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기판 상에 다공성 구조체를 형성하는 단계; 상기 다공성 구조체의 표면 상에 금속 나노 입자를 도포하는 단계;및 원자층 증착(atomic layer deposition, ALD)을 통하여 산화물 박막을 증착하는 단계를 포함하는,고체 산화물 연료전지용 전극 재료의 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 기판은,Y and/or Sc-doped ZrO2, Gd, Sm and/or Sc-doped CeO2, Er and/or Y-doped Bi2O3, Y and/or Yb-doped BaCeO3, Y and/or Yb-doped BaZrO3 중 하나 이상을 포함하는, 고체 산화물 연료전지용 전극 재료의 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 다공성 구조체는,Ni, Cu, Pt, and/or Sm-doped CeO2, LSCF(Lanthanum strontium cobalt ferrite), LSSM(Lanthanum strontium scandium manganite), LST(Lanthanum strontium titanate), LSTM(Lanthanum strontium titanium manganite), LSCM(Lanthanum strontium cobalt manganite), PBMO(Layered-praseodymium barium manganite)의 금속 및 이의 산화물로 이루어진 군에서 선택되는 1종 이상을 포함하는,고체 산화물 연료전지용 전극 재료의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 산화물은,Al2O3, TiO2, ZrO2, HfO2, Ta2O5, Nb2O5, Y2O3, MbO, CeO2, SiO2, La2O3, Lu2O3, PrAlO3, Er2O3, HfAlO, HfSiO, ZrSiO, ZrAlO, HfON, HfSiON, SrTiO3, BaTiO3으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상을 포함하는,고체 산화물 연료전지용 전극 재료의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 산화물 박막의 두께는 1
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제1항에 있어서,상기 금속 나노 입자는 금(Au), 은(Ag), 코발트(Co), 구리(Cu), 철(Fe), 니켈(Ni), 팔라듐(Pd), 로듐(Rd), 루테늄(Rh), 오스뮴(Os) 또는 백금(Pt)으로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상을 포함하는,고체 산화물 연료전지용 전극 재료의 제조방법
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