맞춤기술찾기

홈으로 가기
맞춤기술찾기
이전대상기술
프린트하기

이전대상기술

그루브가 형성된 연마용 패드

  • 기술번호 : KST2020016643
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
상담신청 PDF 받기
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 그루브가 형성된 연마용 패드에 관한 것으로, 보다 상세하게는 균일한 연마 성능을 갖고, 연마액의 사용 효율을 높이기 위한 그루브가 형성된 연마용 패드에 관한 것이다. 본 발명의 구성은 상부에 위치한 웨이퍼를 연마하도록 마련된 폴리싱 패드; 상기 폴리싱 패드 상에 형성되며, 상기 폴리싱 패드의 상부를 향해 돌출 형성된 복수의 도형유닛; 복수의 상기 도형유닛으로 이루어지며, 상기 폴리싱 패드 상에 동심원 형태로 배열된 복수의 패턴유닛; 및 상기 패턴유닛에 형성되며, 상기 패턴유닛에 공급된 연마액을 상기 패턴유닛의 전면으로 이송하도록 홈 형태로 마련된 그루브유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 그루브가 형성된 연마용 패드를 제공한다.
Int. CL B24B 37/26 (2012.01.01) B24B 7/22 (2006.01.01)
CPC B24B 37/26(2013.01) B24B 37/26(2013.01) B24B 37/26(2013.01)
출원번호/일자 1020190063360 (2019.05.29)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2020-0138478 (2020.12.10) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2019.05.29)
심사청구항수 10

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 이태경 경남 양산시 웅상대로 ***
2 김도연 부산 부산진구
3 강필식 경남 창원시 마산합포구
4 김형재 부산 북구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한상수 대한민국 서울시 서초구 효령로**길 ** *층 (브릿지웰빌딩)(에이치앤피국제특허법률사무소)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
최종권리자 정보가 없습니다
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2019.05.29 수리 (Accepted) 1-1-2019-0553306-40
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2019.10.14 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2019.12.09 수리 (Accepted) 9-1-2019-0055504-90
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2020.07.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0518344-70
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
 2020.09.29 수리 (Accepted) 1-1-2020-1039340-17
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2020.09.29 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-1039324-97
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
상부에 위치한 웨이퍼를 연마하도록 마련된 폴리싱 패드;상기 폴리싱 패드 상에 형성되며, 상기 폴리싱 패드의 상부를 향해 돌출 형성된 복수의 도형유닛;복수의 상기 도형유닛으로 이루어지며, 상기 폴리싱 패드 상에 동심원 형태로 배열된 복수의 패턴유닛; 및상기 패턴유닛에 형성되며, 상기 패턴유닛에 공급된 연마액을 상기 패턴유닛의 전면으로 이송하도록 홈 형태로 마련된 그루브유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 그루브가 형성된 연마용 패드
2 2
제 1 항에 있어서,상기 그루브유닛은,상기 연마액을 상기 패턴유닛의 길이 방향으로 안내하도록 상기 패턴유닛의 테두리를 따라 방사형으로 형성된 제1 그루브를 포함하는 것을 특징으로 하는 그루브가 형성된 연마용 패드
3 3
제 2 항에 있어서,상기 패턴유닛은,상기 제1 그루브가 3개 내지 12개가 되도록 형성된 것을 특징으로 하는 그루브가 형성된 연마용 패드
4 4
제 1 항에 있어서,상기 그루브유닛은,상기 연마액을 상기 패턴유닛의 폭 방향으로 안내하도록 상기 폴리싱 패드와 동심원을 이루는 동심형으로 형성된 복수의 제2 그루브를 포함하는 것을 특징으로 하는 그루브가 형성된 연마용 패드
5 5
제 4 항에 있어서,복수의 상기 제2 그루브는,0
6 6
제 1 항에 있어서,상기 폴리싱 패드의 회전 방향에 대한 접선 방향으로 경사지게 형성된 제3 그루브를 포함하는 것을 특징으로 하는 그루브가 형성된 연마용 패드
7 7
제 6 항에 있어서,상기 제3 그루브는 상기 폴리싱 패드의 회전 방향의 접선 방향에 대해 +45도 내지 -45도로 경사지게 형성된 것을 특징으로 하는 그루브가 형성된 연마용 패드
8 8
제 1 항에 있어서,상기 그루브유닛은,0
9 9
제 1 항에 있어서,상기 그루브유닛은,제1 그루브, 제2 그루브 및 제3 그루브 중 어느 하나 이상을 갖도록 마련된 것을 특징으로 하는 그루브가 형성된 연마용 패드
10 10
제 1 항에 따른 그루브가 형성된 연마용 패드를 갖는 연마 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 기획재정부 한국생산기술연구원 생산기술산업원천기술개발 [원천-뿌리] 레이저빔과 물질 상호작용 기반의 복합기능 미세패턴 표면가공 및 양산기술(3/3)