘빌딩 *층

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2019.03.15 수리 (Accepted) 1-1-2019-0270434-71
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.20 수리 (Accepted) 4-1-2019-5243581-27
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.22 수리 (Accepted) 4-1-2019-5245997-53
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5247115-68
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번호 청구항
1 1
자유 전자 레이저 발생장치에 있어서,전자 빔을 주사하는 인젝터;상기 인젝터를 통과한 전자 빔이 입사되며, 전자기장을 이용하여 전자를 가속시키거나 감속시키는 선형가속기;상기 선형가속기를 통과한 전자 빔의 진행 경로를 변경하는 제1 경로 변경부;상기 제1 경로 변경부를 통과한 전자 빔에 포함된 전자 다발(electron bunch)을 종방향(Longitudinal direction)으로 압축하는 번치 컴프레서(Bunch compressor); 전자기장과 상기 번치 컴프레서를 통과한 전자 빔의 상호작용에 의해 자유전자 레이저를 발생시키는 언듈레이터(Undulator); 및상기 언듈레이터를 통과한 전자 빔의 진행 경로를 변경하여 상기 선형가속기에 입사시키는 제2 경로 변경부를 포함하는 자유전자 레이저 발생장치
2 2
제 1 항에 있어서,상기 제2 경로 변경부와 상기 언듈레이터 사이에 마련되는 것으로 상기 언듈레이터를 통과한 전자 빔에 포함된 전자 다발을 종방향으로 확장하는 번치 디컴프레서(Bunch decompressor)를 더 포함하는 자유전자 레이저 발생장치
3 3
제 1 항에 있어서,상기 선형가속기 및 상기 제1 경로 변경부 사이에 마련되는 것으로 상기 선형가속기를 통과한 전자 빔 중 고에너지 전자 빔은 상기 제1 경로 변경부로 입사시키고, 저에너지 전자 빔은 덤핑시키는 덤프 섹션을 더 포함하는 자유전자 레이저 발생장치
4 4
제 3 항에 있어서,상기 덤프 섹션은 복수개의 벤딩 마그넷을 포함하며, 상기 복수개의 벤딩 마그넷 중 적어도 하나는 상기 고에너지 전자 빔과 상기 저에너지 전자 빔을 서로 다른 각도로 벤딩시키는 자유전자 레이저 발생장치
5 5
제 1 항에 있어서,상기 인젝터에서 주사된 전자 빔의 경로를 변경하여 상기 선형가속기에 입사되도록 하는 합병부를 더 포함하는 자유전자 레이저 발생장치
6 6
제 5 항에 있어서,상기 합병부는 복수 개의 사중극자 마그넷 및 복수 개의 벤딩 마그넷을 포함하는 자유전자 레이저 발생장치
7 7
제 1 항에 있어서,상기 선형가속기는 상기 인젝터로부터 주사된 저에너지 전자 빔은 가속시키고, 상기 제2 경로 변경부를 통과한 고에너지 전자 빔은 감속시킴으로써 운동에너지를 회수하는 레이저 발생장치
8 8
제 7 항에 있어서,상기 선형가속기는 상기 선형가속기를 통과하는 전자 빔의 에너지를 변경함으로써, 상기 선형가속기를 통과하는 전자 빔의 에너지 값을 증가시키거나 감소시키는 레이저 발생장치
9 9
제 8 항에 있어서,상기 선형가속기는 동일한 구조를 가진 복수개의 모듈들을 포함하는 자유전자 레이저 발생장치
10 10
제 1 항에 있어서,상기 제1 경로 변경부 및 상기 제2 경로 변경부 각각은 복수개의 셀들을 포함하며, 거울 대칭 구조를 가지는 자유전자 레이저 발생장치
11 11
제 10 항에 있어서,상기 복수개의 셀들 각각은 복수개의 벤딩 마그넷 및 복수개의 사중극자 마그넷을 포함하는 TBA(Triple Bend Achromat) 부분 및 상기 TBA 부분 양 옆에 대칭적으로 배열된 복수개의 사중극자 마그넷을 포함하는 자유전자 레이저 발생장치
12 12
제 1 항에 있어서,상기 번치 컴프레서는 복수개의 다이폴 마그넷을 포함하는 자유전자 레이저 발생장치
13 13
자유 전자 레이저 발생방법에 있어서,인젝터를 이용하여 전자 빔을 주사하는 단계;선형가속기를 이용하여 상기 인젝터로부터 주사된 전자 빔을 가속시키는 단계;제1 경로 변경부를 이용하여 상기 선형가속기를 통과한 전자 빔의 진행 경로를 변경하는 단계;번치 컴프레서를 이용하여 상기 제1 경로 변경부를 통과한 전자 빔에 포함된 전자 다발을 종방향으로 압축하는 단계;언듈레이터를 이용하여 상기 번치 컴프레서를 통과한 전자빔과 전자기장의 상호작용에 의해 자유전자 레이저를 발생시키는 단계;제2 경로 변경부를 이용하여 상기 언듈레이터를 통과한 전자 빔의 진행 경로를 변경하여 상기 선형가속기에 입사시키는 단계를 포함하는 자유전자 레이저 발생방법
14 14
제 13 항에 있어서,상기 제2 경로 변경부와 상기 언듈레이터 사이에 마련되는 번치 디컴프레서를 이용하여 상기 언듈레이터를 통과한 전자 빔에 포함된 전자 다발을 종방향으로 확장하는 단계를 더 포함하는 자유전자 레이저 발생방법
15 15
제 13 항에 있어서,상기 선형가속기 및 상기 제1 경로 변경부 사이에 마련되는 덤프 섹션을 이용하여 상기 선형가속기를 통과한 전자 빔 중 고에너지 전자 빔은 상기 제1 경로 변경부로 입사시키고, 저에너지 전자 빔은 덤핑시키는 단계를 더 포함하는 자유전자 레이저 발생방법
16 16
제 13 항에 있어서,상기 선형가속기와 상기 인젝터 사이에 마련된 합병부를 이용하여 상기 인젝터에서 주사된 전자 빔의 경로를 변경하여 상기 선형가속기에 입사되도록 하는 단계를 더 포함하는 자유전자 레이저 발생방법
17 17
자유 전자 레이저 발생장치에 있어서,전자 빔을 주사하는 인젝터;상기 인젝터를 통과한 전자 빔이 입사되며, 전자기장을 이용하여 전자를 가속시키거나 감속시키는 제1 선형가속기;상기 제1 선형가속기를 통과한 전자 빔에 포함된 전자들을 에너지 크기에 따라 서로 다른 경로 변경부로 입사되도록 하는 제1 스프레더;상기 제1 스프레더를 통과한 전자들의 진행 경로를 변경하는 것으로, 상기 제1 스프레더와 연결된 복수 개의 경로 변경부;상기 제1 스프레더와 연결된 복수 개의 경로 변경부 중 적어도 하나를 통과한 전자 빔이 입사되는 것으로 전자기장을 이용하여 전자를 가속시키거나 감속시키는 제2 선형가속기; 및상기 제1 스프레더와 연결된 복수 개의 경로 변경부 중 어느 하나를 통과한 전자 빔과 전자기장의 상호작용에 의해 자유전자 레이저를 발생시키는 언듈레이터를 포함하는 자유전자 레이저 발생장치
18 18
제 17 항에 있어서,상기 제2 선형가속기를 통과한 전자 빔에 포함된 전자들을 에너지 크기에 따라 서로 다른 경로 변경부로 입사되도록 하는 제2 스프레더; 및 상기 제2 스프레더와 연결된 복수 개의 경로 변경부를 더 포함하는 자유전자 레이저 발생장치
19 19
제 18 항에 있어서,상기 언듈레이터와 연결되어, 상기 언듈레이터를 통과한 전자 빔의 경로를 변경하는 경로 변경부를 더 포함하는 자유전자 레이저 발생장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육부 포항공과대학교 개인기초연구(교육부)(R&D) 극자외선 리소그래피용 자유전자레이저 전산 모사 연구