| 1 |
1
단결정 기판 상부에 에어로졸 증착 공정을 통해 세라믹 분말을 분사하여 세라믹 다결정 막을 형성하는 단계와,상기 단결정 기판과 세라믹 다결정 막의 접합 계면에서 비정상 입성장이 일어나도록 상기 단계의 결과물 상에 열처리 공정을 수행하여 상기 세라믹 다결정 막을 단결정화시키는 단계를 포함하는 에어로졸 증착 공정을 이용한 고상 단결정의 제조 방법
|
| 2 |
2
제1항에 있어서,상기 세라믹 분말은 BaTiO3인 에어로졸 증착 공정을 이용한 고상 단결정의 제조 방법
|
| 3 |
3
제2항에 있어서,상기 세라믹 분말을 제조하는 단계는,BaCO3와 TiO2를 에탄올 용매로 혼합하여 혼합 분말을 생성한 후, 이를 건조하여 상기 BaTiO3를 제조하는 것을 특징으로 하는 에어로졸 증착 공정을 이용한 고상 단결정의 제조 방법
|
| 4 |
4
제3항에 있어서,상기 혼합 분말은 지르코니아 볼을 이용한 볼밀 공정에 의해서 생성되는 에어로졸 증착 공정을 이용한 고상 단결정의 제조 방법
|
| 5 |
5
제4항에 있어서,상기 용매는 65~75℃ 건조 공정을 통해 제거되는 에어로졸 증착 공정을 이용한 고상 단결정의 제조 방법
|
| 6 |
6
제5항에 있어서,상기 BaTiO3는 상기 건조된 혼합 분말을 4~6℃/min의 승온속도로 1150~1250℃까지 승온한 후, 이를 1~3시간 동안 하소하여 제조되는 에어로졸 증착 공정을 이용한 고상 단결정의 제조 방법
|
| 7 |
7
제6항에 있어서,상기 에어로졸 증착 공정은,상기 세라믹 분말을 4×10-3~6×10-3torr의 챔버 내에 있는 1mm×5mm 직경의 노즐을 통해 4~6mm 거리에 있는 단결정 기판을 향해 분사시키고,상기 단결정 기판을 0
|
| 8 |
8
제1항에 있어서,상기 단결정 기판은 (100)면 SrTiO3 또는 (110)면 SrTiO3인 에어로졸 증착 공정을 이용한 고상 단결정의 제조 방법
|
| 9 |
9
제8항에 있어서,상기 단결정화된 세라믹 다결정 막은,상기 열처리 공정을 통해 상기 단결정 기판의 결정면과 수직한 결정방향으로 성장하는 에어로졸 증착 공정을 이용한 고상 단결정의 제조 방법
|
| 10 |
10
제1항에 있어서,상기 열처리 공정은,상기 단결정 기판과 세라믹 다결정 막을 4~6℃/min의 승온속도로 1450~1550℃까지 승온한 후, 이를 4~6시간 동안 열처리하는 것을 특징으로 하는 에어로졸 증착 공정을 이용한 고상 단결정의 제조 방법
|
| 11 |
11
다결정 기판 상부에 에어로졸 증착 공정을 통해 세라믹 분말을 분사하여 세라믹 다결정 막을 형성하는 단계와,상기 세라믹 다결정 상부에 단결정 기판을 형성하는 단계와,상기 단결정 기판과 세라믹 다결정 막의 접합 계면에서 비정상 입성장이 일어나도록 상기 단계의 결과물 상에 열처리 공정을 수행하여 상기 세라믹 다결정 막을 단결정화시키는 단계를 포함하는 에어로졸 증착 공정을 이용한 고상 단결정의 제조 방법
|
| 12 |
12
제11항에 있어서,상기 세라믹 분말은 BaTiO3인 에어로졸 증착 공정을 이용한 고상 단결정의 제조 방법
|
| 13 |
13
제12항에 있어서,상기 세라믹 분말을 제조하는 단계는,BaCO3와 TiO2를 에탄올 용매로 혼합하여 혼합 분말을 생성한 후, 이를 건조하여 상기 BaTiO3를 제조하는 것을 특징으로 하는 에어로졸 증착 공정을 이용한 고상 단결정의 제조 방법
|
| 14 |
14
제13항에 있어서,상기 혼합 분말은 지르코니아 볼을 이용한 볼밀 공정에 의해서 생성되는 에어로졸 증착 공정을 이용한 고상 단결정의 제조 방법
|
| 15 |
15
제14항에 있어서,상기 용매는 65~75℃ 건조 공정을 통해 제거되는 에어로졸 증착 공정을 이용한 고상 단결정의 제조 방법
|
| 16 |
16
제15항에 있어서,상기 BaTiO3는 상기 건조된 혼합 분말을 4~6℃/min의 승온속도로 1150~1250℃까지 승온한 후, 이를 1~3시간 동안 하소하여 제조되는 에어로졸 증착 공정을 이용한 고상 단결정의 제조 방법
|
| 17 |
17
제16항에 있어서,상기 에어로졸 증착 공정은,상기 세라믹 분말을 4×10-3~6×10-3torr의 챔버 내에 있는 1mm×5mm 직경의 노즐을 통해 4~6mm 거리에 있는 단결정 기판을 향해 분사시키고,상기 단결정 기판을 0
|
| 18 |
18
제11항에 있어서,상기 단결정 기판은 (100)면 SrTiO3 또는 (110)면 SrTiO3인 에어로졸 증착 공정을 이용한 고상 단결정의 제조 방법
|
| 19 |
19
제18항에 있어서,상기 단결정화된 세라믹 다결정 막은,상기 열처리 공정을 통해 상기 단결정 기판의 결정면과 수직한 결정방향으로 성장하는 에어로졸 증착 공정을 이용한 고상 단결정의 제조 방법
|
| 20 |
20
제11항에 있어서,상기 열처리 공정은,상기 단결정 기판과 세라믹 다결정 막과 다결정 기판을 4~6℃/min의 승온속도로 1450~1550℃까지 승온한 후, 이를 4~6시간 동안 열처리하는 것을 특징으로 하는 에어로졸 증착 공정을 이용한 고상 단결정의 제조 방법
|
